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公开(公告)号：CN114502929B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202080070357.0
申请日：2020-10-06
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 光检测装置包括：配线基板；配置在配线基板的安装面的第1支承部；法布里‑珀罗干涉滤光片，具有相互的距离为可变的第1反射镜部和第2反射镜部，外缘部配置在第1支承部的第1支承区域；光检测器，在第1支承部的一侧以与第1反射镜部和第2反射镜部相对的方式配置在安装面；和配置在安装面的温度检测器，温度检测器以在从与安装面垂直的第1方向看时、温度检测器的至少一部分与法布里‑珀罗干涉滤光片的一部分重叠的方式，且以在从第1支承部与光检测器排列的第2方向看时、温度检测器的至少一部分与第1支承部的一部分重叠的方式，配置在安装面，第2方向上的温度检测器与第1支承部之间的第1距离，小于第2方向上的第1支承区域的第1宽度。
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公开(公告)号：CN111357092B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201880073818.2
申请日：2018-11-09
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 吸附方法是使用吸附夹头吸附具备基板、及设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部的法布里‑帕罗干涉滤波器的吸附方法，具备：第1工序，其以与上述主面相对的方式配置上述吸附夹头；第2工序，其在上述第1工序之后，使上述吸附夹头接触于上述法布里‑帕罗干涉滤波器；及第3工序，其在上述第2工序之后，通过上述吸附夹头吸附上述法布里‑帕罗干涉滤波器。
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公开(公告)号：CN116113806A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202180051938.4
申请日：2021-07-07
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G01J1/02
摘要： 光检测装置(1A)具备光检测元件(10A)和封装体(20)。光检测元件(10A)具备半导体基板(16)和光吸收膜(30)。光吸收膜(30)设置于半导体基板(16)的主面(16a)上的光检测区域(11)的周围的区域中的至少一部分的区域上。光吸收膜(30)具有包含光吸收层(31)、共振层(32)、及反射层(33)的多层结构。在被检测光的波长中，共振层(32)的内部的光透过率较光吸收层(31)的内部的光透过率大，反射层(33)的表面的光反射率较共振层(32)的表面的光反射率大。由此，实现了一种可减少在封装体内散射的光的光检测装置。
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公开(公告)号：CN115291384A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202211107728.5
申请日：2018-11-09
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在有效区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。在沿基板层的外缘且包围有效区域的虚设区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间设置中间层，而构成多个虚设滤光器部。在多个法布里‑帕罗干涉滤光器部及多个虚设滤光器部的各个中，至少第2镜部被第1槽包围。
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公开(公告)号：CN107608017B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN201710556846.7
申请日：2017-07-10
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 本发明所涉及的法布里‑珀罗干涉滤光片的特征在于：具备：基板，具有互相相对的第1表面以及第2表面；第1层结构体，被配置于第1表面；第2层结构体，被配置于第2表面；在第1层结构体中设置通过空隙互相相对并且互相的距离为可变的第1反射镜部以及第2反射镜部，在第2层结构体中形成分离区域，该分离区域在沿着第2表面的方向上的一方侧和另一方侧将第2层结构体的至少一部分分离。
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公开(公告)号：CN114659632A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210293509.4
申请日：2017-03-03
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G01J3/26 , G01J3/02 , G01J3/50 , G01J1/04 , H01L27/144
摘要： 光检测装置具备：法布里‑珀罗干涉滤光器，在规定的线上设置有光透过区域；光检测器，在线上相对于法布里‑珀罗干涉滤光器配置于一侧；封装体，具有在线上相对于法布里‑珀罗干涉滤光器位于另一侧的开口；光透过构件，以将开口封闭的方式设置于封装体；及温度调节元件，与法布里‑珀罗干涉滤光器及光检测器热性连接，且具有吸热区域。吸热区域在线上相对于光检测器位于一侧。
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公开(公告)号：CN107532941B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201680024252.5
申请日：2016-04-19
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 本发明的光检测装置(1A)包括：法布里‑珀罗干涉滤光器(10)；光检测器(3)；间隔件(4)，其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面；及粘合构件(5)，其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式，位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部，且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
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公开(公告)号：CN111480105A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201880075390.5
申请日：2018-11-09
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G02B26/00
摘要： 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有多个法布里-帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤：进行多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定；对判定为不良的法布里-帕罗干涉滤光器部的第2镜层中自相对方向观察时与空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水。
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公开(公告)号：CN105992964B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201580007963.7
申请日：2015-02-03
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 本发明提供一种法布里‑珀罗干涉滤光器(10A)包括：固定镜(31)；和可动镜(41)，其经由空隙(S)与固定镜(31)相对而配置，通过静电力来调整光透过区域(11)中的与固定镜(31)的距离。在可动镜(41)中的包围光透过区域(11)的包围部(41a)形成有包围光透过区域(11)的多个第1环状槽(44)以及空隙(S)侧和在其相反侧开口的多个第1贯通孔(45)。
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公开(公告)号：CN105705920A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201480059055.8
申请日：2014-10-31
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G01J3/26
CPC分类号： G01J3/26 , G01J3/0286
摘要： 本发明所涉及的光谱传感器(1)的特征在于：具备：配线基板(2)，具有主面；光检测器(3)，被配置于配线基板(2)的主面(2A)上并且与配线基板(2)相电连接；垫片(4)，在配线基板的主面(2A)上被配置于光检测器(3)的周围；法布里-珀罗干涉滤光片(10)，具有光透过区域(11)并且通过垫片(4)被配置于配线基板(2)的主面(2A)上；垫片(4)在光透过区域(11)的周围区域(R1)支撑法布里-珀罗干涉滤光片(10)，垫片(4)在从光透过区域(11)中的光的透过方向看的情况下具有连通周围区域(R1)的内侧和周围区域(R1)的外侧的开口部(A1)。
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