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公开(公告)号：CN111357092B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201880073818.2
申请日：2018-11-09
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 吸附方法是使用吸附夹头吸附具备基板、及设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部的法布里‑帕罗干涉滤波器的吸附方法，具备：第1工序，其以与上述主面相对的方式配置上述吸附夹头；第2工序，其在上述第1工序之后，使上述吸附夹头接触于上述法布里‑帕罗干涉滤波器；及第3工序，其在上述第2工序之后，通过上述吸附夹头吸附上述法布里‑帕罗干涉滤波器。
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公开(公告)号：CN115291384A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202211107728.5
申请日：2018-11-09
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在有效区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。在沿基板层的外缘且包围有效区域的虚设区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间设置中间层，而构成多个虚设滤光器部。在多个法布里‑帕罗干涉滤光器部及多个虚设滤光器部的各个中，至少第2镜部被第1槽包围。
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公开(公告)号：CN107608017B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN201710556846.7
申请日：2017-07-10
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 本发明所涉及的法布里‑珀罗干涉滤光片的特征在于：具备：基板，具有互相相对的第1表面以及第2表面；第1层结构体，被配置于第1表面；第2层结构体，被配置于第2表面；在第1层结构体中设置通过空隙互相相对并且互相的距离为可变的第1反射镜部以及第2反射镜部，在第2层结构体中形成分离区域，该分离区域在沿着第2表面的方向上的一方侧和另一方侧将第2层结构体的至少一部分分离。
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公开(公告)号：CN114659632A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210293509.4
申请日：2017-03-03
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G01J3/26 , G01J3/02 , G01J3/50 , G01J1/04 , H01L27/144
摘要： 光检测装置具备：法布里‑珀罗干涉滤光器，在规定的线上设置有光透过区域；光检测器，在线上相对于法布里‑珀罗干涉滤光器配置于一侧；封装体，具有在线上相对于法布里‑珀罗干涉滤光器位于另一侧的开口；光透过构件，以将开口封闭的方式设置于封装体；及温度调节元件，与法布里‑珀罗干涉滤光器及光检测器热性连接，且具有吸热区域。吸热区域在线上相对于光检测器位于一侧。
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公开(公告)号：CN107532941B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201680024252.5
申请日：2016-04-19
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 本发明的光检测装置(1A)包括：法布里‑珀罗干涉滤光器(10)；光检测器(3)；间隔件(4)，其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面；及粘合构件(5)，其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式，位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部，且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
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公开(公告)号：CN111480105A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201880075390.5
申请日：2018-11-09
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G02B26/00
摘要： 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在晶圆中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有多个法布里-帕罗干涉滤光器部。一实施方式的晶圆检查方法包含下述步骤：进行多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的是否为良品的判定；对判定为不良的法布里-帕罗干涉滤光器部的第2镜层中自相对方向观察时与空隙重叠的部分的至少一部分涂布墨水。
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公开(公告)号：CN105992964B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201580007963.7
申请日：2015-02-03
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 本发明提供一种法布里‑珀罗干涉滤光器(10A)包括：固定镜(31)；和可动镜(41)，其经由空隙(S)与固定镜(31)相对而配置，通过静电力来调整光透过区域(11)中的与固定镜(31)的距离。在可动镜(41)中的包围光透过区域(11)的包围部(41a)形成有包围光透过区域(11)的多个第1环状槽(44)以及空隙(S)侧和在其相反侧开口的多个第1贯通孔(45)。
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公开(公告)号：CN105705920A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201480059055.8
申请日：2014-10-31
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G01J3/26
CPC分类号： G01J3/26 , G01J3/0286
摘要： 本发明所涉及的光谱传感器(1)的特征在于：具备：配线基板(2)，具有主面；光检测器(3)，被配置于配线基板(2)的主面(2A)上并且与配线基板(2)相电连接；垫片(4)，在配线基板的主面(2A)上被配置于光检测器(3)的周围；法布里-珀罗干涉滤光片(10)，具有光透过区域(11)并且通过垫片(4)被配置于配线基板(2)的主面(2A)上；垫片(4)在光透过区域(11)的周围区域(R1)支撑法布里-珀罗干涉滤光片(10)，垫片(4)在从光透过区域(11)中的光的透过方向看的情况下具有连通周围区域(R1)的内侧和周围区域(R1)的外侧的开口部(A1)。
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公开(公告)号：CN104541156A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201380042525.5
申请日：2013-08-09
申请人： 浜松光子学株式会社
摘要： 一种表面增强拉曼散射元件，包括：基板，其具有主面；成形层，其包含以沿着基板的主面延伸的方式形成于主面上的支撑部、及形成于支撑部上的细微结构部；框部，其以沿着基板的主面包围支撑部及细微结构部的方式形成于主面上；及导电体层，其至少形成于细微结构部上，且构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部；细微结构部与支撑部一体地形成。
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公开(公告)号：CN113358223B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202110544596.1
申请日：2016-09-27
申请人： 浜松光子学株式会社
IPC分类号： G01J3/26
摘要： 光检测装置具备：法布里‑珀罗干涉滤波器，其设置有光透过区域；光检测器，其检测透过光透过区域的光；封装体，其具有开口，收纳法布里‑珀罗干涉滤波器及光检测器；及光透过部，其以封挡开口的方式配置于封装体的内表面，且包含使入射至光透过区域的光透过的带通滤波器。自平行于线的方向观察的情况下，法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘位于较开口的外缘更靠外侧的位置，光透过部的外缘位于较法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘更靠外侧的位置。
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