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公开(公告)号：CN115663442A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211223884.8
申请日：2018-11-13
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 迈克尔·于-泰克·扬 , 韦恩·麦克米兰 , 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 , 罗伯特·简·维瑟
Abstract: 本文所描述的实施方式涉及用于制造波导组合器的方法。所述方法提供波导组合器，所述波导组合器具有限定精细光栅的由无机或混合(有机和无机)材料形成的输入耦合区域、波导区域和输出耦合区域。在一个实施方式中，由压印印模形成波导结构，所述压印印模在设置在基板的表面上的抗蚀剂上具有正波导图案以形成负波导结构。将所述无机或混合材料沉积在所述基板上并然后移除所述抗蚀剂以形成具有与由无机或混合(有机和无机)材料形成的输入耦合区域、波导区域和输出耦合区域中的至少一个相对应的区域的波导结构。
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公开(公告)号：CN115088092A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202180014516.X
申请日：2021-01-19
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种有机发光二极管(OLED)沉积系统，包括两个沉积腔室、位于两个沉积腔室之间的传送腔室、具有一个或多个传感器以用于对传送腔室内的工件执行测量的计量系统、及用于使系统在工件上形成有机发光二极管层堆叠的控制系统。在工件在两个沉积腔室之间传送的同时及将工件保持在传送腔室内的同时，在工件周围维持真空。控制系统被配置成使两个沉积腔室将两层有机材料沉积到工件上，并从计量系统接收传送腔室中的工件的多个第一测量。
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公开(公告)号：CN115023821A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202080094828.1
申请日：2020-11-20
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L51/52
Abstract: 一种显示设备，包括：显示层，显示层具有多个有机发光二极管(OLED)；和封装层，封装层覆盖显示层的发光侧。封装层包括：多个第一聚合物突起物，多个第一聚合物突起物在显示层上，多个第一聚合物突起物之间具有空间；和第一介电层，第一介电层保形地覆盖多个第一聚合物突起物和在第一聚合物突起物之间的空间中的任何暴露的下层表面，介电层沿着第一聚合物突起物的侧面形成侧壁并且在侧壁之间的空间中限定阱。
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公开(公告)号：CN114994000A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210477842.0
申请日：2019-03-29
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种用于确定光致发光(PL)层的特性的设备，包括：光源，所述光源产生激发光，所述激发光包含来自可见或近可见光谱的光；光学组件，所述光学组件被配置为将激发光引导到PL层上；检测器，所述检测器被配置为接收PL发射，并基于PL发射产生信号，所述PL发射由PL层响应于与PL层相互作用的激发光而产生；以及计算装置，所述计算装置耦接至检测器，且计算装置被配置为接收来自检测器的信号，并基于所述信号确定PL层的特性。
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公开(公告)号：CN114868271A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202080090385.9
申请日：2020-11-20
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种有机发光二极管(OLED)结构，包括：基板；位于基板上的具有阱结构阵列的介电层，其中每个阱结构包括具有侧壁和底部的凹部，并且所述凹部由具有倒圆的顶表面的平台隔开；OLED层堆叠，所述OLED层堆叠至少覆盖阱的底部；以及光提取层(LEL)，所述LEL在OLED层堆叠上方的阱中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113261089A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201980085922.8
申请日：2019-12-04
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 迈克尔·于-泰克·扬 , 卢多维克·戈代 , 罗伯特·简·维瑟
IPC: H01L21/68
Abstract: 本公开内容的多个实施方式一般涉及光学透明基板，该光学透明基板包括主表面，该主表面具有周围边缘区域和形成在该周围边缘区域上的纹理，该周围边缘区域具有形成于该周围边缘区域中的定向特征结构，该纹理的不透明度大于该主表面的不透明度。
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公开(公告)号：CN107735507B
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201680025213.7
申请日：2016-04-28
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本公开内容的实施方式提供了用于原位监控基板上的膜性质的方法和设备。在一个实施方式中，提供了一种沉积系统。所述沉积系统包括至少两个沉积腔室以及被特别设计以用于每一个沉积腔室的图案化掩模，其中所述图案化掩模的第一掩模具有位于在第一掩模上形成的图案外部并穿过第一掩模而形成的第一开口，并且所述图案化掩模的第二掩模具有位于在第二掩模上形成的图案外部并穿过第二掩模而形成的第一开口，所述第二掩模的第一开口的在所述第二掩模上的位置与所述第一开口在所述第一掩模上的位置不同。
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公开(公告)号：CN111492313A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201880081359.2
申请日：2018-11-13
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 迈克尔·于-泰克·扬 , 韦恩·麦克米兰 , 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 , 罗伯特·简·维瑟
IPC: G03F7/20 , G03F7/00 , G03F1/22 , G03F1/80 , H01L21/033 , H01L21/3065
Abstract: 本文所述的实施方式涉及用于利用基板制造波导结构的方法。形成具有由基板形成的输入耦合区域、波导区域，和输出耦合区域的波导结构。所述区域是通过将印模压印到抗蚀剂中以形成正波导图案来形成，所述抗蚀剂安置在硬掩模上，所述硬掩模形成在基板表面上。正波导图案的部分和形成在所述部分下的硬掩模被去除。基板被掩模和蚀刻以在输入耦合区域和输出耦合区域中形成光栅。正波导图案的剩余残留部分和安置在所述剩余残留部分下方的硬掩模被去除以形成波导结构，所述波导结构具有由基板形成的输入耦合区域、波导区域，和输出耦合区域。
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公开(公告)号：CN111316155A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201880071471.8
申请日：2018-09-04
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 , 罗伯特·简·维瑟 , 塔帕什里·罗伊
IPC: G02F1/1335
Abstract: 本文公开的方面涉及用于显示装置的滤色器，且更具体而言涉及用于透射或反射和回收利用液晶显示装置中的光的颜色的滤色器。在一方面中，超颖表面(metasurface)形成在LCD装置中的两个偏光器之间。在另一方面中，超颖表面形成在LCD装置的白色光导上。超颖表面被形成以透射所需颜色的光并且以将非所需颜色的光反射回至光导中，以被回收利用并且通过LCD装置的其他位置。使用滤色器以回收利用反射的光颜色增加了显示装置(诸如LCD装置)的效率。
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公开(公告)号：CN109937470A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201780068725.6
申请日：2017-11-07
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 在此提供用于分析和检测来自半导体制造部件的液体中的纳米颗粒的方法和设备。在某些实施方式中，确定基板处理腔室部件清洁溶液中的纳米颗粒的颗粒数、颗粒尺寸及ζ电位的方法包括：(a)以来自基板处理腔室部件清洁槽内的清洁溶液填充样本槽，基板处理腔室部件清洁槽装有半导体处理腔室部件；(b)将来自激光器的光导向该样本槽，其中该清洁溶液中的纳米颗粒散射来自该激光器的光；及(c)经由位在该样本槽附近的一个或多个检测器来检测散射光以确定该清洁溶液中的纳米颗粒的ζ电位、颗粒尺寸及颗粒数。
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