一种MEMS器件架构及制备方法
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119858892A

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202411797897.5

    申请日:2024-12-09

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS器件架构,包括盖帽层、器件层和衬底层,盖帽层和器件层键合,键合完成后的整体和衬底层键合,盖帽层基于第一硅基板制造而成,盖帽层底部设置有空腔结构,盖帽层内设置有高深槽结构,高深槽结构的槽壁设置有二氧化硅薄膜,高深槽结构内沉积填充有多晶硅,第一硅基板上表面设置有二氧化硅层;器件层基于SOI晶圆制作而成,包括由顶层硅组成的第一硅结构层、埋氧化层和由背衬底硅组成的第二硅结构层;衬底层包括第二硅基板,第二硅基板顶面设置有底层空腔,第二硅基板底面开设有排气孔。本发明结合深槽刻蚀、多晶硅填槽和键合技术,利用SOI晶圆和聚酰亚胺层等先进材料,实现了卓越的信号隔离和多种MEMS IMU应用的灵活性。

    一种飞行器多舵面高精度动态测量实时监测系统

    公开(公告)号:CN115783303B

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202211522259.3

    申请日:2022-11-30

    Abstract: 本发明公开了一种飞行器多舵面高精度动态测量实时监测系统,该系统包括:测试单元和上位机;测试单元包括传感器组件、电源模块、AD数模转换模块、RS485通信模块、无线通信模块、单片机(MCU)和电源。将惯性传感器贴装于飞行器的各个被测舵面上,通过无线或者有线的方式,实现传感器与主控界面的通信。不用采用任何外部设备,仅仅转动被测舵面到三个任意静止的角度,然后进行误差运算。本发明操作简单,偏转任意角度即可得到安装误差,可以界面显示,测量精度高,重复性好。

    一种芯片焊盘跌落抗击优化方法

    公开(公告)号:CN118151884B

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202410278874.7

    申请日:2024-03-11

    Abstract: 本发明公开了一种芯片焊盘跌落抗击优化方法,涉及电路板跌落测试领域。该芯片焊盘跌落抗击优化方法,通过获取历史芯片焊盘测试数据,并进行预处理;对预处理之后的历史芯片焊盘测试数据进行分析,获得芯片焊盘的损害焊点位置数据;基于芯片焊盘损害焊点位置数据剔除芯片焊盘上的损害焊点,并基于随机算法对芯片焊盘上剩余焊点进行初次排列,获得多组焊点位置不同的初次排列芯片焊盘;读取多组焊点位置不同的初次排列芯片焊盘,本发明通过利用历史测试数据和随机算法,通过多次排列和计算,找到最优的焊点位置参数,提高了芯片焊盘的跌落抗击能力,有望减少损害焊点的发生,增强产品的可靠性和耐用性。

    一种风洞试验数据分析处理方法

    公开(公告)号:CN117272593B

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202311070852.3

    申请日:2023-08-24

    Abstract: 本发明涉及风洞试验的技术领域,公开了一种风洞试验数据分析处理方法,所述方法包括:采集风洞试验数据并进行数据修正,构建风洞试验目标刚体定位模型并定位得到风洞试验目标的三维坐标点;构建风洞试验姿态估计模型并进行无约束优化求解;利用最优风洞试验姿态估计模型得到风洞试验目标在三维坐标下的姿态估计参数。本发明基于动力学系数与环境雷诺数的拟合关系式确定不同环境下的校正参数,有效对风洞试验过程中产生的雷诺数效应进行修正,更为准确地对不同环境下风洞试验目标的结构变化进行判断,构建拍摄相机对风洞试验目标坐标系的旋转矩阵参数实现姿态估计,结合校正后的动力学系数对风洞试验目标的姿态初始估计结果进行进一步修正。

    基于边缘强化学习的传感器集群位置优化方法

    公开(公告)号:CN117527570A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311735253.9

    申请日:2023-12-18

    Abstract: 本发明属于通信技术领域,公开了基于边缘强化学习的传感器集群位置优化方法,方法包括:每个异构传感器负责收集传感数据;每个预定区域设置一个边缘计算节点,区域中的异构传感器将收集到的传感数据传输到边缘计算节点进行边缘计算;各个区域的边缘计算节点将边缘计算后的数据发送到中心服务器,中心服务器对数据进行强化学习,学习如何优化传感器的位置和关系以达到最优的系统性能;根据最优策略,中心服务器向边缘计算节点发送指令,指导各个传感器调整位置和状态;传感器位置调整后,中心服务器再次进行强化学习直到获得最优部署位置。本发明通过边缘计算,在数据源近处进行计算,节省网络带宽,提高数据处理速度,提高网络效率。

    一种风洞试验数据分析处理方法
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117272593A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311070852.3

    申请日:2023-08-24

    Abstract: 本发明涉及风洞试验的技术领域,公开了一种风洞试验数据分析处理方法,所述方法包括:采集风洞试验数据并进行数据修正,构建风洞试验目标刚体定位模型并定位得到风洞试验目标的三维坐标点;构建风洞试验姿态估计模型并进行无约束优化求解;利用最优风洞试验姿态估计模型得到风洞试验目标在三维坐标下的姿态估计参数。本发明基于动力学系数与环境雷诺数的拟合关系式确定不同环境下的校正参数,有效对风洞试验过程中产生的雷诺数效应进行修正,更为准确地对不同环境下风洞试验目标的结构变化进行判断,构建拍摄相机对风洞试验目标坐标系的旋转矩阵参数实现姿态估计,结合校正后的动力学系数对风洞试验目标的姿态初始估计结果进行进一步修正。

    一种基于多传感器信息融合的多模态通信铁塔监测方法

    公开(公告)号:CN116881846A

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202310869792.5

    申请日:2023-07-17

    Abstract: 本发明属于铁塔监控技术领域,公开了一种基于多传感器信息融合的多模态通信铁塔监测方法,步骤包括:采集风速、塔身振动响应、塔身倾斜位移、桁架架构形变、塔基沉降参数;从采集的参数中提取时域和频域特征;从所有特征选择最敏感特征或参数的几个特征,放入敏感特征组,其余特征放入非敏感特征组;构造样本集,将样本集中的特征分为敏感特征和非敏感特征分别输入深度神经网络模型中进行训练,得到敏感特征的识别模型和非敏感特征的识别模型;将两个识别模型进行融合,得到最终的故障识别结果,并输出故障识别结果的置信度。本发明对各种类型铁塔进行多模态分析,实现通信铁塔从设计到运营的全周期、多模态监测。

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