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公开(公告)号:CN113949310A
公开(公告)日:2022-01-18
申请号:CN202111110516.8
申请日:2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域,公开了一种磁悬浮驱动式导向机构,包括:两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置,两基座相互间隔且平行设置,其中左基座上设有磁力线圈和永磁铁,右基座上设有永磁铁,导轨悬浮架设于两基座上;第一悬浮装置设于所述导轨的左侧,第一悬浮装置的左侧设有第一磁悬浮组件,第一悬浮装置的底部设有第二磁悬浮组件;第二悬浮装置设于导轨的右侧,第二悬浮装置的底部设有第三磁悬浮组件。本发明能够在抵消导轨及其各组件的重力影响的同时有效降低导向机构运动摩擦,并实现导轨的高精度磁力驱动,以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大,运动控制难度高且装配误差较大的问题,进一步提高导向机构的运动精度。
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公开(公告)号:CN113917797A
公开(公告)日:2022-01-11
申请号:CN202111110625.X
申请日:2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域,公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法,运动台包括基座、工作台和控制装置,工作台设置于基座的上方,工作台的下表面设置有多个凹槽,控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块,第一电机组设置在工作台的侧面,用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动,第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中,第二电机组抵在工作台的底面,用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动,位置检测模块检测工作台的实时位置;第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制,从而提高对运动台的控制精度。
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公开(公告)号:CN113867106A
公开(公告)日:2021-12-31
申请号:CN202111110725.2
申请日:2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域,公开了一种光刻机掩模台隔振装置,该光刻机掩模台隔振装置包括:掩模台基座,投影物镜套筒,以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置,其中连接装置为柔性支撑的装置,并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为:通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接,并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置,支撑平稳可靠,同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性,进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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公开(公告)号:CN112285188A
公开(公告)日:2021-01-29
申请号:CN202011127131.8
申请日:2020-10-20
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01N27/416
Abstract: 本发明公开了一种管状吸嘴式电化学传感装置的使用方法,所述传感装置包括移液器、恒电位仪、信号处理设备以及吸管,所述吸管包括连接器、电极管以及吸嘴,所述电极管内壁设有多个电极槽,所述电极槽内分别设置有电极,所述电极通过连接器与恒电位仪相连,所述使用方法包括以下步骤:制备待测溶液;将移液器、恒电位仪、信号处理设备以及吸管组装成完整的传感装置;吸取待测溶液进行检测,记录相关数据;更换吸管进行重复测量,记录相关数据;将传感装置拆分保存,分析相关数据。
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公开(公告)号:CN111812171A
公开(公告)日:2020-10-23
申请号:CN202010679696.0
申请日:2020-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明是一种集成式光电化学传感电极,基底为导电玻璃,自下而上依次为工作电极、第一绝缘层、对电极、参比电极、第二绝缘层。本发明通过多步、多层印刷操作,将对电极及参比电极直接制备与工作电极同在一块导电玻璃的表面,实现了三电极体系的集成,构建了一种新型的光电化学传感器平台,可实现标准化,大规模生产,应用于医学辅助诊断,环境监控,食品安全等检测领域,比如检测尿酸,葡萄糖,C反应蛋白,病毒核酸等,应用范围广,检测精度高。
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公开(公告)号:CN1564012A
公开(公告)日:2005-01-12
申请号:CN200410013688.3
申请日:2004-04-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 便携式固体氧化物燃料电池自动检测系统,它具体是一种便携式固体氧化物燃料电池的自动检测系统。热电偶(2)的测温端与燃料电池(1)壳体接触,(2)通过温度信号处理单元(3)与模/数转换USB接口模块(7)输入端连接,(1)的两个电源输出端分别连接电压、电流处理单元(4)的两个输入端,氧气源(10)通过第二流量控制器(6)与(1)的输入孔相接,燃料气源(11)通过第一流量控制器(5)与(1)的输入孔相接,(7)的五个输入端分别接(4)的三个输出端、(5)和(6)的输出端,数/模转换模块(8)的四个输出端分别接(4)的两个输入端、(5)和(6)的输入端,(7)的数据端接(8)的数据端,(7)的数据端接计算机(9)的数据端。本发明能对燃料电池的工作温度、气体流量、电压、电流、功率等进行检测。
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公开(公告)号:CN116491937B
公开(公告)日:2023-12-08
申请号:CN202211402427.5
申请日:2022-11-09
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: A61B5/145 , A61B5/1477 , A61B5/00 , G01N21/78 , G01N27/26
Abstract: 本发明公开了一种可穿戴的纤维基电化学‑比色传感阵列及其在汗液分析检测中的应用。本发明的纤维基电化学‑比色传感阵列,包括层叠的电化学传感层和比色传感层,电化学传感层包括依次层叠的电化学传感吸附层、电路和电化学检测单元,比色传感层包括层叠的比色传感吸附层和比色检测单元,实现电化学和比色两种方法同时监测汗液中葡萄糖、乳酸、pH、Cl‑和尿素5种生物标记物,并将电化学信号传递给外部分析设备。每个电化学传感单元和比色传感单元都独立于传感腔室内没有串扰,免受皮肤分泌物污染,减少分析试剂回流,实现液体自动捕获和传递,具有密封性、可靠性和穿戴舒适性,且灵敏度高,特异性强,准确性高,稳定性好。
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公开(公告)号:CN109671038B
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN201811615312.8
申请日:2018-12-27
Abstract: 一种基于伪不变特征点分类分层的相对辐射校正方法,本发明属于遥感图像辐射校正领域。现有的辐射校正方法对包含海岸线、海岛等占据优势地物区域的遥感图像进行相对辐射的校正精度不高。本发明步骤为:一、基于遥感图像分类获取地物子图像;二、基于光谱的非线性回归分析,确定地物子图像的初始相对辐射校正模型及初始PIFs;三、基于梯度的精细非线性回归分析,确定地物子图像的精细化非线性相对辐射校正模型及精细化PIFs;四、利用精细化PIFs和精细化非线性相对辐射校正模型对待校正地物子图像进行相对辐射校正;五、将校正后的图像合成一幅完整的图像。本发明应用于遥感图像辐射校正领域。
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公开(公告)号:CN113917797B
公开(公告)日:2023-03-24
申请号:CN202111110625.X
申请日:2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域,公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法,运动台包括基座、工作台和控制装置,工作台设置于基座的上方,工作台的下表面设置有多个凹槽,控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块,第一电机组设置在工作台的侧面,用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动,第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中,第二电机组抵在工作台的底面,用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动,位置检测模块检测工作台的实时位置;第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制,从而提高对运动台的控制精度。
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公开(公告)号:CN115615376A
公开(公告)日:2023-01-17
申请号:CN202211218819.6
申请日:2022-10-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大型高速回转装备关键构件几何特征精密测量方法与装置属于精密仪器及机械技术领域;该装置包括隔振平台(1)、回转台(3)、调整台(4)、标定球(6)、传感器控制器(7)、位姿调整机构(9)、传感器(8)和立柱(12);传感器(8)与位姿调整机构(9)固连,位姿调整机构(9)连接平移机构(10),通过导向滑块(11)沿立柱(7)竖向移动;导向滑块(11)通过调整锁紧机构(13)、回转单元(15)及俯仰单元(14)对传感器(8)分别进行升降、俯仰和回转调整;回转台(3)带动标定球(6)转动一周,传感器(8)测量被测构件(16)表面轮廓获得点云数据,依据被测要素进行几何特征提取和评定,获得被测几何特征的测量结果;本发明可实现大型高速回转装备关键构件几何特征的快速高精度测量。
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