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公开(公告)号：CN1437018A
公开(公告)日：2003-08-20
申请号：CN03111185.8
申请日：2003-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/447 , G01N33/561
Abstract: 本发明提供的是一种用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法，首先在材质上选用有机玻璃，采用机械划刻仪进行沟道加工，然后在加工完沟道的有机玻片上的相应位置打通孔，再进行沟道表面的光滑化以及表面改性处理，最后用有机溶剂将两片有机玻璃进行粘接处理，使沟道封闭。本发明的方法，制造成本低，易于大批量生产，工艺流程的简单，提高了制造成品率。
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公开(公告)号：CN102420603B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201110354429.7
申请日：2011-10-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03K19/0185 , G05F1/565
Abstract: 本发明提供一种用于微传感器的负反馈自平衡驱动电路。它是由驱动电路正电源单元、驱动电路负电源单元、加法器、反相放大器、分压电阻、缓冲器、积分器和开关网络组成的，驱动电路正电源单元分别连接驱动电路负电源单元和加法器，驱动电路负电源单元连接分压电阻和开关网络，加法器连接反相放大器和积分器，反相放大器连接分压电阻和开关网络。本发明不受电源漂移以及温度变化的影响，适合于高精度微传感器的驱动电路。本发明提供一种CMOS全差分驱动电路，可以使提供给驱动电路的正电源电压跟随负电源电压的变化，实现类隔离变压器的驱动，从而抑制电源电压的漂移以及温度变化对传感器性能的影响。
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公开(公告)号：CN103557852A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310564169.5
申请日：2013-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C19/08
CPC classification number: G01C19/08
Abstract: 本发明提供了一种球碟转子式微机械陀螺。所述陀螺转子和球形轴承一体化加工或紧密装配成型，球形轴承通过润滑油层与带有凹球面的壳体转动连接，定子采用硅钢片卡在带有凹球面的壳体的边缘且与带有凹球面的壳体的外壁紧密相连，八个检测电极分别通过上绝缘层和下绝缘层与带有凹球面的壳体相连，六个定子上分别缠绕有驱动线圈，每个驱动线圈的匝数完全相同，定子位于陀螺转子的外部且与陀螺转子在同一平面。本发明腔体采用机械冲压的方式即可完成制做，陀螺球碟转子采用一体化加工或装配形成，转子转动时由于球形轴承充分润滑可以减小阻力，转子的运动速度快，稳定性高，并且陀螺球碟转子采用球形轴承其偏转阻尼力矩很小，因此具有较高的精度。
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公开(公告)号：CN102590556A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210043148.4
申请日：2012-02-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 一种多路电容式MEMS加速度传感器零点偏移测试补偿系统，包括步进电机机械系统、多路电容式MEMS加速度传感器、多路数据采集电路、单片机控制电路、上位机和电源管理系统，步进电机机械系统连接多路电容式MEMS加速度传感器，多路电容式MEMS加速度传感器连接多路数据采集电路，多路数据采集电路连接单片机控制电路，所述的步进电机机械系统包括铝合金制MEMS电容式加速度传感器载体、步进电机和步进电机底座，步进电机安装在步进电机底座上。本发明可同时自动求解多路加速度传感器电容偏差，具有操作简单，自动化程度高等优点。
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公开(公告)号：CN101458262B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200810064885.6
申请日：2008-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明提供了一种六梁结构加速度传感器及其制备方法。它包括通过弹性梁、连接在左右键合块上的带有活动电极的质量块和与上下键合块连接的位于质量块上下的固定电极，弹性梁包括双折梁和抗干扰梁，上下两个固定电极相互独立，活动电极通过质量块连接在一起，上下固定电极与活动电极构成一对差分电容，工作时两差分电容的大小随外加加速度变化的趋势正好相反，左右键合块以及与固定电极连接的上下键合块通过静电键合被固定在玻璃基片上。本发明的优点在于传感器尺寸小、静态电容大，抗干扰能力强、无横向(非敏感方向)干扰，灵敏度高、结构简单，设计灵活，易于加工等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100568715C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200510009862.1
申请日：2005-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03G3/20
Abstract: 本发明提供的是带增益指示功能的多级自动增益控制集成电路系统。它由前置放大电路、带通滤波电路、可控增益放大器、由峰值检测电路和判断电路组成的控制电平产生电路构成。信号首先耦合至前置放大电路，再分两路分别进入峰值检测电路和带通滤波电路，峰值检测电路产生的直流电平进入判断电路与基准参考电平比较，产生的自动增益，控制放大器的控制电平，控制电平通过编码产生增益指示输出信号，控制电平同时也进入可控增益放大器控制可控增益放大器的放大倍数、对来自带通滤波器的信号进行适当的放大，根据指示输出信号判断可控增益放大器的增益，然后进行被检测音频信号原始真实强弱的还原。本发明能扩展输入信号的处理范围，并且指示输出功能。
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公开(公告)号：CN100473948C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200610010099.9
申请日：2006-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供的是一种对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪，它包括玻璃基片、通过键合区键合在玻璃基片上的硅片和在硅片上蚀刻出的结构，其结构包括位于中间的质量块，对称分布在质量块两侧的梳状驱动器，对称分布在质量块另两侧的梳状检测器，固定电极与键合区相连，活动电极与框相连，驱动框与质量块之间有检测解耦梁，检测框与质量块之间有驱动解耦梁，框的两端连接有弹性梁。本发明是一种全新的微机械振动式陀螺仪机构，使得驱动振动模态和检测振动模态的谐振频率易于匹配，同时降低两个模态之间的耦合，在大气环境下工作也能获得较高品质因子，从而使得微机械陀螺有较高的灵敏度。
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公开(公告)号：CN100425993C
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200610009668.8
申请日：2006-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供的是一种框架结构差分电容式加速度传感器。在硅片的背面刻蚀有键合所需的台面，玻璃基片与键合所需的台面键合形成键合块，硅片的正面刻蚀有传感器的弹性梁、质量块、固定电极图形和活动电极图形，质量块是框架形状，键合块包括上、下、左、右和中间5个键合块，上下键合块上连接弹性梁，框架形状质量块连在两弹性梁之间，左右键合块的内侧和中间键合块的两侧带有固定电极，框架形状质量块上带有与固定电极相配合的活动电极。上下键合块以及与固定电极连接的各键合块通过静电键合被固定在玻璃基片上。本发明的优点在于传感器尺寸小、静态电容大，质量轻，无横向即非敏感方向干扰，结构简单，易于加工等。
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公开(公告)号：CN1851401A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200610010099.9
申请日：2006-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供的是一种对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪，它包括玻璃基片、通过键合区键合在玻璃基片上的硅片和在硅片上蚀刻出的结构，其结构包括位于中间的质量块，对称分布在质量块两侧的梳状驱动器，对称分布在质量块另两侧的梳状检测器，固定电极与键合区相连，活动电极与框相连，驱动框与质量块之间有检测解耦梁，检测框与质量块之间有驱动解耦梁，框的两端连接有弹性梁。本发明是一种全新的微机械振动式陀螺仪机构，使得驱动振动模态和检测振动模态的谐振频率易于匹配，同时降低两个模态之间的耦合，在大气环境下工作也能获得较高品质因子，从而使得微机械陀螺有较高的灵敏度。
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公开(公告)号：CN1804636A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200610009668.8
申请日：2006-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供的是一种框架结构差分电容式加速度传感器。一种框架结构差分电容式加速度传感器，在硅片的背面刻蚀有键合所需的台面，玻璃基片与键合所需的台面键合形成固定块，硅的正面刻蚀有传感器的弹性梁、质量块、固定和活动电极图形，质量块是框架形状，键合块包括上、下、左、右和内部5个键合块，上下键合块上连接弹性梁，框架形状质量块连在两弹性梁之间，左右键合块的内侧和中间键合块的两侧带有固定电极，框架形状质量块上带有与固定电极相配合的活动电极。上下键合块以及与固定电极连接的各键合块通过静电键合被固定在玻璃基片上。本发明的优点在于传感器尺寸小、静态电容大，质量轻，无横向即非敏感方向干扰，结构简单，易于加工等。
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