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公开(公告)号：CN105066979B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201510465969.0
申请日：2015-07-31
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及微惯性导航技术相关领域，具体而言，涉及一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构。所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积。本发明将下层固定光栅设置在一个凸台上，减小了下层固定结构与上层可动结构间的交叠面积，当微机械陀螺的质量块在柯氏力的作用下产生水平位移时，上下两层结构间的滑膜阻尼系数大大减小，增大了该微机械陀螺的结构灵敏度，将基于纳米光栅检测的微机械陀螺的结构灵敏度提高1~2个数量级，其整体结构紧凑，具有灵敏度高的优势。
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公开(公告)号：CN107437483A
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201710605341.5
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
CPC classification number: H01H59/0009 , H01P1/22
Abstract: 一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，该结构主要由衬底、第一衰减开关、第二衰减开关、第一短路开关、第二短路开关、微波传输线CPW、衰减模块、引线和空气桥组成，衬底的上表面设有开关、微波传输线CPW、衰减片和引线，微波传输线CPW的T型结和转角上方设有空气桥，第一衰减开关、第二衰减开关、衰减模块以及微波传输线CPW构成的衰减通道，第一短路开关、第二短路开关和微波传输线CPW构成的短路通道，本发明采用了一种可实用化的射频MEMS开关，开关采用直板型带通孔的上电极和悬臂梁单触点式下电极，简化了结构，提高了的可靠性，在加工工艺中易于实现,使得衰减器具有较长的寿命且易于批量化生产，很适合实际应用。
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公开(公告)号：CN103557854B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201310546139.1
申请日：2013-11-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5726
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、驱动悬臂梁、可动框体、检测悬臂梁、质量块、激光光源、光电转换器件、信号检测模块。根据本发明的微机械陀螺仪，其整体结构对称，两质量块驱动方向相对，差分耦合输出，结构合理、紧凑，应用纳米光栅检测，抗电磁干扰能力强，且具有灵敏度高、可靠性好的优势。
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公开(公告)号：CN103543292B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201310547838.8
申请日：2013-11-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/125 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、悬臂梁、质量块、质量块下表面中心设置有隧尖。本发明的有益效果在于采用电容检测与隧道效应检测集成的方式，兼具电容检测与隧道检测的优点，可实现加速度的低检测阈值、宽范围、高灵敏检测；同时可用于已知加速度值环境的加速度精确测量，采用一体化设计，结构合理，灵敏度高,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。
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公开(公告)号：CN104155051B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201410413806.3
申请日：2014-08-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及高温压力测试领域，具体而言，涉及一种宽量程石墨烯高温压力传感器，传感器具体包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；本发明通过传感器的阵列结构拓宽传感器的测试量程，通过传感器阵列上的敏感单元的阵列结构来提高传感器的可靠性。同时，敏感单元采用氮化硼/石墨烯/氮化硼的异质结构，使传感器有较好抗腐蚀性、耐高温性和瞬时响应。可见，宽量程石墨烯高温压力传感器实现了压力传感器的耐高温、高可靠性、高精度、瞬时响应、大量程等要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105066979A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510465969.0
申请日：2015-07-31
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5649 , G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及微惯性导航技术相关领域，具体而言，涉及一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构。所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积。本发明将下层固定光栅设置在一个凸台上，减小了下层固定结构与上层可动结构间的交叠面积，当微机械陀螺的质量块在柯氏力的作用下产生水平位移时，上下两层结构间的滑膜阻尼系数大大减小，增大了该微机械陀螺的结构灵敏度，将基于纳米光栅检测的微机械陀螺的结构灵敏度提高1~2个数量级，其整体结构紧凑，具有灵敏度高的优势。
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公开(公告)号：CN104155051A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410413806.3
申请日：2014-08-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及高温压力测试领域，具体而言，涉及一种宽量程石墨烯高温压力传感器，传感器具体包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；本发明通过传感器的阵列结构拓宽传感器的测试量程，通过传感器阵列上的敏感单元的阵列结构来提高传感器的可靠性。同时，敏感单元采用氮化硼/石墨烯/氮化硼的异质结构，使传感器有较好抗腐蚀性、耐高温性和瞬时响应。可见，宽量程石墨烯高温压力传感器实现了压力传感器的耐高温、高可靠性、高精度、瞬时响应、大量程等要求。
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公开(公告)号：CN103543292A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201310547838.8
申请日：2013-11-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/125 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、悬臂梁、质量块、质量块下表面中心设置有隧尖。本发明的有益效果在于采用电容检测与隧道效应检测集成的方式，兼具电容检测与隧道检测的优点，可实现加速度的低检测阈值、宽范围、高灵敏检测；同时可用于已知加速度值环境的加速度精确测量，采用一体化设计，结构合理，灵敏度高,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。
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公开(公告)号：CN102798387A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210329775.4
申请日：2012-09-07
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5719 , G01C19/5733
Abstract: 本发明公开了一种SOI基巨压阻效应微陀螺，主要结构包括：键合基板和微陀螺角速率敏感体。键合基板上表面中间位置刻蚀有矩形底槽；微陀螺角速率敏感体设在键合基板上表面并与键合基板相连接。微陀螺角速率敏感体进一步包括：键合基板左、右侧上表面分布的固定梳齿电极正极；前、后侧上表面分布的梳齿电极负极；固定梳齿电极正极上表面设置的固定梳齿结构；梳齿电极负极上表面设置的固定座；对应设在底槽上方的敏感质量块，敏感质量块上表面均匀分布有阻尼孔；敏感质量块通过组合梁与固定座相连接；组合梁的检测梁根部设有硅纳米线电阻作为敏感机构。根据本发明实施例的微机械陀螺采用整体结构设计，结构合理、紧凑，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。
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公开(公告)号：CN114758928A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210442525.5
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 一种直板型实用化射频MEMS开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、触点、上电极、固定锚点、空气桥、释放孔组成，微波传输线、驱动电极和下电极设置在衬底上，驱动电极位于上电极的下方，上电极为直板型结构，在上电极开孔，形成释放孔阵列，上电极的固定端通过固定锚点固定在微波传输线上，在下电极上设有单触点，本发明采用直板型上电极结构，具有简单实用、方便阻抗匹配的优点，在工艺加工中易于实现，适用于批量化生产，提高了开关的成品率，本发明还采用单触点结构，可以有效地改善双触点虚接引起的可靠性问题，增强了开关接触特性，减小了弱接触，避免开关烧蚀和粘连，使开关的寿命得到较大的提高。
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