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公开(公告)号：CN102420603A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110354429.7
申请日：2011-10-26
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H03K19/0185 , G05F1/565
摘要： 本发明提供一种用于微传感器的负反馈自平衡驱动电路。它是由驱动电路正电源单元、驱动电路负电源单元、加法器、反相放大器、分压电阻、缓冲器、积分器和开关网络组成的，驱动电路正电源单元分别连接驱动电路负电源单元和加法器，驱动电路负电源单元连接分压电阻和开关网络，加法器连接反相放大器和积分器，反相放大器连接分压电阻和开关网络。本发明不受电源漂移以及温度变化的影响，适合于高精度微传感器的驱动电路。本发明提供一种CMOS全差分驱动电路，可以使提供给驱动电路的正电源电压跟随负电源电压的变化，实现类隔离变压器的驱动，从而抑制电源电压的漂移以及温度变化对传感器性能的影响。
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公开(公告)号：CN103776436B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201410060040.5
申请日：2014-02-21
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 时分频分复用的转子式微陀螺检测装置，属于MEMS器件领域，本发明为解决现有两种差分电容检测方法存在问题。本发明包括转子式微陀螺敏感单元、电荷电压转换单元、相敏解调单元、模数转换单元、信号处理单元、数模转换单元、第一低高压转换单元、第二低高压转换单元和两个时分频分复用单元；两个时分频分复用单元的载波激励信号V+、V?与反馈控制信号复用加载至转子式微陀螺敏感单元；转子式微陀螺敏感单元的等效陀螺信号输出端与相敏解调单元的输入端相连；相敏解调单元的解调信号输出检测信号；相敏解调单元的解调信号输出端与模数转换单元的模拟信号输入端相连；然后进行模数转换、信号处理、数模转换和低压变高压，反馈至两个时分频分复用单元。
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公开(公告)号：CN103776436A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410060040.5
申请日：2014-02-21
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 时分频分复用的转子式微陀螺检测装置，属于MEMS器件领域，本发明为解决现有两种差分电容检测方法存在问题。本发明包括转子式微陀螺敏感单元、电荷电压转换单元、相敏解调单元、模数转换单元、信号处理单元、数模转换单元、第一低高压转换单元、第二低高压转换单元和两个时分频分复用单元；两个时分频分复用单元的载波激励信号V+、V-与反馈控制信号复用加载至转子式微陀螺敏感单元；转子式微陀螺敏感单元的等效陀螺信号输出端与相敏解调单元的输入端相连；相敏解调单元的解调信号输出检测信号；相敏解调单元的解调信号输出端与模数转换单元的模拟信号输入端相连；然后进行模数转换、信号处理、数模转换和低压变高压，反馈至两个时分频分复用单元。
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公开(公告)号：CN102420603B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201110354429.7
申请日：2011-10-26
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H03K19/0185 , G05F1/565
摘要： 本发明提供一种用于微传感器的负反馈自平衡驱动电路。它是由驱动电路正电源单元、驱动电路负电源单元、加法器、反相放大器、分压电阻、缓冲器、积分器和开关网络组成的，驱动电路正电源单元分别连接驱动电路负电源单元和加法器，驱动电路负电源单元连接分压电阻和开关网络，加法器连接反相放大器和积分器，反相放大器连接分压电阻和开关网络。本发明不受电源漂移以及温度变化的影响，适合于高精度微传感器的驱动电路。本发明提供一种CMOS全差分驱动电路，可以使提供给驱动电路的正电源电压跟随负电源电压的变化，实现类隔离变压器的驱动，从而抑制电源电压的漂移以及温度变化对传感器性能的影响。
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