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公开(公告)号：CN110948071A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201911155343.4
申请日：2019-11-22
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC: B23K1/00
Abstract: 本发明涉及一种无拼接旋转靶材的钎焊方法，具体为：利用超声波焊头将钎焊料高频振荡进入靶管内表面和背管的外表面；将靶管和背管安装于定位底座上，再将钎料盘连接于靶管的上方端部；将组装好的钎焊装置置于电热恒温鼓风干燥箱内，通过温控器设定温控升温曲线，保温时间到之后，自然冷却到室温；待整套装置冷却到室温，将钎料盘上残余的钎焊料用刮刀去除，将钎料盘和定位底座拆除，得到钎焊完成的旋转靶材。本钎焊方法能够解决靶材钎焊过程中靶管和背管加热过程温差的大的问题；本钎焊方法容易控制升温速率，可以避免靶材因升温过快导致开裂的问题。
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公开(公告)号：CN108931133A
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201811145904.8
申请日：2018-09-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC: F27B14/06 , F27B14/08 , C04B35/64 , C04B35/453 , C04B35/46 , C04B35/457 , C04B35/495
Abstract: 本发明公开了一种离心烧结制造靶材的装置，包括外壳体、设置于所述外壳体内部的电阻加热套、模具和驱动电机，其中，所述模具设置于所述电阻加热套的内部加热腔内，所述模具底部设置有一旋转底座，所述驱动电机设置于所述外壳体底部，所述驱动电机的转动轴与所述旋转底座连接；所述外壳体的首端设置为开合门结构，通过所述开合门能够实现所述加热腔的开合；本发明提供的离心烧结制造靶材的装置能够制造出高密度管靶材，节省原材料，省去掏孔工序，提高良率，大大降低成本。
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公开(公告)号：CN119347280A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411800057.X
申请日：2024-12-09
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC: B23K37/04
Abstract: 本发明公开的一种靶材绑定定位工装，包括底座、靶材中心定位测量组件及多个靶材定位组件；底座包括相连接的底部定位机构和顶部定位机构；底部定位机构位于背板的外周侧，并与背板保持位置固定；顶部定位机构呈环形结构，其同轴设置在背板上方并环绕在靶材的外周侧；各靶材定位组件沿顶部定位机构周向等间隔分布，靶材定位组件沿径向可移动安装在顶部定位机构上，并用于抵接在靶材的外周壁上；靶材中心定位测量组件安装在顶部定位机构处，并用于测量靶材的位置变化，实现靶材材绑定时高精度中心定位，提升绑定效率。
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公开(公告)号：CN108931133B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201811145904.8
申请日：2018-09-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC: F27B14/06 , F27B14/08 , C04B35/64 , C04B35/453 , C04B35/46 , C04B35/457 , C04B35/495
Abstract: 本发明公开了一种离心烧结制造靶材的装置，包括外壳体、设置于所述外壳体内部的电阻加热套、模具和驱动电机，其中，所述模具设置于所述电阻加热套的内部加热腔内，所述模具底部设置有一旋转底座，所述驱动电机设置于所述外壳体底部，所述驱动电机的转动轴与所述旋转底座连接；所述外壳体的首端设置为开合门结构，通过所述开合门能够实现所述加热腔的开合；本发明提供的离心烧结制造靶材的装置能够制造出高密度管靶材，节省原材料，省去掏孔工序，提高良率，大大降低成本。
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公开(公告)号：CN110948071B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN201911155343.4
申请日：2019-11-22
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC: B23K1/00
Abstract: 本发明涉及一种无拼接旋转靶材的钎焊方法，具体为：利用超声波焊头将钎焊料高频振荡进入靶管内表面和背管的外表面；将靶管和背管安装于定位底座上，再将钎料盘连接于靶管的上方端部；将组装好的钎焊装置置于电热恒温鼓风干燥箱内，通过温控器设定温控升温曲线，保温时间到之后，自然冷却到室温；待整套装置冷却到室温，将钎料盘上残余的钎焊料用刮刀去除，将钎料盘和定位底座拆除，得到钎焊完成的旋转靶材。本钎焊方法能够解决靶材钎焊过程中靶管和背管加热过程温差的大的问题；本钎焊方法容易控制升温速率，可以避免靶材因升温过快导致开裂的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110257790B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201910688134.X
申请日：2019-07-29
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种Al2O3‑TiOx靶材及其制备方法和应用，属于靶材制备技术领域。本发明提供的Al2O3‑TiOx靶材包含以下百分含量的组分：30wt％～50wt％TiOx和50wt％～70wt％Al2O3；所述TiOx中x为1.8～1.98。本发明通过在Al2O3‑TiOx靶材中掺杂百分含量为30wt％～50wt％的TiOx，使Al2O3‑TiOx靶材具有半导体材料的特性，有效地提高了Al2O3‑TiOx靶材的导电性能，可实现采用中频磁控溅射Al2O3‑TiOx靶材的方法制得Al2O3‑TiOx薄膜，用于替代Al2O3薄膜，实现工业化生产。
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公开(公告)号：CN110777320A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911008791.1
申请日：2019-10-23
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种旋转铌残靶的修复方法，包括以下步骤：步骤一：修复前处理：采用机加工将旋转铌残靶表面的凹凸层去除，形成表面平整的旋转铌残靶；步骤二：对步骤一加工后的旋转铌残靶的表面进行等离子清洁活化，将旋转铌残靶固定在旋转喷涂工装上，旋转铌残靶的不锈钢衬管在固定转速下，等离子喷枪沿旋转铌残靶的不锈钢衬管的管轴线做往复运动；步骤三：选用纯度为99.9％铌粉，利用等离子热喷涂设备喷涂于步骤二经过清洁活化后旋转铌残靶的表面形成新旋转铌靶涂层；步骤四：对步骤三热喷涂后的新旋转铌靶涂层进行后处理得到修复完整的旋转铌靶材。本发明工艺流程缩短，成本大大降低，对残靶材料进行循环利用，实现“绿色制造”。
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公开(公告)号：CN103878457B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201410101643.5
申请日：2014-03-19
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 一种石墨电极及利用石墨电极进行钢管内径加工的方法，所述石墨电极包括一绝缘外壳、连接电缆、一绝缘承接盘和一石墨电极头；所述绝缘外壳固定连接于绝缘承接盘的顶端；所述连接电缆的一端穿过绝缘外壳，并与石墨电极头电连接；所述石墨电极头包括一连接部和一体连结于该连接部底端的一工作部，所述连接部固定于绝缘承接盘上。石墨电极与一支承座、一钢管、一电解液箱和一沉淀箱组成一电解装置，利用所述电解装置对不锈钢钢管内径进行加工，可以精确修正不锈钢管内径，避免了挤压成型造成的偏壁、凸起等缺陷；可以加工3米以上的不锈钢长管，弥补了传统机械加工的缺陷，且工作效率高，环保无污染。
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公开(公告)号：CN105506564A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510978709.3
申请日：2015-12-24
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3407 , C22C23/00 , C22C28/00 , C23C4/06 , C23C4/08 , C23C14/3414
Abstract: 本发明涉及一种旋转硅镁合金靶材，其纯度大于99.9%，镁含量分别为30wt%、40wt%、50wt%，硅余量。本发明还公开一种制备旋转硅镁合金靶材的方法，工艺如下：预处理：对不锈钢背管进行预处理，其中包括清洗，喷砂粗化；喷涂粘结层：即利用电弧喷涂，在不锈钢背管喷涂一层0.2-0.5mm厚的镍铝合金涂层，所述涂层起连接不锈钢背管和后续喷涂的靶材材料作用；等离子喷涂沉积硅镁涂层：利用等离子喷涂设备将配置好的硅镁粉熔射沉积在不锈钢背管上面形成硅镁涂层。本发明的靶材安全性能高，而且均匀性好。
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公开(公告)号：CN206488732U
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201720169083.6
申请日：2017-02-24
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC: G01B5/08
Abstract: 本实用新型公开了一种旋转靶材检测工装，包括检测工装，所述检测工装包括手柄、测量圆板和锥面，所述手柄一端固定安装在测量圆板的一面中心处，所述测量圆板的侧面为带有一定倾角的锥面，本实用新型结构基于数学相关的直角三角形原理，很容易精确的测量出密封斜面d的直径，相较于传统卡尺精确高准确，且易操作。
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