-
公开(公告)号:CN1592955A
公开(公告)日:2005-03-09
申请号:CN03801567.6
申请日:2003-08-08
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/304
CPC classification number: B23K26/382 , B23K26/082 , B23K26/0823 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2103/30 , B23K2103/42 , B23K2103/50 , B24B37/24 , B24B37/26 , B24D18/00
Abstract: 本发明的目的是提供一种半导体晶片用抛光垫加工方法和半导体晶片用抛光垫,以使内表面的表面粗糙度在20μm以下,并且可形成尺寸精度高、截面形状均匀的沟槽、凹部和通孔等。在本发明的加工方法中,对具有包含交联聚合物的非水溶性基质和分散在该非水溶性基质中的水溶性颗粒的半导体晶片用抛光垫的抛光面进行切削加工等。此外,在加工时,更优选在具有吸引孔的加工桌的一个侧面上配置抛光垫,通过从加工桌的另一侧面实施吸引,将垫吸附在该加工桌的一个侧面上而使其固定后,形成所述沟槽等。
-
-
公开(公告)号:CN117597801A
公开(公告)日:2024-02-23
申请号:CN202280046298.2
申请日:2022-07-04
IPC: H01M4/66
Abstract: 本发明提供一种金属镀敷层的密接性高的电池电极用导电性基板、及其制造方法。本发明的一实施方式为一种电池电极用导电性基板,包括:基材层;以及金属镀敷层,经由化合物α而层叠于所述基材层的两面,所述基材层的密度低于所述金属镀敷层的密度,所述化合物α具有:第一官能基,能够与所述基材层反应而结合;以及第二官能基,能够与所述金属镀敷层反应而结合。
-
公开(公告)号:CN115139587A
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202210308698.8
申请日:2022-03-25
IPC: B32B15/08 , B32B15/082 , B32B15/088 , B32B15/09 , B32B15/092 , B32B15/098 , B32B15/20 , B32B27/00 , B32B27/30 , B32B27/34 , B32B27/36 , B32B27/38 , B32B27/42 , H05K9/00 , H01L23/552 , C09K3/00
Abstract: 本发明提供一种在制造屏蔽印刷配线板时等不易发生层间剥离的电磁波屏蔽层叠体及其制造方法、屏蔽印刷配线板及其制造方法、半导体封装、及电子设备。本发明的一实施例是一种电磁波屏蔽层叠体,包括屏蔽层、以及经由化合物α而与所述屏蔽层接合的接着剂层及绝缘层中的至少一者,所述化合物α为化合物α1、及化合物α2中的至少一者:所述化合物α1在一分子内具有苯环、烷氧基硅烷基、以及选自由叠氮基、叠氮磺酰基及重氮甲基所组成的群组中的一种以上的基,所述化合物α2是将包含所述化合物α1的水解性硅烷化合物进行水解缩合而获得。
-
公开(公告)号:CN1916762B
公开(公告)日:2011-11-23
申请号:CN200610141923.4
申请日:2006-08-17
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/027 , G02F1/1339 , G02F1/1333 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26
Abstract: 本发明为一种感光性树脂组合物,其含有烯键式不饱和羧酸或其酸酐、(甲基)丙烯酰基氧杂环丁烷和与其不同的烯键式不饱和化合物的共聚物、烯键式不饱和化合物以及4—吗啉代苯基丁烷—1—酮类。该组合物用于形成显示面板用间隔物。
-
公开(公告)号:CN100437924C
公开(公告)日:2008-11-26
申请号:CN200410090362.0
申请日:2004-11-04
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B37/00
CPC classification number: B24B37/205 , Y10S451/921
Abstract: 一种化学机械抛光垫,其具有用于抛光待抛光物体的一个表面、与该表面相对的一个非抛光表面以及用于连接上述表面的一个侧面,并且其包括凹入部分的图案,它在非抛光表面上形成并开口于非抛光表面而不是侧面。
-
-
公开(公告)号:CN1898291A
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200580001415.X
申请日:2005-02-18
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H01L23/293 , G03F7/0007 , G03F7/038 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供固化性树脂组合物,该固化性树脂组合物可形成光学器件用保护膜,该保护膜满足所需的透明性、耐热性、表面硬度和附着性,同时即使在加热下,其耐载荷性优异且焙烘时升华物少,另外,使得在基底基板上形成的滤色片的台阶高差平坦化的性能也优异。该固化性树脂组合物含有(A)和(B),其中所述(A)为具有2个或以上的环氧基、且通过凝胶渗透色谱测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)和聚苯乙烯换算数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.7以下的聚合物,且(B)为与(A)成分不同的阳离子聚合性化合物。本发明还提供由该组合物形成的保护膜,以及该保护膜的形成方法。
-
公开(公告)号:CN1864929A
公开(公告)日:2006-11-22
申请号:CN200510073749.X
申请日:2005-05-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: B24B37/04 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/26
Abstract: 化学机械抛光垫,其具有抛光面、与此对面的非抛光面以及规定这些面的侧面,其中所述的抛光面有(i)与从抛光面的中心部分行往周边部分的一条假想直线交叉的多个第1沟槽构成的第1沟槽组,此多个第1沟槽彼此互相不交叉,或从抛光面的中心部分行往周边部分螺旋线逐渐扩大的1个第1螺旋状沟槽任意一种,和(ii)由多个沿从抛光面的中心部分行往周边部分的方向延伸且与上述第1沟槽组的第1沟槽或第1螺旋状沟槽任一者交叉的第2沟槽所构成的第2沟槽组,此多个第2沟槽彼此互相不交叉。此化学机械抛光垫充分抑制了被抛光面上划痕的产生,且抛光速度优异,因此利于在化学机械抛光方法中使用。
-
公开(公告)号:CN1841193A
公开(公告)日:2006-10-04
申请号:CN200610079434.0
申请日:2006-03-15
Applicant: JSR株式会社
Inventor: 志保浩司
IPC: G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/20 , G02F1/1339
Abstract: 放射线敏感性树脂组合物、由其形成的凸起和间隔物以及具有它们的液晶显示元件,所述放射线敏感性树脂组合物含有:(A)具有羧基和环氧基,且通过凝胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)和聚苯乙烯换算数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.7或以下的聚合物;(B)含有1,2-重氮醌化合物,或上述(A)成分;和(C)具有烯键式不饱和键的聚合性化合物;以及(D)放射线敏感性聚合引发剂,并且用于同时形成垂直取向型液晶显示元件的凸起和间隔物。
-
-
-
-
-
-
-
-
-