公开(公告)号：CN103733298A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201280039452.X

申请日：2012-05-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 重藤训志 ,  佐藤贡 ,  饭泉纪子 ,  能田弘行 ,  西村雅子 ,  渡边俊哉 ,  许斐麻美 ,  富田真一 ,  多持隆一郎

IPC: H01J37/24 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/10 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/21

Abstract: 近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。

公开(公告)号：CN103210467A

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN201180054529.6

申请日：2011-11-21

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 渡边俊哉 ,  许斐麻美 ,  高须久幸 ,  上野敦史

IPC: H01J37/305 ,  G01N1/28 ,  G01N1/36 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/3053 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31745

Abstract: 提供一种离子铣削装置以及离子铣削加工方法，通过使试料(3)相对于离子束(2)的光轴(Z轴)倾斜振动，重复进行在如下两状态间的试料(3)的加工面(3a)的倾斜以及倾斜复位，由此，离子束(2)低角度照射向加工面(3a)，抑制因空穴(61)、异种物质(62)产生的凹凸(63)，其中一状态是试料(3)的加工面(3a)朝向倾斜轴方向(Y轴向)的面状态，其二是从该面状态，加工面(3a)的试料台侧部分相比加工面(3a)的掩膜侧部分更向倾斜轴方向(Y轴向)突出的倾斜面状态。由此，在剖面试料制作时，可以抑制因空穴、异种物质产生的凹凸，可以制作适于观察/分析的试料剖面。