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公开(公告)号:CN110603430B
公开(公告)日:2023-06-09
申请号:CN201880028870.6
申请日:2018-04-24
申请人: 浜松光子学株式会社
摘要: 本发明的光测量控制程序为在包含法布里‑珀罗干涉滤光器及光检测器的光检测装置中,通过取得自光检测器输出的电信号而使计算机执行对成为测量对象的光进行测量的处理的光测量控制程序;上述法布里‑珀罗干涉滤光器具有经由空隙而彼此相对的一对镜面部,且一对镜面部间的距离对应于一对镜面部间产生的电位差而变化;上述光检测器检测透过法布里‑珀罗干涉滤光器的光;且该光测量控制程序使计算机作为以下两者发挥功能:电压控制部,其在开始电信号的取得前,将一对镜面部间产生的电位差控制为阶段性增加直至达到与测量对象的光的波长对应的设定电位差;及信号取得部,其在电压控制部在一对镜面部间产生设定电位差的状态下取得电信号。
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公开(公告)号:CN115524006A
公开(公告)日:2022-12-27
申请号:CN202211259023.5
申请日:2018-02-26
申请人: 浜松光子学株式会社
摘要: 光检测装置具备:封装体,其设置有窗部;法布里‑珀罗干涉滤波器,其在封装体内,使自窗部入射的光透过;及光检测器,其在封装体内,检测透过了法布里‑珀罗干涉滤波器的光。法布里‑珀罗干涉滤波器具有:基板,其具有窗部侧的第1表面及光检测器侧的第2表面;第1层构造体,其配置于第1表面,设置有第1镜部及第2镜部;及透镜部,其一体地设置于第2表面侧,且将透过了第1镜部及第2镜部的光聚光于光检测器。
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公开(公告)号:CN111406206B
公开(公告)日:2022-08-09
申请号:CN201880075330.3
申请日:2018-11-09
申请人: 浜松光子学株式会社
摘要: 本发明的光检查装置具备:晶圆支撑部,其将构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的晶圆,以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑;光出射部,其使沿基线入射至多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的光出射;及光检测部,其检测沿基线透过多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的光。晶圆支撑部具有使光沿基线通过的光通过区域。
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公开(公告)号:CN113167995A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN201980080024.3
申请日:2019-09-30
申请人: 浜松光子学株式会社
摘要: 本发明的光学滤光器装置具备法布里‑珀罗干涉滤光器及电阻测定部。法布里‑珀罗干涉滤光器具备:第1构造体,其具有第1表面、及第2表面;第2构造体,其具有第3表面;第1镜部,其设置于第1构造体;第2镜部,其以隔着空隙而与第1镜部相对的方式设置于第2构造体;第1驱动电极,其设置于第1构造体;第2驱动电极,其设置于第2构造体;第1端子及第3端子,其电连接于第1驱动电极;及第2端子,其电连接于第2驱动电极。第1驱动电极从第1表面与第3表面相对的相对方向观察时与空隙重叠。在相对方向上,第1驱动电极与空隙之间的距离短于第2表面与空隙之间的距离。电阻测定部电连接于第1端子及第3端子,测定第1驱动电极的电阻值。
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公开(公告)号:CN111406206A
公开(公告)日:2020-07-10
申请号:CN201880075330.3
申请日:2018-11-09
申请人: 浜松光子学株式会社
摘要: 本发明的光检查装置具备:晶圆支撑部,其将构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部的晶圆,以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑;光出射部,其使沿基线入射至多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光出射;及光检测部,其检测沿基线透过多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光。晶圆支撑部具有使光沿基线通过的光通过区域。
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公开(公告)号:CN111357092A
公开(公告)日:2020-06-30
申请号:CN201880073818.2
申请日:2018-11-09
申请人: 浜松光子学株式会社
摘要: 吸附方法是使用吸附夹头吸附具备基板、及设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部的法布里-帕罗干涉滤波器的吸附方法,具备:第1工序,其以与上述主面相对的方式配置上述吸附夹头;第2工序,其在上述第1工序之后,使上述吸附夹头接触于上述法布里-帕罗干涉滤波器;及第3工序,其在上述第2工序之后,通过上述吸附夹头吸附上述法布里-帕罗干涉滤波器。
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公开(公告)号:CN109477959A
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201780041830.0
申请日:2017-07-05
申请人: 浜松光子学株式会社
摘要: 本发明的法布里-珀罗干涉滤光器(1)具备:基板(11),其具有第一表面(11a);第一积层体(22),其具有第一反射镜部(31);第二积层体(24),其具有隔着空隙(S)而与第一反射镜部(31)相对的第二反射镜部(32);中间层(23),其在第一积层体(22)与第二积层体(24)之间划定空隙(S);及第一端子(15);并且,中间层(23)具有包围第一端子(15)的第一内侧面(23d),第一内侧面(23d)以如下方式弯曲:中间层的基板侧的缘部比中间层的与基板相反的一侧的缘部位于更靠向第一端子侧的位置。
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公开(公告)号:CN105683726A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201480059031.2
申请日:2014-10-31
申请人: 浜松光子学株式会社
IPC分类号: G01J3/26
CPC分类号: G01J3/26 , G01J3/0286 , G01J3/45 , G01J5/04 , G01J5/20 , G02B26/001
摘要: 本发明所涉及的光谱传感器(1A)的特征在于:具备:法布里-珀罗干涉滤光片(10),具有光透过区域(11);光检测器(3),检测透过光透过区域(11)的光;垫片(4A,4B),在光透过区域(11)的周围区域支撑法布里-珀罗干涉滤光片(10);芯片键合树脂(5),粘结法布里-珀罗干涉滤光片(10)和垫片(4A,4B)。芯片键合树脂(5)在从光透过区域(11)中的光的透过方向来看的情况下具有连通周围区域的内侧和周围区域的外侧的一个开口部(A2)。
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公开(公告)号:CN104520696A
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201380042452.X
申请日:2013-08-09
申请人: 浜松光子学株式会社
CPC分类号: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01N21/03 , G01N2021/651
摘要: 本发明表面增强拉曼散射元件(SERS)2具备:基板21,其具有表面21a;细微结构部24,其形成于表面21a上并具有多个柱脚27;导电体层23,其形成于细微结构部24上并构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部20。导电体层23具有以沿着表面21a的形式形成的基底部28、在对应于各个柱脚27的位置上从基底部28突出的多个突出部29。基底部28的厚度大于柱脚27的高度。
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