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公开(公告)号：CN104916502A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510246961.5
申请日：2015-05-15
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 本发明属于电子科学技术领域，提供一种横向双梁的DC接触式串联MEMS开关，包括带绝缘介质层的基底，绝缘介质层上的两个横向可移动悬臂梁及其对应的第一驱动电极、第二驱动电极、开关焊盘、电极焊盘；所述两个横向可移动悬臂梁下方悬空且高度位于同一水平面，其固定端分别通过支撑锚点固定于绝缘层上对侧位置、自由端部分交叠且不接触；所述第一驱动电极设置作用于横向可移动悬臂梁中点；所述第二驱动电极设置对应于横向可移动悬臂梁自由端端点。本发明通过两组电极对两个悬臂梁的控制，使开关具有更低的驱动电压和更高的隔离度，并降低了开关时间，使之具有更好的实用性及开关性能。
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公开(公告)号：CN102820499A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210254180.7
申请日：2012-07-23
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P1/18
Abstract: 该发明属于与X波段通信设备配套用五位X波段移相器。包括含回旋式设于基板上且在各转角处的外角进行倒角处理的CPW信号线及其绝缘层、CPW地线，MEMS开关梁及支撑板，MAM电容上、下极板及其支撑片在内的元器件组成的MEMS开关组，在各转角处前、后两端的CPW地线之间跨CPW信号线设有连接桥，以及偏置电极及其绝缘层，偏置电极正极和负极连接导线，上表面设有绝缘层的基板；该发明较传统五位X波段移相器相的面积减少了近三分之一，同时提高了移相器的性能和稳定性。因而具有器件的结构紧凑、体积小，强度及稳定性高、插入损耗小、Q值大、移相精度高，以及可实现高精度、大批量加工，同时降低了生产过程中的封装难度和生产成本等特点。
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公开(公告)号：CN101777882A
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN201010106557.5
申请日：2010-02-03
Applicant: 电子科技大学
Abstract: X波段三位MEMS可调带通滤波器，属于电子科学技术领域，涉及MMIC和MEMS。包括两个输入或输出端口、两个匹配电容网络CM和两个LC谐振器；整个滤波器相对于两个LC谐振器的耦合中心线呈镜面对称结构；LC谐振器由正方形微带开口环和嵌入到开口中的谐振电容网络CL构成；电容网络采用RF-MEMS工艺实现，采用三个直流偏压控制的MEMS开关来改变电容网络三条支路的电容大小，进而实现滤波器中心工作频率的改变。本发明可实现8个可调中心频率点，具有插入损耗小、Q值大、结构紧凑体积小，而且下拉电压低的特点，可应用于各种X波段通信设备中。
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公开(公告)号：CN109447222B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201811277000.0
申请日：2018-10-30
Applicant: 电子科技大学
IPC: G06K19/077
Abstract: 本发明公开了一种基于蓝牙的自供能有源RFID标签系统，包括人体能能量采集装置、电源管理电路、储能单元、稳压电路、蓝牙模块，所述人体能能量采集装置将人体能转换为大于50V的交流电能；所述电源管理电路接收人体能能量采集装置的交流电能，并将交流电能转为直流电能后进行降压处理；所述储能单元对电源管理电路输出的直流电能进行存储；所述稳压电路将储能单元输出的直流电能稳压为小于或等于12V的直流电能后输出给蓝牙模块；所述蓝牙模块在小于或等于12V的供电状态下以广播形式进行信号发送、作为RFID标签信号源。本发明首次提出，通过能量采集装置将人体能应用于基于蓝牙的有源RFID标签中。
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公开(公告)号：CN110190179B
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201910510365.1
申请日：2019-06-13
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/23
Abstract: 本发明公开了基于植物纤维的柔性压电能量采集器件及其制备方法，包括：纤维基压电功能薄膜、绝缘层、纤维基电极、封装层；其中，纤维基压电功能薄膜上下表面分别贴合有第一绝缘层和第二绝缘层，第一纤维基电极贴合在第一绝缘层上表面，第二纤维基电极贴合在第二绝缘层下表面；封装层对纤维基压电功能薄膜、第一绝缘层、第二绝缘层、第一纤维基电极、第二纤维基电极进行封装；所述第一绝缘层、所述第二绝缘层、所述封装层均采用ECOFLEX系列硅橡胶；所述纤维基压电功能薄膜、所述第一纤维基电极、所述第二纤维基电极均采用植物纤维作为基底；实现的器件具有极好的柔韧性，可完全贴附人体各个部位，并且具备良好的生物相容性和舒适度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112073024A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010961841.4
申请日：2020-09-14
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种差分输入输出式MEMS谐振器及其加工方法，包括：SOI支撑台、外接差分输入电极盘、外接差分输出电极盘、外接地电极盘、一维声子晶体支撑梁和谐振体；所述谐振体通过一维声子晶体支撑梁与SOI支撑台固定连接，形成悬浮结构；所述SOI支撑台的一端表面与外接差分输入电极盘固定连接，其另一端表面与外接差分输出电极盘固定连接；所述谐振体分别与外接差分输入电极盘和外接差分输出电极盘电连接；所述外接地电极盘固定在SOI支撑台上，并分别位于外接差分输入电极盘和外接差分输出电极盘的两侧；本发明通过降低谐振器的锚点损耗，提高器件的品质因数，解决现有技术存在的锚点损耗较大、品质因数难以提高的问题。
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公开(公告)号：CN110460319B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201910769613.4
申请日：2019-08-20
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种集成鱼鳞形反射镜阵列的体声波谐振器及其加工方法，所述体声波谐振器包括SOI基底、位于SOI基底顶端的输入电极盘、输出电极盘、地电极盘，以及通过支撑梁固定并悬浮于SOI基底中心处的谐振体，谐振体两侧集成了鱼鳞形反射镜阵列；输入电极盘和输出电极盘对称设置在SOI基底顶端的两侧，且输入电极盘和输出电极盘的两侧均对称设置有地电极盘；鱼鳞形反射镜阵列由四列反射镜通过交错排列构成，并集成在谐振体两侧的末端。本发明解决了现有体声波谐振器中存在的锚点损耗较大、品质因数较低的问题，有利于实现其在低相位噪声振荡器，窄带滤波器和高精度传感器中的应用。
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公开(公告)号：CN110333012B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201910671693.X
申请日：2019-07-24
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种阻变容变复合的二维应变传感器及其制备方法，本发明提出的二维应变传感器采用平行板式电容器的上极板、绝缘电介质层、下极板三层结构设计，上下极板的导电材料选择具有微纳结构的金属、碳导电材料或者金属、碳混合导电材料，双极板图案均采用蛇形结构设计，电容器的上极板和下极板同时又作为阻变拉伸应变传感器。本发明通过容变现象检测水平方向拉伸应变，通过阻变现象检测竖直方向拉伸应变，采用阻变容变复合的形式对二维正交方向的拉伸应变进行检测，具有柔性、可拉伸的特性；且阻变拉伸传感器采用渗透导电网络结构，具有良好的灵敏度。
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公开(公告)号：CN107572473A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710833345.9
申请日：2017-09-15
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种降低微机械梁薄膜应力的方法及相关薄膜，属于微机电系统技术领域。本发明通过在多层金属薄膜形成的复合薄膜中增加单层石墨烯薄膜作为过渡层，采用高温退火工艺，用于释放金属薄膜产生的压应力，同时也提高复合薄膜与基底的结合力；由于石墨烯具有较大的拉应力，能够与上下两金属层的残余压应力相互作用，从而最大限度地降低多层结构复合薄膜的内应力，进而避免了因过高内应力而导致基底与薄膜之间结合强度降低导致翘曲的缺陷，同时提高了复合薄膜的承载能力，从而增强了微机械梁的机械强度，提升器件的可靠性；本发明制作工艺简单，成本低廉，可重复性好，为高性能微元器件以及互联结构的研究、开发和生产奠定了基础。
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公开(公告)号：CN105871351A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610168651.0
申请日：2016-03-22
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于电子科学技术领域，涉及MEMS压电谐振器，具体提供一种窄支撑梁高品质因数的压电谐振器，包括振动块、四条支撑梁、四个支撑台及基底，所述振动块由输入端P型半导体区、N型半导体区和输出端P型半导体区构成，所述输入端P型半导体区、输出端P型半导体区分别位于振动块的对角，连接振动块各区的支撑梁与振动块对应区采用相同掺杂类型，振动块上覆盖压电层，输入、输出金属电极置于压电层上，所述压电层部分覆盖振动块，使得输入金属电极与输入端P型半导体区电气连通，输出金属电极与输出端P型半导体区电气连通。本发明结构能够大大减小了由传统支撑梁较大宽度带来的锚点损耗，有效的提高了谐振器的品质因数Q。
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