公开(公告)号：CN101208641A

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN200680023200.2

申请日：2006-06-22

Applicant: 株式会社富士金 ,  国立大学法人东北大学 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 大见忠弘 ,  斋藤雅仁 ,  日野昭一 ,  岛津强 ,  三浦和幸 ,  西野功二 ,  永濑正明 ,  杉田胜幸 ,  平田薰 ,  土肥亮介 ,  广濑隆 ,  筱原努 ,  池田信一 ,  今井智一 ,  吉田俊英 ,  田中久士

IPC: G05D7/00 ,  G01F1/42 ,  G01F1/00 ,  G01F7/00

CPC classification number: G05D7/0641 ,  G01F1/363 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/6847 ,  G01F5/005 ,  G01F7/005 ,  G05D7/0635 ,  G05D7/0647 ,  G05D23/1927 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/776 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/86734 ,  Y10T137/86815 ,  Y10T137/87265 ,  Y10T137/87314 ,  Y10T137/8741 ,  Y10T137/87499 ,  Y10T137/87684

Abstract: 本发明涉及一种流量范围可变型流量控制装置，通过一台流量控制装置也能对较广的流量区域的流体进行高精度的流量控制，从而可实现流量控制装置的小型化和设备费用的降低。具体而言，在使用节流孔上游侧压力P1以及或者节流孔下游侧压力P2而以Qc＝KP1(K为比例常数)或者Qc＝KP2m(P1－P2)n(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量的压力式流量控制装置中，将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的节流孔切换并流通。

公开(公告)号：CN110178002B

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN201780080827.X

申请日：2017-12-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 日高敦志 ,  中谷贵纪 ,  山下哲 ,  杉田胜幸 ,  平田薰 ,  永濑正明 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F23/22 ,  B01J4/00 ,  C23C16/448 ,  G05D9/12 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供一种液面计(20)，具备：测温电阻体(R11)；位于其上方的温度测定体(R12)；检测测温电阻体以及温度测定体的温度的温度检测部(27)；以测温电阻体和温度测定体成为预定的温度差的方式，确定流动于测温电阻体的电流值的电流控制部(28)；使确定的电流值的电流流动于测温电阻体的电源部(22)；以及检测液面的位置的液面检测部(29)，液面检测部通过流动于测温电阻体的电流值的预定的一定期间的变化幅度的正负、和变化幅度是否为预定的值以上，从而检测液面相对于测温电阻体的相对位置的变化。由此，能够高精度地检测液面的位置，而不会受到测温电阻体的特性偏差的影响。

公开(公告)号：CN109416275B

公开(公告)日：2021-05-07

申请号：CN201780019538.9

申请日：2017-06-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 泽田洋平 ,  永濑正明 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F25/00 ,  G01F1/00 ,  G01F1/34 ,  G01F1/42

Abstract: 本发明提供一种流量控制设备的校正方法，其基于与由流量基准器测量的流量的比较进行流量校正，针对多个流量设定而设定规定容许误差范围，将多个流量设定的中的至少一个特定流量设定的容许误差范围，设定为小于规定容许误差范围。

公开(公告)号：CN107850533B

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201680025146.9

申请日：2016-08-09

Applicant: 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

Inventor： 出口祥启 ,  永濑正明 ,  山路道雄 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  河岛将慈 ,  田中一辉

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/03

Abstract: 一种浓度测定装置，包括：至少一个光源；用于注入被测定流体的测定单元；用于使所述光源的光分支为入射到所述测定单元内的入射光和未入射到所述测定单元内的非入射光的分歧器；用于检测所述入射光通过了所述测定单元的透过光的透过光检测器；用于检测所述非入射光的非入射光检测器；以及利用所述非入射光检测器的检测信号对所述透过光检测器的检测信号进行校正的运算部。

公开(公告)号：CN110892357A

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201880046755.1

申请日：2018-07-24

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 山下哲 ,  泽田洋平 ,  永濑正明 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供一种流体控制系统(1)，具备：第一阀(21)，其设置于流量控制器(10)的下游侧；流量测定装置(30)，其设置在第一阀(21)的下游侧并具有第二阀(22)；开闭检测器(26)，其设置于第二阀(22)；以及控制部(25)，其控制第一阀(21)和第二阀(22)的开闭动作，控制部(25)根据开闭检测器(26)输出的信号控制第一阀(21)的开闭。

公开(公告)号：CN107923841A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680025238.7

申请日：2016-08-09

Applicant: 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

Inventor： 出口祥启 ,  永濑正明 ,  山路道雄 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  河岛将慈 ,  田中一辉

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/05

CPC classification number: G01N21/3103 ,  G01J3/10 ,  G01J3/42 ,  G01N21/33 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/59 ,  G01N2021/157 ,  G01N2021/3133 ,  G01N2201/0627 ,  G01N2201/08 ,  G01N2201/1211

Abstract: 一种浓度测定装置，所述浓度测定装置用于通过检测通过光入射窗和光出射窗被对向配置的测定单元的透过光而测定所述测定单元内的被测定流体的浓度，且所述浓度测定装置包括检测所述光入射窗的反射光的反射光检测器。

公开(公告)号：CN107532298A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680007156.X

申请日：2016-04-11

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 日高敦志 ,  永濑正明 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  中谷贵纪 ,  山下哲 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  平尾圭志

IPC: C23C16/448 ,  B01J4/00 ,  B01J7/02 ,  C23C16/52 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。

公开(公告)号：CN105164512B

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201480010081.1

申请日：2014-04-25

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  土肥亮介 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  山路道雄 ,  药师神忠幸

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/27 ,  G01N21/33

CPC classification number: G01J1/0403 ,  G01J1/0407 ,  G01J1/42 ,  G01J3/0205 ,  G01J5/0014 ,  G01J5/0875 ,  G01N21/0303 ,  G01N21/05 ,  G01N21/33 ,  G02B1/02 ,  G02B7/007 ,  G02B27/022 ,  G02B27/028

Abstract: 本发明提供一种谋求在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计的构造的简单化、小型化、制品成本的降低，能够将透光窗的透明度保持为一定而进行稳定的浓度测定，并且提高了气密性能和耐颗粒性的浓度计。本发明是在由检测器的主体(2)和设置于检测器的主体的上面的光发信部(5a)以及设置于检测器的主体的下面的光检测部(5b)构成的光分析式原料流量浓度检测器中，由以下部件构成：通过在检测器的主体(2)的上面和下面设置的流体通路(2b)而连通的凹部(17)；安装在该凹部(17)内的垫片型密封件(6)；与垫片型密封件(6)相对向配置，将蓝宝石制透光窗板(11a)夹持紧固而气密性地嵌合固定的第一固定凸缘(14)和第二固定凸缘(16)；设置于第二固定凸缘(16)内的光纤(9)和光电二极管(10)；和将所述嵌合固定的两固定凸缘(14、16)经由垫片型密封件(6)气密性地固定于检测器主体(2)的凹部(17)内的保持固定体(12)。

公开(公告)号：CN105556283A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201480022888.7

申请日：2014-07-18

Applicant: 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

Inventor： 出口祥啓 ,  永濑正明 ,  池田信一 ,  山路道雄

IPC: G01N21/33

CPC classification number: G01N21/5907 ,  G01N21/33 ,  G01N2021/3148 ,  G01N2021/5969 ,  G01N2021/8411 ,  G01N2021/8578 ,  G01N2201/0627 ,  G01N2201/0691

Abstract: 本发明提供一种在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计，能够实现该浓度计的结构的简单化、小型化、产品成本的降低，并且能够在高精度、高灵敏度下进行再现性高的浓度测定。本发明由以下部件构成：发射具有相位差的至少两种波长的光的光源部；具备将来自光源部的光入射至检测器主体的流体通路内的光入射部和对流体通路内通过的光进行受光的至少两个光检测部的检测部；对来自检测部的至少两个波长的检测信号分别进行频率解析，并且计算与上述各检测信号的至少三个频率域的吸光度对应的强度，根据该各检测信号的至少三个频率域的吸光度强度计算流体通路内的流体浓度的运算处理部；记录和/或显示运算处理部的流体浓度的计算值的记录显示部。

公开(公告)号：CN105164512A

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201480010081.1

申请日：2014-04-25

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  土肥亮介 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  山路道雄 ,  药师神忠幸

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/27 ,  G01N21/33

CPC classification number: G01J1/0403 ,  G01J1/0407 ,  G01J1/42 ,  G01J3/0205 ,  G01J5/0014 ,  G01J5/0875 ,  G01N21/0303 ,  G01N21/05 ,  G01N21/33 ,  G02B1/02 ,  G02B7/007 ,  G02B27/022 ,  G02B27/028

Abstract: 本发明提供一种谋求在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计的构造的简单化、小型化、制品成本的降低，能够将透光窗的透明度保持为一定而进行稳定的浓度测定，并且提高了气密性能和耐颗粒性的浓度计。本发明是在由检测器的主体(2)和设置于检测器的主体的上面的光发信部(5a)以及设置于检测器的主体的下面的光检测部(5b)构成的光分析式原料流量浓度检测器中，由以下部件构成：通过在检测器的主体(2)的上面和下面设置的流体通路(2b)而连通的凹部(17)；安装在该凹部(17)内的垫片型密封件(6)；与垫片型密封件(6)相对向配置，将蓝宝石制透光窗板(11a)夹持紧固而气密性地嵌合固定的第一固定凸缘(14)和第二固定凸缘(16)；设置于第二固定凸缘(16)内的光纤(9)和光电二极管(10)；和将所述嵌合固定的两固定凸缘(14、16)经由垫片型密封件(6)气密性地固定于检测器主体(2)的凹部(17)内的保持固定体(12)。