发明授权
- 专利标题： 法布里-珀罗干涉滤光片以及光检测装置
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申请号： CN201710556846.7申请日： 2017-07-10
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公开(公告)号： CN107608017B公开(公告)日： 2022-07-01
- 发明人: 川合敏光 , 柴山胜己 , 笠原隆 , 广瀬真树 , 大山泰生 , 寺町有未
- 申请人： 浜松光子学株式会社
- 申请人地址： 日本静冈县
- 专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本静冈县
- 代理机构： 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦; 黄浩
- 优先权： 2016-136813 20160711 JP 2016-136814 20160711 JP
- 主分类号： G02B5/28
- IPC分类号： G02B5/28 ; G02B26/00 ; G01J3/26
摘要：
本发明所涉及的法布里‑珀罗干涉滤光片的特征在于：具备：基板，具有互相相对的第1表面以及第2表面；第1层结构体，被配置于第1表面；第2层结构体，被配置于第2表面；在第1层结构体中设置通过空隙互相相对并且互相的距离为可变的第1反射镜部以及第2反射镜部，在第2层结构体中形成分离区域，该分离区域在沿着第2表面的方向上的一方侧和另一方侧将第2层结构体的至少一部分分离。
公开/授权文献
- CN107608017A 法布里-珀罗干涉滤光片以及光检测装置 公开/授权日：2018-01-19
