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公开(公告)号：CN112514540A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201980047802.9
申请日：2019-07-17
Abstract: 本发明的等离子体处理装置用部件包括：铝基材；以及氧化被膜，其形成在铝基材上，具有多孔质结构，其中，氧化被膜包括：第一氧化被膜，其形成在铝基材的表面上，第二氧化被膜，其形成在第一氧化被膜的与铝基材侧相反的一侧，以及第三氧化被膜，其形成在第二氧化被膜的与第一氧化被膜侧相反的一侧，第一氧化被膜比第二氧化被膜及第三氧化被膜硬，在第一氧化被膜、第二氧化被膜和第三氧化被膜的各被膜中形成的孔被封孔。
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公开(公告)号：CN110383432A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880012553.5
申请日：2018-01-30
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/31 , H01L21/3065 , H01L21/683 , H01L21/203
Abstract: 本发明提供基板支撑单元。基板支撑单元具有轴、第一加热器以及工作台。第一加热器位于轴的内部，用于加热轴的上部。工作台位于轴的上部，具有第一板、第一板上的第二板、以及第一板与第二板之间的第二加热器。
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公开(公告)号：CN108141917A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680059985.2
申请日：2016-09-28
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H05B3/74 , H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/683 , H05B3/18
Abstract: 提供温度的面内均匀性高的加热器单元。加热器单元具有：第一加热器部；第二加热器部，相对于第一加热器部独立地受控制；基材，在和第一加热器部与第二加热器部之间相对应的区域设置有槽；以及盖部，配置于槽的开口端，并与槽一起提供封闭空间。另外，可以还具有覆盖第一加热器部和第二加热器部的绝缘层、和隔着绝缘层安装于基材的静电吸盘。由盖部和槽提供的封闭空间可以为真空。
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公开(公告)号：CN103459667A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201280013500.8
申请日：2012-03-22
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: H05K1/092 , B32B15/017 , B32B15/018 , C23C24/04 , C23C28/021 , C23C28/023 , C23C28/321 , C23C28/322 , H01B13/30
Abstract: 本发明利用冷喷射法制造界面强度高、在铝基材上层叠铜皮膜而成的层叠体、或在铜基材上层叠铝皮膜而成的层叠体。本发明的层叠体（10）具备：基材（1），其由铝或含有铝的合金形成；中间层（2），在基材（1）表面，由选自银、金、铬、铁、锗、锰、镍、硅或锌中的任意一种金属或非金属、或者含有所述任意一种金属的合金形成；以及皮膜层（3），在中间层（2）的表面，将铜或含有铜的合金的粉末材料与加热到比该粉末材料的熔点低的温度的气体一起加速，在保持固相状态下向所述中间层吹送而堆积形成。
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公开(公告)号：CN112514540B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201980047802.9
申请日：2019-07-17
Abstract: 本发明的等离子体处理装置用部件包括：铝基材；以及氧化被膜，其形成在铝基材上，具有多孔质结构，其中，氧化被膜包括：第一氧化被膜，其形成在铝基材的表面上，第二氧化被膜，其形成在第一氧化被膜的与铝基材侧相反的一侧，以及第三氧化被膜，其形成在第二氧化被膜的与第一氧化被膜侧相反的一侧，第一氧化被膜比第二氧化被膜及第三氧化被膜硬，在第一氧化被膜、第二氧化被膜和第三氧化被膜的各被膜中形成的孔被封孔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110547041B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201880024287.8
申请日：2018-04-03
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 提供一种提高了可靠性的细径护套加热器。本发明的一个实施方式的护套加热器具备金属护套、发热丝、绝缘材料以及连接端子，所述发热丝为带状，以具有间隙的方式配置于所述金属护套内，并相对于所述金属护套的轴向旋转而配置在所述金属护套内，所述绝缘材料配置于所述间隙中，所述连接端子配置于所述金属护套的一端，分别与所述发热丝的两端电连接。
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公开(公告)号：CN112840742A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201980066496.3
申请日：2019-10-01
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置成与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第三绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件以及第二绝缘部件的至少一部分平行，且被设置为束缚第一绝缘部件以及第二绝缘部件；以及，圆筒部件，其被配置为与金属护套以及第三绝缘部件的至少一部分平行。
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公开(公告)号：CN108141917B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201680059985.2
申请日：2016-09-28
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H05B3/74 , H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/683 , H05B3/18
Abstract: 提供温度的面内均匀性高的加热器单元。加热器单元具有：第一加热器部；第二加热器部，相对于第一加热器部独立地受控制；基材，在和第一加热器部与第二加热器部之间相对应的区域设置有槽；以及盖部，配置于槽的开口端，并与槽一起提供封闭空间。另外，可以还具有覆盖第一加热器部和第二加热器部的绝缘层、和隔着绝缘层安装于基材的静电吸盘。由盖部和槽提供的封闭空间可以为真空。
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公开(公告)号：CN103459671B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201280016240.X
申请日：2012-04-06
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: B05D1/12 , B05B7/1486 , B05D1/36 , B22F2007/042 , B32B15/01 , B32B15/16 , C23C14/025 , C23C14/16 , C23C24/04 , C23C28/021 , C23C28/023 , C23C28/42 , Y10T428/12076
Abstract: 本发明提供一种层叠体及其制造方法，其在对使用冷喷雾法而在基材形成金属皮膜的层叠体进行制造的情况下，使基材与金属皮膜之间的粘结强度高。本发明的层叠体(10)具备：由金属或合金形成的基材(1)；形成于基材(1)表面且由比基材(1)柔软的金属或合金构成的中间层(2)；通过使金属或合金的粉末材料与被加热为比该粉末材料的熔点低的温度的气体一并加速，以固相状态直接向中间层(2)喷附并堆积在该中间层(2)上而成的金属皮膜(3)。
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公开(公告)号：CN105195746A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201510566349.6
申请日：2012-04-06
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: B05D1/12 , B05B7/1486 , B05D1/36 , B22F2007/042 , B32B15/01 , B32B15/16 , C23C14/025 , C23C14/16 , C23C24/04 , C23C28/021 , C23C28/023 , C23C28/42 , Y10T428/12076
Abstract: 本发明提供一种层叠体及其制造方法，其在对使用冷喷雾法而在基材形成金属皮膜的层叠体进行制造的情况下，使基材与金属皮膜之间的粘结强度高。本发明的层叠体(10)具备：由金属或合金形成的基材(1)；形成于基材(1)表面且由比基材(1)柔软的金属或合金构成的中间层(2)；通过使金属或合金的粉末材料与被加热为比该粉末材料的熔点低的温度的气体一并加速，以固相状态直接向中间层(2)喷附并堆积在该中间层(2)上而成的金属皮膜(3)。
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