公开(公告)号：CN110383503B

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN201880016049.2

申请日：2018-03-01

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 大藤和人 ,  伊藤将师 ,  柴山胜己 ,  坂本明

IPC分类号： H01L31/10 ,  B82Y20/00 ,  C01B32/158 ,  G01J1/02 ,  H01L27/148

摘要： 半导体光检测元件具有：半导体部，其具有包含受光区域的表面，该受光区域是接收入射光的区域，半导体部对入射到所述受光区域的入射光进行光电转换；设置在所述表面上的金属部；和碳纳米管膜，其设置在受光区域上，由多个碳纳米管堆积而成。碳纳米管膜从受光区域的上表面跨上到金属部的上表面。

公开(公告)号：CN107250772B

公开(公告)日：2020-07-10

申请号：CN201680011918.3

申请日：2016-02-10

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 柴山胜己 ,  伊藤将师 ,  大藤和人 ,  大山泰生 ,  丸山芳弘 ,  井上直

IPC分类号： G01N21/65

摘要： SERS元件(3)具备：基板(4)；细微结构部(7)，被形成于基板(4)的表面(4a)上并且具有多个柱脚(11)；导电体层(6)，被形成于细微结构部(7)上并且构成使表面增强拉曼散射发生的光学功能部(10)。在各个柱脚(11)的外表面，设置有沟槽(12)。在导电体层(6)，在沟槽(12)的内表面的至少一部分露出的状态下导电体层(6)被形成于各个柱脚(11)的外表面，从而形成多个间隙(G)。

公开(公告)号：CN107615048A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201680030984.5

申请日：2016-04-28

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 伊藤将师 ,  柴山胜己 ,  大藤和人 ,  大山泰生 ,  丸山芳弘

IPC分类号： G01N21/65

摘要： SERS单元具备：支撑体(10)，具有设置有开口部(12)的空腔(11)；光学功能部(20)，以与开口部(12)相对的方式被配置于空腔(11)内并使表面增强拉曼散射发生；封装体(5)，容纳支撑体(10)并进行了排气。封装体(5)至少接触于开口部(12)的边缘(12a)并在开口部(12)上，以从光学功能部(20)分开的状态向光学功能部(20)侧弯曲。

公开(公告)号：CN104541156A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201380042525.5

申请日：2013-08-09

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 伊藤将师 ,  柴山胜己 ,  能野隆文 ,  广瀬真树 ,  川合敏光 ,  大藤和人 ,  丸山芳弘

IPC分类号： G01N21/65 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00

摘要： 一种表面增强拉曼散射元件，包括：基板，其具有主面；成形层，其包含以沿着基板的主面延伸的方式形成于主面上的支撑部、及形成于支撑部上的细微结构部；框部，其以沿着基板的主面包围支撑部及细微结构部的方式形成于主面上；及导电体层，其至少形成于细微结构部上，且构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部；细微结构部与支撑部一体地形成。

公开(公告)号：CN109342395B

公开(公告)日：2021-07-20

申请号：CN201811398924.6

申请日：2013-08-09

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 伊藤将师 ,  柴山胜己 ,  川合敏光 ,  大藤和人 ,  大山泰生 ,  丸山芳弘 ,  能野隆文 ,  广瀬真树 ,  吉田杏奈

IPC分类号： G01N21/65

摘要： SERS单元(1A)包括：一体地形成的处理基板(2)；及SERS元件(3)，其被固定于以在处理基板(2)的厚度方向上的一侧开口的方式设置于处理基板(2)的收纳空间(S)内。SERS元件(3)具有：基板(5)，其配置于收纳空间(S)的内面(S1)上；及光学功能部(10)，其形成于基板(5)上，且产生表面增强拉曼散射。

公开(公告)号：CN105074436B

公开(公告)日：2020-03-03

申请号：CN201480019231.5

申请日：2014-02-07

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 伊藤将师 ,  柴山胜己 ,  大藤和人 ,  大山泰生 ,  丸山芳弘

IPC分类号： G01N21/65

摘要： 本发明的表面增强拉曼散射单元包括：测定用基板，其于测定时使用；表面增强拉曼散射元件，其具有基板、及形成于上述基板上产生表面增强拉曼散射的光学功能部并固定于上述测定用基板；及按压构件，其包含环状的接触部且固定于上述测定用基板，上述接触部接触上述表面增强拉曼散射元件的周缘部，且向上述测定用基板侧按压上述表面增强拉曼散射元件。

公开(公告)号：CN104520696B

公开(公告)日：2018-01-12

申请号：CN201380042452.X

申请日：2013-08-09

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 柴山胜己 ,  伊藤将师 ,  能野隆文 ,  广瀬真树 ,  吉田杏奈 ,  大藤和人 ,  丸山芳弘 ,  笠原隆 ,  川合敏光 ,  广畑彻 ,  龟井宏记 ,  大山泰生

IPC分类号： G01N21/65 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00

CPC分类号： G01N21/658 ,  B82Y40/00 ,  G01N21/03 ,  G01N2021/651

摘要： 表面增强拉曼散射元件(SERS)2具备：基板21，其具有表面21a；细微结构部24，其形成于表面21a上并具有多个柱脚27；导电体层23，其形成于细微结构部24上并构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部20。导电体层23具有以沿着表面21a的形式形成的基底部28、在对应于各个柱脚27的位置上从基底部28突出的多个突出部29。基底部28的厚度大于柱脚27的高度。

公开(公告)号：CN110383503A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201880016049.2

申请日：2018-03-01

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 大藤和人 ,  伊藤将师 ,  柴山胜己 ,  坂本明

IPC分类号： H01L31/10 ,  B82Y20/00 ,  C01B32/158 ,  G01J1/02 ,  H01L27/148

摘要： 半导体光检测元件具有：半导体部，其具有包含受光区域的表面，该受光区域是接收入射光的区域，半导体部对入射到所述受光区域的入射光进行光电转换；设置在所述表面上的金属部；和碳纳米管膜，其设置在受光区域上，由多个碳纳米管堆积而成。碳纳米管膜从受光区域的上表面跨上到金属部的上表面。

公开(公告)号：CN109342395A

公开(公告)日：2019-02-15

申请号：CN201811398924.6

申请日：2013-08-09

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 伊藤将师 ,  柴山胜己 ,  川合敏光 ,  大藤和人 ,  大山泰生 ,  丸山芳弘 ,  能野隆文 ,  广瀬真树 ,  吉田杏奈

IPC分类号： G01N21/65

摘要： SERS单元(1A)包括：一体地形成的处理基板(2)；及SERS元件(3)，其被固定于以在处理基板(2)的厚度方向上的一侧开口的方式设置于处理基板(2)的收纳空间(S)内。SERS元件(3)具有：基板(5)，其配置于收纳空间(S)的内面(S1)上；及光学功能部(10)，其形成于基板(5)上，且产生表面增强拉曼散射。

公开(公告)号：CN104520694B

公开(公告)日：2018-05-15

申请号：CN201380042045.9

申请日：2013-08-09

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 柴山胜己 ,  伊藤将师 ,  能野隆文 ,  广瀬真树 ,  吉田杏奈 ,  大藤和人 ,  丸山芳弘

IPC分类号： G01N21/65 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N21/01

CPC分类号： G01N21/658 ,  B82Y40/00 ,  G01J3/02 ,  G01J3/12 ,  G01J3/44 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/0227 ,  G01N2201/06113

摘要： SERS单元(1A)包括：基板(4)；光学功能部(10)，其形成于基板(4)上，且产生表面增强拉曼散射；及封装体(20A)，其将光学功能部(10)收纳于不活泼的空间(S)中，且使空间(S)不可逆地开放。