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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102674699A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210071525.5
申请日：2012-03-16
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种浮起式涂敷装置，在浮起台加大划分浮起台组块的边界(接缝)的台阶的容许度，能够简便并且短时间进行浮起面的高度位置调整作业。在浮起台(10)中，左端的搬入用浮起台组块(SBA)搭载配置多个仅有喷出口(12)的第一粗略浮起区域(MIN)。在中间的浮起台组块(SBB)局部搭载在输送方向(X方向)的两端部设置多个仅有喷出口(12)的上推浮起区域(MP、MQ)，并且在这些之间搭载混合多个配置喷出口(12)和吸引口(14)的精密浮起区域(MCT)。此外，在右端的搬出用浮起台组块(SBC)搭载配置多个仅有喷出口(12)的第二粗略浮起区域(MOUT)。
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公开(公告)号：CN101107186B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN200680002991.0
申请日：2006-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B65G49/06 , H01L21/677 , H01L21/027 , B05C13/02
CPC classification number: H01L21/67784 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G49/068 , B65G2249/02 , B65G2249/04 , B65G2249/045
Abstract: 本发明是以矩形基板的一对边实际上与输送方向平行而另一对边实际上与输送方向垂直的方式输送悬浮在载物台上方的矩形基板的载物台装置，载物台，具有用于喷射气体的多个气体喷射口、和用于利用吸气吸引矩形基板的多个吸气口，利用基于吸气机构的经由多个吸气口的吸引、和基于气体喷射机构的经由多个气体喷射口的气体喷射，使矩形基板实际上以水平姿势从载物台的表面悬浮一定高度，多个吸气口，为了在载物台上方输送矩形基板时，使吸气口的吸气压力变动在允许范围内，以基板的输送方向前端不会同时覆盖既定数量以上的吸气口，且矩形基板的输送方向后端不会同时敞开既定数量以上的吸气口的状态配置在载物台上。
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公开(公告)号：CN102192915A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110061107.3
申请日：2011-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种背面异物检测方法、背面异物检测装置以及涂布装置，在浮动方式的无旋转涂布法中高精度地可靠检测有可能使基板上表面与狭缝喷嘴摩擦而造成损伤的有害背面异物。该抗蚀剂涂布装置具备背面异物检测装置，该背面异物检测装置能够在比狭缝喷嘴更靠基板输送方向即X方向上游侧可靠地检测有害即有可能使基板G上表面与狭缝喷嘴摩擦而造成损伤的背面异物Q。并且，响应于背面异物检测装置检测到这种有害背面异物Q时产生的警报信号WS，主控制部通过喷嘴升降机构使狭缝喷嘴立即上升移动，由此狭缝喷嘴能够躲避即避免摩擦或者碰撞基板G的凸起部分GQ，从而防止狭缝喷嘴受损伤。
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公开(公告)号：CN100587479C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200610159929.4
申请日：2006-09-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种能以良好的灵敏度检测平面状基板的异常状态的光学式异物检测装置和搭载有该装置的处理液涂布装置。使以水平状态被载置在载物台上的被处理基板与具有沿上述基板的宽度方向延伸的狭缝状喷出开口的处理液供给喷嘴相对移动，将从处理液供给喷嘴呈带状喷出的处理液涂布在基板的表面。在相对于上述基板相对移动的处理液供给喷嘴的移动方向的前方，搭载有由投光部和受光部构成的光透过型传感器单元。上述传感器单元构成为：具有检测受光部的光束的受光输出是否为规定值以上的第一检测单元、和检测上述受光输出的单位时间的变化量是否为规定值以上的第二检测单元，根据上述第一检测单元和第二检测单元的检测输出的逻辑和，探测异物的存在。
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公开(公告)号：CN212136411U
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202020865045.6
申请日：2020-05-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/68
Abstract: 本实用新型提供一种接合装置，适当地进行接合中的基板之间的位置对准。该接合装置将第一基板与第二基板接合，具备：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板；第一摄像部，其设置于所述第一保持部，对保持于所述第二保持部的所述第二基板进行摄像；第一光照射部，其设置于所述第一保持部，在所述第一摄像部进行摄像时向所述第二基板照射光；第二摄像部，其设置于所述第二保持部，对保持于所述第一保持部的所述第一基板进行摄像；以及第二光照射部，其设置于所述第二保持部，在所述第二摄像部进行摄像时向所述第一基板照射光，其中，所述第一光照射部和所述第二光照射部各自与照射白色光的第一光源连接。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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