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公开(公告)号：CN114994000A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210477842.0
申请日：2019-03-29
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种用于确定光致发光(PL)层的特性的设备，包括：光源，所述光源产生激发光，所述激发光包含来自可见或近可见光谱的光；光学组件，所述光学组件被配置为将激发光引导到PL层上；检测器，所述检测器被配置为接收PL发射，并基于PL发射产生信号，所述PL发射由PL层响应于与PL层相互作用的激发光而产生；以及计算装置，所述计算装置耦接至检测器，且计算装置被配置为接收来自检测器的信号，并基于所述信号确定PL层的特性。
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公开(公告)号：CN110720072A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201880036397.6
申请日：2018-05-30
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本文描述的实施方式涉及显示设备，例如，虚拟现实和扩增实境显示器和应用。在一个实施方式中，平面的基板具有：形成于其上的阶梯特征和形成于数个特征中的每一特征上的发射器结构。封装层设置在该基板上，并且多个均匀的介电纳米结构形成于该封装层上。由本文公开的设备产生的虚拟图像通过减小在图像平面处的色差来提供改善的图像清晰度。
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公开(公告)号：CN115079412B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202210650112.6
申请日：2018-05-30
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本文描述的实施方式涉及显示设备，例如，虚拟现实和扩增实境显示器和应用。在一个实施方式中，平面的基板具有：形成于其上的阶梯特征和形成于数个特征中的每一特征上的发射器结构。封装层设置在该基板上，并且多个均匀的介电纳米结构形成于该封装层上。由本文公开的设备产生的虚拟图像通过减小在图像平面处的色差来提供改善的图像清晰度。
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公开(公告)号：CN112088298B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN201980029120.5
申请日：2019-03-29
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种用于确定光致发光(PL)层的特性的设备，包括：光源，所述光源产生激发光，所述激发光包含来自可见或近可见光谱的光；光学组件，所述光学组件被配置为将激发光引导到PL层上；检测器，所述检测器被配置为接收PL发射，并基于PL发射产生信号，所述PL发射由PL层响应于与PL层相互作用的激发光而产生；以及计算装置，所述计算装置耦接至检测器，且计算装置被配置为接收来自检测器的信号，并基于所述信号确定PL层的特性。
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公开(公告)号：CN112041977B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN201980028939.X
申请日：2019-03-29
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 阿维舍克·古什 , 普莉娜·松特海利亚·古拉迪雅 , 罗伯特·简·维瑟
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本公开内容的实施方式涉及对经受真空处理的基板的检查。在一个实施方式中，处理腔室包括：第一观察口、第二观察口、电磁辐射发射器及检测器，第一观察口使电磁辐射的发射器能够照射处理腔室中的基板，第二观察口使检测器能够检测从基板散射的电磁辐射。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110720072B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN201880036397.6
申请日：2018-05-30
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本文描述的实施方式涉及显示设备，例如，虚拟现实和扩增实境显示器和应用。在一个实施方式中，平面的基板具有：形成于其上的阶梯特征和形成于数个特征中的每一特征上的发射器结构。封装层设置在该基板上，并且多个均匀的介电纳米结构形成于该封装层上。由本文公开的设备产生的虚拟图像通过减小在图像平面处的色差来提供改善的图像清晰度。
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公开(公告)号：CN112088298A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201980029120.5
申请日：2019-03-29
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种用于确定光致发光(PL)层的特性的设备，包括：光源，所述光源产生激发光，所述激发光包含来自可见或近可见光谱的光；光学组件，所述光学组件被配置为将激发光引导到PL层上；检测器，所述检测器被配置为接收PL发射，并基于PL发射产生信号，所述PL发射由PL层响应于与PL层相互作用的激发光而产生；以及计算装置，所述计算装置耦接至检测器，且计算装置被配置为接收来自检测器的信号，并基于所述信号确定PL层的特性。
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公开(公告)号：CN109923653A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201780068574.4
申请日：2017-11-07
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 用于鉴定半导体清洁溶液中的污染物的方法及设备，包括：使半导体清洁溶液接触半导体制造部件以形成含有一种或多种不溶性待测分析物的排出液；使该含有一种或多种不溶性待测分析物的排出液接触一光学设备，该光学设备经构造以感测来自该一种或多种待测分析物的荧光及可选的拉曼信号，其中该设备包括电子倍增电荷耦合器件及光栅光谱仪，以用来对该荧光进行光谱色散并将该荧光投射在该电子倍增电荷耦合器件上；及鉴定该一种或多种待测分析物。
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公开(公告)号：CN109923653B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201780068574.4
申请日：2017-11-07
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 用于鉴定半导体清洁溶液中的污染物的方法及设备，包括：使半导体清洁溶液接触半导体制造部件以形成含有一种或多种不溶性待测分析物的排出液；使该含有一种或多种不溶性待测分析物的排出液接触一光学设备，该光学设备经构造以感测来自该一种或多种待测分析物的荧光及可选的拉曼信号，其中该设备包括电子倍增电荷耦合器件及光栅光谱仪，以用来对该荧光进行光谱色散并将该荧光投射在该电子倍增电荷耦合器件上；及鉴定该一种或多种待测分析物。
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公开(公告)号：CN116324372A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202180064387.5
申请日：2021-08-11
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 梅迪•瓦泽-艾拉瓦尼 , 阿维舍克·古什
IPC: G01N15/02
Abstract: 本文公开的多个示例涉及用于检测流体中粒子尺寸的系统和方法。该系统包括用于输送流体的导管和样本区域。一些流体通过样本区域。第一成像装置具有光学透镜和数字检测器。激光源发射第一激光束。数字检测器生成穿过光学透镜的散射光的初始强度的度量。散射光从穿过样本区域的粒子散射，并且包括来自穿过样本区域的第一激光束的光。控制器基于初始强度与表示聚焦和散焦粒子的强度的数据的比较来输出校正粒子强度。校正粒子强度生成对应于粒子的实际尺寸的校正度量。
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