公开(公告)号：CN108735611A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810354625.6

申请日：2018-04-19

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 陈达志 ,  吉奥·荷西·阿苏摸·维拉埃斯平

IPC: H01L21/48 ,  H01L23/498 ,  H01L25/075 ,  H01L33/62

CPC classification number: G09G3/32 ,  H01L21/02172 ,  H01L21/4814 ,  H01L21/56 ,  H01L27/12

Abstract: 通过沉积用于形成可布线导电迹线的第一金属层来制造包括可布线衬底的显示面板。然后沉积用于形成导电互连件的第二金属层，第二金属层具有与第一金属层不同的图案。第一金属层和第二金属层用介电材料包封以形成在其第一侧上包括可布线导电迹线的可布线衬底。导电互连件具有分别与可布线导电迹线以及与可布线衬底的与第一侧相对的第二侧电连通的第一端和第二端。此后，将多个LED芯片安装在可布线衬底的第一侧上的可布线导电迹线上，用于显示面板的LED照明。

公开(公告)号：CN108346608A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201810064053.8

申请日：2018-01-23

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 胡瑞璋 ,  唐良红 ,  丘允贤

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/60

CPC classification number: H01L24/75 ,  B23K1/0016 ,  B23K3/00 ,  B23K3/0623 ,  B23K2101/40 ,  H01L2224/75702 ,  H01L2224/75823 ,  H01L2224/759

Abstract: 一种用于在键合过程中将键合臂相对于用于支撑衬底的键合支撑件表面自动地对准方法和实施该方法的系统，该方法包括：通过可移动地联接到键合臂的键合头使键合臂围绕纵轴旋转第一转，所述第一转包括多个预定旋转角度位置；在多个旋转角度位置中的每个旋转角度位置处暂停键合臂的旋转；确定在相应旋转角度位置处的每个暂停期间键合臂相对于键合支撑件表面的倾斜角度；以及选择具有满足预定义的规格的倾斜角度的键合臂的旋转角度位置，使得键合臂基本上垂直于键合支撑件表面对准。

公开(公告)号：CN105448777B

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：CN201510587638.4

申请日：2015-09-15

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 苏建雄 ,  柯定福 ,  何树泉 ,  丁佳培 ,  拉加万德拉·拉温德拉

IPC: H01L21/67

CPC classification number: B29C33/308 ,  B29C33/307 ,  B29C43/18 ,  B29C43/32 ,  B29C43/36 ,  B29C2043/5858 ,  B30B1/103 ,  B30B15/007 ,  B30B15/067 ,  H01L21/56 ,  H01L21/565

Abstract: 本发明一种用于密封在基板上的半导体模具的压型机的压板，所述压板包括：具有第一模具槽表面的第一模具槽；所述压板可与包含具有第二模具槽表面的第二模具槽的另一个压板有效配合以夹住基板，所述基板被保持到与所述第一或第二模具槽表面相关的面向基板的表面，在所述第一和第二模具槽表面之间限定相对于所述基板的至少一个模具腔；其中所述压板进一步包括旋转安装设备，所述第一或第二模具槽在所述旋转安装设备上可沿着穿过所述面向基板的表面的中心的至少一个轴旋转以调整所述第一和第二模具槽表面的相对位置。还公开了一种包括所述压板和与所述压板配合的所述另一个压板的压型机。

公开(公告)号：CN105606320B

公开(公告)日：2018-06-01

申请号：CN201510778182.X

申请日：2015-11-13

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 张悦 ,  常皓明

IPC: G01M3/28

CPC classification number: G01M3/2807 ,  F17D5/02 ,  G01F1/00 ,  G01F25/0007

Abstract: 本发明一种检测气体管道泄露的系统和方法，公开了一种泄露检测系统和用于检测包括通过管道连接到气体传输模块的气体源的气体提供系统的泄露的泄露检测方法。泄露检测系统包括可沿着远离自气体传输模块入口的管道连接的气流计；检测模块被配置为接收表示从气流计检测到的流量的信号，将检测到的流量与保存的无泄漏参考值进行比较以检测在泄露中的流量增加。检测模块和气体传输模块之间的流动阻力将泄露时的流量增加。系统包括可连接在气体源和气流计之间的流量提升系统用于暂时增加管道中的流量。

公开(公告)号：CN107732671A

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201610665388.6

申请日：2016-08-12

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 郭宜龙 ,  杨东

IPC: H01T23/00 ,  H05F3/06 ,  H05F3/04

Abstract: 本发明提供一种离子发生器，所述离子发生器包括：电离室；耦合至所述电离室的进风口；以及离子电极，所述离子电极的末端部分位于所述电离室内部。所述离子发生器进一步包括与所述离子电极电连接的高压发生器，所述高压发生器用于向所述末端部分施加电离电压，以产生离子。所述离子发生器还包括输出喷嘴和离子检测器，所述输出喷嘴耦合至所述离子室，所述离子检测器用于检测所述离子室中产生的离子。

公开(公告)号：CN104157594B

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201410199562.3

申请日：2014-05-13

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 林钜淦 ,  邓谚羲 ,  林永辉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/60

CPC classification number: H01L21/67144 ,  H01L24/75 ,  H01L2224/7565 ,  H01L2224/75753 ,  H01L2224/758

Abstract: 本发明公开了一种键合装置，该键合装置包含有：i）支撑设备，其用于支撑成批的电子器件；ii）弹出设备，用于从成批的电子器件处弹出电子器件；iii）多个转移设备，每个转移设备用于转移衬底以在衬底上键合电子器件；以及iv）多个传送设备，每个传送设备具有旋转传送臂，一旦电子器件被弹出设备在一个或多个拾取位置从成批的电子器件处弹出，那么该旋转传送臂被操作来在一个或多个拾取位置从成批的电子器件处传送电子器件至各自的衬底之一上，以在那里进行键合。本发明还公开了一种键合电子器件至衬底上的方法。

公开(公告)号：CN103972116B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201410036589.0

申请日：2014-01-24

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 宋景耀 ,  李卫华 ,  王屹滨

IPC: H01L21/60

CPC classification number: H01L24/78 ,  H01L24/48 ,  H01L24/85 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/78268 ,  H01L2224/78301 ,  H01L2224/78801 ,  H01L2224/85045 ,  H01L2224/85205 ,  H01L2224/859 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种导线键合机，包括：处理器；键合头，与处理器相耦接，配置来控制键合头移动；键合工具，安装在键合头并被键合头驱动，以用键合导线在安装于衬底的半导体晶粒和衬底之间形成电性互连；和键合头相耦接的测量设备，被操作来测量当键合工具被键合头驱动以通过键合局部将键合导线连接半导体晶粒时键合导线的键合局部形变。处理器具体配置来：获得测量键合局部形变和导线键合机操作参数之间的至少一个关系；将所获得的至少一个关系与导线键合机操作参数和期望键合局部形变之间的预定关系比较；根据键合局部形变相对于导线键合机操作参数所获得的至少一个关系和预定关系之间的比较结果，校准导线键合机操作参数。还公开一种校准导线键合机的方法。

公开(公告)号：CN103506757B

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201210209891.2

申请日：2012-06-19

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 陈民 ,  欧钢 ,  张雨时 ,  刘启峰 ,  张转运 ,  张华

IPC: B23K26/042 ,  B23K26/03

Abstract: 本发明公开了一种激光装置，该装置包含有：i）成像设备，其具有光路，用于捕获工件表面的图像；ii）激光发射设备，其被配置来沿着激光路径将激光对准于工件表面，该激光发射设备的激光路径和成像设备的光路相分离；iii）控制器，其与成像设备和激光发射设备相连接，该控制器被配置来根据由成像设备所捕获的工件表面图像调节该激光发射设备的激光路径。本发明也公开了一种将激光对准工件表面的方法。

公开(公告)号：CN106206365A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610341324.0

申请日：2016-05-20

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 刘少荣 ,  洪健益 ,  欧玉璋 ,  黎永钊 ,  李敏 ,  吴世源

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L24/75 ,  H01L21/67742 ,  H01L24/81 ,  H01L2224/7501 ,  H01L2224/751 ,  H01L2224/75101 ,  H01L2224/75251 ,  H01L2224/75252 ,  H01L2224/75305 ,  H01L2224/7565 ,  H01L2224/75804 ,  H01L2224/75821 ,  H01L2224/75824 ,  H01L2224/75841 ,  H01L2224/759 ,  H01L2224/81011 ,  H01L2224/81022 ,  H01L2224/81024 ,  H01L2224/81075 ,  H01L2224/81093 ,  H01L2224/81203 ,  H01L2924/00012 ,  H01L21/67144

Abstract: 一种模片键合装置包括：第一惰性气体容器，该第一惰性气体容器具有第一惰性气体浓度；以及封闭在所述第一惰性气体容器内的第二惰性气体容器，该第二惰性气体容器具有第二惰性气体浓度。第二惰性气体浓度比第一惰性气体浓度高。该模片键合装置还包括：键合头，该键合头位于所述第二惰性气体容器中用于接收待键合模片；以及第三惰性气体容器，该第三惰性气体容器具有与所述第一惰性气体容器和所述第二惰性气体容器分离并且能够定位基板以键合模片的惰性气体环境。所述键合头操作成在所述第二惰性气体容器内的第一位置和所述第三惰性气体容器内的第二位置之间移动所述模片，以将所述模片键合到位于所述第三惰性气体容器中的所述基板上。

公开(公告)号：CN106067432A

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201610244513.6

申请日：2016-04-18

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 范·德·斯塔姆·卡雷尔·梅科尔·理查德

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/78

Abstract: 描述了一种辐射切割晶元的方法，所述方法包括以下步骤：低功率切割两个沟槽，之后高功率切割缝隙。单脉冲辐射束被分裂成第一脉冲辐射束以及第二脉冲辐射束，所述第一脉冲辐射束用于切割至少一个所述沟槽，以及所述第二脉冲辐射束用于切割所述缝隙。当在切割方向上沿着切割道在晶元上切割所述缝隙时，通过所述第一辐射束的前缘以及所述第二辐射束的后缘同时引导所述第一和第二辐射束。为了从相反切割方向切割所述缝隙，从所述单脉冲辐射束分裂出用于开槽的第三脉冲辐射束。