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公开(公告)号：CN114623790A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202210106344.5
申请日：2022-01-28
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01B21/08
Abstract: 本申请涉及一种薄膜厚度测量装置、方法、计算机设备和存储介质。所述装置包括：样品固定模块、尺寸测量模块、谐振频率测量模块和处理模块，处理模块分别与尺寸测量模块和谐振频率测量模块连接；样品固定模块用于对预定形状的薄膜样品的所有边进行固定，以使薄膜样品的所有边上的挠度和转角均为0；尺寸测量模块用于测量薄膜样品的平面几何尺寸；谐振频率测量模块用于测量薄膜样品的谐振频率；处理模块用于接收外部输入以获取对应薄膜样品的材料物性参数，并根据薄膜样品的谐振频率、平面几何尺寸和材料物性参数得到薄膜样品的厚度。采用本方法测量薄膜厚度的过程无需破坏薄膜样品，准确度较高，同时对薄膜样品的透光性无要求，适应范围广。
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公开(公告)号：CN112504546A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011252444.6
申请日：2020-11-11
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明公开了晶圆级气密封装的微小腔体内部气压测试方法和系统，测试方法包括如下步骤：通过应力测量装置获取多个微小腔体内外气压差已知的晶圆级气密封装结构标定样品的盖帽表面应力，并获取应力值与气压差的关联模型；通过应力测量装置获取晶圆级气密封装结构待测样品盖帽表面的应力值；通过测得的待测样品表面应力值及应力值与气压差的关联模型获取待测样品微小腔体的内部气压。本发明对晶圆级气密封装结构的盖帽无透光性要求，可实现通过盖帽表面应力的测试表征，从而获取微小腔体内部气压变化的信息。本发明涉及半导体制造工艺技术领域。
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公开(公告)号：CN109596290B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201811307552.1
申请日：2018-11-05
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明涉及用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法。提供了一种用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法，包括：获取MEMS微梁的结构参数、吸合电压、第一固有频率和振型函数；根据结构参数、吸合电压、第一固有频率和振型函数，确定间隙距离的第一估计值；获取施加偏置电压后MEMS微梁的第二高度和第二固有频率；根据结构参数、吸合电压、偏置电压、第二高度、第二固有频率、振型函数以及第一估计值，确定间隙距离的第二估计值；根据MEMS微梁的结构参数、振型函数、第二估计值、第二高度以及吸合电压或第一固有频率，确定MEMS微梁的杨氏模量。上述方法能够在微梁厚度未知的情况下测量微梁材料的杨氏模量，实现杨氏模量的高精度无损原位测量。
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公开(公告)号：CN109613302A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811589294.0
申请日：2018-12-25
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01P15/125 , G01P21/00
CPC classification number: G01P15/125 , G01P21/00
Abstract: 本申请涉及一种电容式MEMS加速度计机械梁刚度测量方法、装置和系统。所述方法包括：通过向加速度计施加预载电压，预载电压包括第一预载电压和第二预载电压；在加速度计受到的加速度发生变化时，获取加速度计在第一预载电压下输出的第一电压变化量，以及在加速度计受到的加速度发生变化时，获取加速度计在第二预载电压下输出的第二电压变化量；根据第一预载电压的第一静电负刚度、第二预载电压的第二静电负刚度、第一电压变化量和第二电压变化量，得到加速度计的机械梁刚度，从而可避免传统测量技术在测量机械梁刚度时因位移电容转换系数、惯性质量块质量等参数对测量精度造成的影响，提高了加速度计的机械梁刚度的测量精度。
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公开(公告)号：CN109596290A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201811307552.1
申请日：2018-11-05
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明涉及用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法。提供了一种用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法，包括：获取MEMS微梁的结构参数、吸合电压、第一固有频率和振型函数；根据结构参数、吸合电压、第一固有频率和振型函数，确定间隙距离的第一估计值；获取施加偏置电压后MEMS微梁的第二高度和第二固有频率；根据结构参数、吸合电压、偏置电压、第二高度、第二固有频率、振型函数以及第一估计值，确定间隙距离的第二估计值；根据MEMS微梁的结构参数、振型函数、第二估计值、第二高度以及吸合电压或第一固有频率，确定MEMS微梁的杨氏模量。上述方法能够在微梁厚度未知的情况下测量微梁材料的杨氏模量，实现杨氏模量的高精度无损原位测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109373914A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811250577.2
申请日：2018-10-25
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01B11/06
Abstract: 本申请涉及一种非平行可动电极厚度测量方法、装置以及系统。所述方法包括：获取静电换能器的可动电极，在各偏置电压下分别对应的角度偏移量和极间距离；角度偏移量为可动电极在偏置电压下转动的角度；极间距离为可动电极的第一端面与静电换能器的固定电极的第一端面之间的最大距离；可动电极的第一端面远离固定电极设置；固定电极的第一端面靠近可动电极设置；获取固定电极的第一端与用于固定可动电极的固定端面之间的第一距离，以及固定电极的第二端与固定端面之间的第二距离；根据各偏置电压、各角度偏移量、各极间距离、第一距离和第二距离，得到可动电极的厚度，因此，本申请提高了测量非平行结构静电换能器的可动电极的厚度的精度。
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公开(公告)号：CN119246889A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411218374.0
申请日：2024-09-02
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种MEMS加速度计及其吸合失效在线自恢复的方法，加速度计包括敏感结构和检测电路，敏感结构包括上固定极板、下固定极板和中间可移动极板，所述上固定极板和下固定极板分别连接一个二选一电路的输出端，所述二选一电路的第一输入端和第二输入端分别连接反馈电压Vf/‑Vf和预设电压Vref2，所述二选一电路的输出端连接上固定极板电压VT/下固定极板电压VB，加速度计固定极板电压VT/VB不再固定的唯一连接反馈电压Vf/‑Vf，而是根据反馈电压状态二选一的自动选择连接反馈电压Vf/‑Vf或者预设电压Vref2。本发明通过实时在线的改变固定极板上的加载电压，进而解除导致吸合失效的静电力，使得MEMS加速度计恢复正常；本发明对出现的吸合失效可以在不断电的情形下自行恢复正常工作。
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公开(公告)号：CN117647264A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311242286.X
申请日：2023-09-25
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01C25/00
Abstract: 本申请涉及一种陀螺仪的标度因数标定方法、装置和计算机设备，具体涉及陀螺仪测试技术领域。所述方法包括：控制步进电机静止，并采集所述步进电机上待测陀螺仪的静态电压；控制所述步进电机旋转，并在所述步进电机旋转的过程中采集所述待测陀螺仪的动态电压；根据采样频率、所采集的动态电压和静态电压，以及所述步进电机的第一转动角度，确定旋转环境下所述步进电机的等效角速度和所述待测陀螺仪的等效输出电压；根据所述等效角速度和所述等效输出电压，对所述待测陀螺仪的标度因数进行标定。采用本方法能够快速准确地对标度因数进行标定，并且降低了设备成本。
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公开(公告)号：CN117409893A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311221822.8
申请日：2023-09-20
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G16C60/00 , G06F30/20 , G06F119/08 , G06F113/26 , G06F119/14
Abstract: 本申请涉及一种材料特性评估方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。方法包括：在试验样品所处环境温度为第一温度的情况下，确定试验样品中器件的品质因子，得到第一品质因子；确定校准样品中器件的品质因子，得到第三品质因子；在试验样品所处环境温度从第二温度下降到第一温度后，确定试验样品中器件的品质因子，得到第二品质因子；在校准样品中的器件所处腔体的气压恒定为目标气压的情况下，确定校准样品中器件的品质因子，得到第四品质因子；确定试验样品的第一因子变化度和校准样品的第二因子变化度；基于两变化度之间的差值，确定试验样品的封装材料的吸放气特性评估结果。采用本方法能够提高材料特性评估准确度。
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公开(公告)号：CN114623790B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202210106344.5
申请日：2022-01-28
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01B21/08
Abstract: 本申请涉及一种薄膜厚度测量装置、方法、计算机设备和存储介质。所述装置包括：样品固定模块、尺寸测量模块、谐振频率测量模块和处理模块，处理模块分别与尺寸测量模块和谐振频率测量模块连接；样品固定模块用于对预定形状的薄膜样品的所有边进行固定，以使薄膜样品的所有边上的挠度和转角均为0；尺寸测量模块用于测量薄膜样品的平面几何尺寸；谐振频率测量模块用于测量薄膜样品的谐振频率；处理模块用于接收外部输入以获取对应薄膜样品的材料物性参数，并根据薄膜样品的谐振频率、平面几何尺寸和材料物性参数得到薄膜样品的厚度。采用本方法测量薄膜厚度的过程无需破坏薄膜样品，准确度较高，同时对薄膜样品的透光性无要求，适应范围广。
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