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公开(公告)号：CN114502929B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202080070357.0
申请日：2020-10-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置包括：配线基板；配置在配线基板的安装面的第1支承部；法布里‑珀罗干涉滤光片，具有相互的距离为可变的第1反射镜部和第2反射镜部，外缘部配置在第1支承部的第1支承区域；光检测器，在第1支承部的一侧以与第1反射镜部和第2反射镜部相对的方式配置在安装面；和配置在安装面的温度检测器，温度检测器以在从与安装面垂直的第1方向看时、温度检测器的至少一部分与法布里‑珀罗干涉滤光片的一部分重叠的方式，且以在从第1支承部与光检测器排列的第2方向看时、温度检测器的至少一部分与第1支承部的一部分重叠的方式，配置在安装面，第2方向上的温度检测器与第1支承部之间的第1距离，小于第2方向上的第1支承区域的第1宽度。
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公开(公告)号：CN111357092B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201880073818.2
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 吸附方法是使用吸附夹头吸附具备基板、及设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部的法布里‑帕罗干涉滤波器的吸附方法，具备：第1工序，其以与上述主面相对的方式配置上述吸附夹头；第2工序，其在上述第1工序之后，使上述吸附夹头接触于上述法布里‑帕罗干涉滤波器；及第3工序，其在上述第2工序之后，通过上述吸附夹头吸附上述法布里‑帕罗干涉滤波器。
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公开(公告)号：CN115291384A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202211107728.5
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在有效区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。在沿基板层的外缘且包围有效区域的虚设区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间设置中间层，而构成多个虚设滤光器部。在多个法布里‑帕罗干涉滤光器部及多个虚设滤光器部的各个中，至少第2镜部被第1槽包围。
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公开(公告)号：CN107608017B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN201710556846.7
申请日：2017-07-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明所涉及的法布里‑珀罗干涉滤光片的特征在于：具备：基板，具有互相相对的第1表面以及第2表面；第1层结构体，被配置于第1表面；第2层结构体，被配置于第2表面；在第1层结构体中设置通过空隙互相相对并且互相的距离为可变的第1反射镜部以及第2反射镜部，在第2层结构体中形成分离区域，该分离区域在沿着第2表面的方向上的一方侧和另一方侧将第2层结构体的至少一部分分离。
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公开(公告)号：CN114659632A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210293509.4
申请日：2017-03-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/26 , G01J3/02 , G01J3/50 , G01J1/04 , H01L27/144
Abstract: 光检测装置具备：法布里‑珀罗干涉滤光器，在规定的线上设置有光透过区域；光检测器，在线上相对于法布里‑珀罗干涉滤光器配置于一侧；封装体，具有在线上相对于法布里‑珀罗干涉滤光器位于另一侧的开口；光透过构件，以将开口封闭的方式设置于封装体；及温度调节元件，与法布里‑珀罗干涉滤光器及光检测器热性连接，且具有吸热区域。吸热区域在线上相对于光检测器位于一侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111480105A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201880075390.5
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有多个法布里-帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤：进行多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定；对判定为不良的法布里-帕罗干涉滤光器部的第2镜层中自相对方向观察时与空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水。
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公开(公告)号：CN107250772B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201680011918.3
申请日：2016-02-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N21/65
Abstract: SERS元件(3)具备：基板(4)；细微结构部(7)，被形成于基板(4)的表面(4a)上并且具有多个柱脚(11)；导电体层(6)，被形成于细微结构部(7)上并且构成使表面增强拉曼散射发生的光学功能部(10)。在各个柱脚(11)的外表面，设置有沟槽(12)。在导电体层(6)，在沟槽(12)的内表面的至少一部分露出的状态下导电体层(6)被形成于各个柱脚(11)的外表面，从而形成多个间隙(G)。
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公开(公告)号：CN118258488A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410400010.8
申请日：2020-10-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置包括：配线基板；配置在配线基板的安装面的第1支承部；法布里‑珀罗干涉滤光片，具有相互的距离为可变的第1反射镜部和第2反射镜部，外缘部配置在第1支承部的第1支承区域；光检测器，在第1支承部的一侧以与第1反射镜部和第2反射镜部相对的方式配置在安装面；和配置在安装面的温度检测器，温度检测器以在从与安装面垂直的第1方向看时、温度检测器的至少一部分与法布里‑珀罗干涉滤光片的一部分重叠的方式，且以在从第1支承部与光检测器排列的第2方向看时、温度检测器的至少一部分与第1支承部的一部分重叠的方式，配置在安装面，第2方向上的温度检测器与第1支承部之间的第1距离，小于第2方向上的第1支承区域的第1宽度。
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公开(公告)号：CN110603430B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN201880028870.6
申请日：2018-04-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光测量控制程序为在包含法布里‑珀罗干涉滤光器及光检测器的光检测装置中，通过取得自光检测器输出的电信号而使计算机执行对成为测量对象的光进行测量的处理的光测量控制程序；上述法布里‑珀罗干涉滤光器具有经由空隙而彼此相对的一对镜面部，且一对镜面部间的距离对应于一对镜面部间产生的电位差而变化；上述光检测器检测透过法布里‑珀罗干涉滤光器的光；且该光测量控制程序使计算机作为以下两者发挥功能：电压控制部，其在开始电信号的取得前，将一对镜面部间产生的电位差控制为阶段性增加直至达到与测量对象的光的波长对应的设定电位差；及信号取得部，其在电压控制部在一对镜面部间产生设定电位差的状态下取得电信号。
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