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公开(公告)号：CN109983318B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201880004412.9
申请日：2018-02-06
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： G01M3/26
摘要： 在流体控制器中，即使在流体的泄漏很少的情况下，也能够检测到泄漏。另外，通过利用信息通信技术，从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有：压力传感器(11)，其检测封闭空间(S)内的压力；处理模块，其执行给定的信息处理；以及拆装机构，其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP)，并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别流体控制器(2)的异常，并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。
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公开(公告)号：CN108027618B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201680027495.4
申请日：2016-09-15
申请人： 株式会社富士金
摘要： 本发明提供一种压力式流量控制装置，其具备：收缩部，其介于流路上；上游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的上游侧的流体压力；下游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的下游侧的流体压力；流量控制阀，其设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及运算控制回路，其通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀而控制流量，所述运算控制回路在流体不在所述流路内流动的状态下，计算所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差，同时根据计算出的所述差输出压力传感器异常判定用信号。
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公开(公告)号：CN111919053A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201880091000.3
申请日：2018-03-09
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： F16K31/02 , F16K31/122
摘要： 本发明提供能够更加简单地对打开阀时的流量进行调整的阀装置。阀装置(1)具有：阀体(10)，在其内部形成有第1流路(12)以及第2流路(13)；阀芯(20)，其通过关闭第1流路的开口而将第1流路和第2流路切断，并且通过打开第1流路的开口而使第1流路和第2流路连通；操作构件(40)，其使阀芯在关闭开口的闭位置与打开开口的开位置之间移动；以及调整致动器(100)，其限定操作构件的开位置，并且具有由根据电场的变化而发生变形的化合物形成的电驱动材料，通过电驱动材料的变形而使所限定的开位置发生变化。
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公开(公告)号：CN107003169B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201580054407.5
申请日：2015-11-24
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： G01F23/22
摘要： 本发明涉及的液位计(30)具备第一测温电阻元件(R11)；配置在第一测温电阻元件的附近的第一温度测定元件(R12)；根据第一测温电阻元件及第一温度测定元件的温度检测液面的位置的液面检测部(39)，检测第一测温电阻元件及第一温度测定元件的温度的温度检测部(37)，按照温度检测部检测到的第一测温电阻元件的温度与第一温度测定元件的温度的差成为第一定值的方式，决定施加到第一测温电阻元件的电流值的电流控制部(38)；和将所决定的电流值的电流施加到第一测温电阻元件的电源部(32)，液面检测部使用施加到第一测温电阻元件的电流值，判定第一测温电阻元件存在于液体中还是存在于液体外。由此，能够不受周围温度的影响地进行液面检测，由于按固定温度差进行温度控制，所以不会对测温电阻元件施加必要以上的电力，能够实现长寿命化。
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公开(公告)号：CN107532298B
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201680007156.X
申请日：2016-04-11
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： C23C16/448 , B01J4/00 , B01J7/02 , C23C16/52 , H01L21/31
摘要： 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。
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公开(公告)号：CN109983318A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201880004412.9
申请日：2018-02-06
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： G01M3/26
摘要： 在流体控制器中，即使在流体的泄漏很少的情况下，也能够检测到泄漏。另外，通过利用信息通信技术，从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有：压力传感器(11)，其检测封闭空间(S)内的压力；处理模块，其执行给定的信息处理；以及拆装机构，其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP)，并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别流体控制器(2)的异常，并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。
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公开(公告)号：CN109074104A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780005089.2
申请日：2017-04-21
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 本发明提供一种流体控制装置，其具备流体控制模块和外部控制模块，流体控制模块具有流路上的控制阀、驱动控制阀的阀驱动电路、流路上的流体测量器、处理从流体测量器输出的信号的第一处理器，外部控制模块具有第二处理器，该第二处理器处理第一处理器输出的信号，第二处理器根据从第一处理器输出的流体测量器的信号输出阀控制信号，阀控制信号不通过第一处理器，而是被直接输入到阀驱动电路，阀驱动电路根据来自第二处理器的阀控制信号，输出驱动控制阀的驱动电压。
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公开(公告)号：CN108885471A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780004761.6
申请日：2017-03-23
申请人： 株式会社富士金
摘要： 本发明提供一种压力式流量控制装置(8)，具备：节流部(2)、节流部上游的控制阀(6)、上游压力检测器(3)和下游压力检测器(4)、以及利用控制阀和节流部之间的流路的压力下降数据和基准压力下降数据对流量控制进行诊断的控制器(7)，在下游压力检测器的下游侧设置有隔断阀(9)，执行流量自诊断功能时，向控制阀和隔断阀发出关闭命令，控制器(7)利用关闭控制阀后的上游压力检测器和下游压力检测器的输出判定是否满足规定的临界膨胀条件，利用满足规定的临界膨胀条件的期间的压力下降数据而对流量控制进行诊断。
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公开(公告)号：CN102037423B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN200980118159.0
申请日：2009-03-10
申请人： 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F7/005 , Y10T137/0379
摘要： 本发明是使用了流量范围可变型流量控制装置的流体流量控制方法，该装置使得压力式流量控制装置的控制阀的下游侧和流体供给用管道之间的流体通道为至少两个以上的并列状流体通道，并且使流体流量特性不同的孔口分别位于所述各并列状的流体通道中，在第1流量域的流体的流量控制中，使所述第1流量域的流体流过一个孔口，并且在第2流量域的流体的流量控制中使所述第2流量域的流体流过至少另一个孔口，选定所述各孔口的流量特性，使得所述小流量的第1流量域的流体的最大控制流量小于所述大流量的第2流量域的最大控制流量的10％，在规定的流量控制误差内流量控制将第1流量域中的可能的最小流量降低。
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公开(公告)号：CN101809712B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN200880109472.3
申请日：2008-07-17
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/455 , H01L21/285
CPC分类号： C23C16/455 , C23C16/45561 , C23C16/52
摘要： 本发明涉及一种半导体制造设备用的气体供给装置，其基于有机金属气相生长法，具备向反应炉供给原料气体的主气体供给线和进行所述原料的排气的排出气体供给线，在两条气体线的中间部配设多个气体供给机构而构成，在该气体供给装置中，对比在压力式流量控制装置的孔下游侧检测的主气体供给线的气体(P10)和排出气体供给线的压力(P2)，由所述排出气体供给线的入口侧的压力控制装置进行压力调整，从而在原料气体的供给切换时使主气体供给线和排出气体供给线之间的两者的压力差为零。
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