敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器及其加工方法

    公开(公告)号:CN110207864B

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN201910527313.5

    申请日:2019-06-18

    Abstract: 本发明涉及一种敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器,包括固定连接的敏感膜和传力导杆,敏感膜包括基板、设于基底中心位置的中心板、连接于基板和中心板之间的悬臂梁、设于悬臂梁上的压敏电阻,基板上设有与压敏电阻位置匹配的接触孔,金属引线与压敏电阻在接触孔内形成欧姆接触,并组成惠斯登电桥;中心板一体连接传力导杆。与现有技术相比,本发明具有制备简便、成本低、测量误差小、方便安装等优点。

    一种热发电装置及其制备方法

    公开(公告)号:CN112542541A

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN202011358436.X

    申请日:2020-11-27

    Abstract: 本发明涉及一种热发电装置及其制备方法,装置包括分别掺杂于柔性基板两侧表面的P型半导体和N型半导体,以及封装柔性基板的第一柔性绝缘膜和第二柔性绝缘膜,P型半导体和N型半导体形成P‑N对,引出导线连接P型半导体和N型半导体,所述柔性基板呈波浪形,所述P型半导体和N型半导体位于柔性基板的峰脊。与现有技术相比,适用范围更广,灵活性强。

    一种基于PZT悬臂梁的旋转能量采集器

    公开(公告)号:CN111711382A

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN202010479651.9

    申请日:2020-05-29

    Abstract: 本发明涉及一种基于PZT悬臂梁的旋转能量采集器,包括环形绝缘件、固定于环形绝缘件内侧的弹性挡片、设于所述环形绝缘件内部的转轴以及固定于所述转轴端部的若干个PZT悬臂梁;所述环形绝缘件和转轴进行相对旋转并使弹性挡片和PZT悬臂梁碰撞,所述转轴的材质为导电材质。与现有技术相比,本发明具有结构简单、容易实施、能量收集利用率高等优点。

    一种设有镂空部的压电能量采集器及其制备方法

    公开(公告)号:CN112564546B

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202011530916.X

    申请日:2020-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种设有镂空部的压电能量采集器及其制备方法,方法包括:S1:获取硅基板,对该硅基板进行清洗以及干燥处理;S2:获取PZT压电层,分别在步骤S1获取的硅基板上侧和PZT压电层的下侧镀接金属层;S3:将硅基板和PZT压电层的金属层共晶键合;S4:对PZT压电层的上侧进行研磨减薄至预设的厚度范围;S5:在硅基板的下表面进行刻蚀得到凹槽;S6:采用KrF准分子激光器在凹槽区域进行镂空处理,形成镂空部,得到最终的压电能量采集器。与现有技术相比,本发明具有工艺步骤少、加工过程简单、固有频率低、功率输出高等优点。

    一种X射线曝光装置
    35.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112859539B

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202110084626.5

    申请日:2021-01-21

    Abstract: 本发明涉及一种X射线曝光装置,包括套筒(1)和与套筒(1)连接的移动工作台(2),所述的套筒(1)内设置有掩模版(3)和光刻胶基板(4),套筒(1)上设有入光口(11),X射线通过入光口(11)进入套筒(1)内。与现有技术相比,本发明不仅可以有效保护了光刻掩模版,而且此装置可以有效提高光刻的效率以及达到高精度的光刻效果,做到批量生产。

    一种一体化微压电液体泵送装置及其制造和驱动方法

    公开(公告)号:CN113944615A

    公开(公告)日:2022-01-18

    申请号:CN202111249966.5

    申请日:2021-10-26

    Abstract: 本发明涉及一种一体化微压电液体泵送装置及其制造和驱动方法,泵送装置包括微压电驱动器(1)、弹性板(2)、一体化腔体(3)和止回阀(4);所述的微压电驱动器(1)包括压电陶瓷(11)、基板(12)、电极(13)和驱动块(14),一体化腔体(3)包括进出口流道(31)和储存室(32);所述的弹性板(2)设置在储存室(32)上,驱动块(14)连接弹性板(2),止回阀(4)设置在进出口流道(31)上;所述的电极(13)包括上电极(131)和下电极(132),上电极(131)连接压电陶瓷(11),下电极(132)连接基板(12)。与现有技术相比,本发明具有加工步骤少、结构简单、驱动力大、防漏效果好等优点。

    一种基于PZT悬臂梁的旋转能量采集器

    公开(公告)号:CN111711382B

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN202010479651.9

    申请日:2020-05-29

    Abstract: 本发明涉及一种基于PZT悬臂梁的旋转能量采集器,包括环形绝缘件、固定于环形绝缘件内侧的弹性挡片、设于所述环形绝缘件内部的转轴以及固定于所述转轴端部的若干个PZT悬臂梁;所述环形绝缘件和转轴进行相对旋转并使弹性挡片和PZT悬臂梁碰撞,所述转轴的材质为导电材质。与现有技术相比,本发明具有结构简单、容易实施、能量收集利用率高等优点。

    基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110676695B

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN201910958633.6

    申请日:2019-10-10

    Inventor: 李以贵 王洁

    Abstract: 本发明涉及一种基于金属微针尖端放电的负氧离子发生器及其制备方法,包括电源、设有进口与和出口的腔体、设于所述腔体内的两个金属微针,所述两个金属微针的尖端相对设置,所述两个金属微针通过导线与所述电源连接;所述金属微针包括基座和设于所述基座表面的微针阵列;该微针阵列包括若干呈矩阵分布的四棱锥形微针,其中所述四棱锥形微针包括立柱和设于所述立柱上的针尖。与现有技术相比,本发明为微小型高密度的金属微针尖端放电产生负氧离子的装置,具有结构简单、生产成本低、操作简单、轻巧方便、应用范围广等优点。

    一种风速传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN111707844A

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN202010478007.X

    申请日:2020-05-29

    Abstract: 本发明涉及一种风速传感器,包括位于密闭空间的测速单元,所述测速单元包括位于密闭空间内的T型加热器和测温传感器;所述T型加热器为T型结构,该T型结构的横部两端分别设有两个加热电阻;所述测温传感器围绕设于所述T型结构的外侧,并且在位于所述T型结构的中间竖部两侧的位置分别设有两个测温电阻;以T型结构的中间竖部为对称轴,所述两个加热电阻呈对称放置,两个测温电阻呈对称设置。与现有技术相比,本发明具有传感器体积小、灵敏度高、实用性强等优点。

    一种测定MEMS压电执行器谐振频率的系统及方法

    公开(公告)号:CN111707350A

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN202010479886.8

    申请日:2020-05-30

    Abstract: 本发明涉及一种测定MEMS压电执行器谐振频率的系统,包括一个或多个压电执行器、用于安装压电执行器的基座、用于驱动压电执行器的驱动电源装置、激光指针以及用于显示激光的荧光屏幕;所述压电执行器为悬臂梁结构,包括端部固定于所述基座上的铜片、键合于铜片的悬空部上的待测压电陶瓷片、以及键合于所述压电陶瓷片上并且位于悬臂梁结构的自由端处的反射镜;所述激光指针产生的激光依次经过压电执行器的反射镜反射后在所述荧光屏幕显示图形;所述驱动电源装置在所述压电陶瓷片上施加不同频率的电压。与现有技术相比,本发明可快速准确地评价MEMS压电执行器在实际使用中的性能,具有可操作性强、成本低廉、安装和测量过程简便快捷等优点。

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