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公开(公告)号：CN107014462A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201710232243.1
申请日：2017-04-11
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 上海航天设备制造总厂
IPC: G01F23/26
CPC classification number: G01F23/266
Abstract: 一种电容式液位传感器接口ASIC，属于传感器领域。开关一一端接地，开关二一端接参考电压源，开关一及开关二另一端的公共节点作为驱动端与电容式液位传感器一端相接，电容式液位传感器另一端与参考电容Cref一端相接，参考电容Cref另一端与开关三及开关四一端的公共节点相接，开关三另一端接地；电容式液位传感器与参考电容Cref的公共端接开关五一端和前端电荷采样放大器输入端，开关五另一端接地；前端电荷采样放大器输出端接电压放大电路输入端；电压放大电路输出端接相关双采样电路输入端，相关双采样电路输出端接PI控制器输入端；PI控制器输出端接低通滤波器输入端，低通滤波器输出端与开关四另一端相接，从而构成电容式液位传感器输出电容的闭环检测。
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公开(公告)号：CN1584518A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200410013784.8
申请日：2004-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明提供的是一种声和振动集成多功能传感器及其制造方法。它包括管座、安装在管座上的管壳和连接于管座上的管脚，管壳上部开有透声孔，管壳内与透声孔相对应处安装有驻极体麦克风，管座上安装有电路板，电路板的中间为振动结构敏感元件，在振动结构敏感元件的两侧分别为声接口电路与振动接口电路，驻极体麦克风与声接口电路通过柔性导线相连，振动结构敏感元件与振动接口电路之间焊接。本发明的产品具有结构简单，能够同时测量声和振动信号，声和振动信号互相没有影响，可靠性高，易于批量生产，灵敏度高，频带范围宽等优点。
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公开(公告)号：CN100568715C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200510009862.1
申请日：2005-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03G3/20
Abstract: 本发明提供的是带增益指示功能的多级自动增益控制集成电路系统。它由前置放大电路、带通滤波电路、可控增益放大器、由峰值检测电路和判断电路组成的控制电平产生电路构成。信号首先耦合至前置放大电路，再分两路分别进入峰值检测电路和带通滤波电路，峰值检测电路产生的直流电平进入判断电路与基准参考电平比较，产生的自动增益，控制放大器的控制电平，控制电平通过编码产生增益指示输出信号，控制电平同时也进入可控增益放大器控制可控增益放大器的放大倍数、对来自带通滤波器的信号进行适当的放大，根据指示输出信号判断可控增益放大器的增益，然后进行被检测音频信号原始真实强弱的还原。本发明能扩展输入信号的处理范围，并且指示输出功能。
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公开(公告)号：CN100473948C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200610010099.9
申请日：2006-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供的是一种对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪，它包括玻璃基片、通过键合区键合在玻璃基片上的硅片和在硅片上蚀刻出的结构，其结构包括位于中间的质量块，对称分布在质量块两侧的梳状驱动器，对称分布在质量块另两侧的梳状检测器，固定电极与键合区相连，活动电极与框相连，驱动框与质量块之间有检测解耦梁，检测框与质量块之间有驱动解耦梁，框的两端连接有弹性梁。本发明是一种全新的微机械振动式陀螺仪机构，使得驱动振动模态和检测振动模态的谐振频率易于匹配，同时降低两个模态之间的耦合，在大气环境下工作也能获得较高品质因子，从而使得微机械陀螺有较高的灵敏度。
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公开(公告)号：CN100425993C
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200610009668.8
申请日：2006-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供的是一种框架结构差分电容式加速度传感器。在硅片的背面刻蚀有键合所需的台面，玻璃基片与键合所需的台面键合形成键合块，硅片的正面刻蚀有传感器的弹性梁、质量块、固定电极图形和活动电极图形，质量块是框架形状，键合块包括上、下、左、右和中间5个键合块，上下键合块上连接弹性梁，框架形状质量块连在两弹性梁之间，左右键合块的内侧和中间键合块的两侧带有固定电极，框架形状质量块上带有与固定电极相配合的活动电极。上下键合块以及与固定电极连接的各键合块通过静电键合被固定在玻璃基片上。本发明的优点在于传感器尺寸小、静态电容大，质量轻，无横向即非敏感方向干扰，结构简单，易于加工等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1851401A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200610010099.9
申请日：2006-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供的是一种对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪，它包括玻璃基片、通过键合区键合在玻璃基片上的硅片和在硅片上蚀刻出的结构，其结构包括位于中间的质量块，对称分布在质量块两侧的梳状驱动器，对称分布在质量块另两侧的梳状检测器，固定电极与键合区相连，活动电极与框相连，驱动框与质量块之间有检测解耦梁，检测框与质量块之间有驱动解耦梁，框的两端连接有弹性梁。本发明是一种全新的微机械振动式陀螺仪机构，使得驱动振动模态和检测振动模态的谐振频率易于匹配，同时降低两个模态之间的耦合，在大气环境下工作也能获得较高品质因子，从而使得微机械陀螺有较高的灵敏度。
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公开(公告)号：CN1804636A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200610009668.8
申请日：2006-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供的是一种框架结构差分电容式加速度传感器。一种框架结构差分电容式加速度传感器，在硅片的背面刻蚀有键合所需的台面，玻璃基片与键合所需的台面键合形成固定块，硅的正面刻蚀有传感器的弹性梁、质量块、固定和活动电极图形，质量块是框架形状，键合块包括上、下、左、右和内部5个键合块，上下键合块上连接弹性梁，框架形状质量块连在两弹性梁之间，左右键合块的内侧和中间键合块的两侧带有固定电极，框架形状质量块上带有与固定电极相配合的活动电极。上下键合块以及与固定电极连接的各键合块通过静电键合被固定在玻璃基片上。本发明的优点在于传感器尺寸小、静态电容大，质量轻，无横向即非敏感方向干扰，结构简单，易于加工等。
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公开(公告)号：CN107014462B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201710232243.1
申请日：2017-04-11
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 上海航天设备制造总厂
IPC: G01F23/26
Abstract: 一种电容式液位传感器接口ASIC，属于传感器领域。开关一一端接地，开关二一端接参考电压源，开关一及开关二另一端的公共节点作为驱动端与电容式液位传感器一端相接，电容式液位传感器另一端与参考电容Cref一端相接，参考电容Cref另一端与开关三及开关四一端的公共节点相接，开关三另一端接地；电容式液位传感器与参考电容Cref的公共端接开关五一端和前端电荷采样放大器输入端，开关五另一端接地；前端电荷采样放大器输出端接电压放大电路输入端；电压放大电路输出端接相关双采样电路输入端，相关双采样电路输出端接PI控制器输入端；PI控制器输出端接低通滤波器输入端，低通滤波器输出端与开关四另一端相接，从而构成电容式液位传感器输出电容的闭环检测。
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公开(公告)号：CN100543419C
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200710072230.9
申请日：2007-05-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供的是一种双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器。驱动方向键合块通过弹性梁与驱动质量块相连，检测方向键合块通过弹性梁与第一自由度检测质量块相连，驱动固定电极键合块上连接驱动固定电极，驱动活动电极连接于驱动质量块上，检测方向键合块上连接检测固定电极，检测活动电极与第二自由度检测质量块相连，第二自由度检测质量块通过弹性梁与第一自由度检测质量块相连，在驱动质量块与第一自由度检测质量块之间设置有隔离质量块，隔离质量块的两侧分别通过弹性梁与驱动质量块和第一自由度检测质量块相连。本发明的优点在于传感器耦合误差小、带宽大、灵敏度受环境影响小、易于加工等。
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公开(公告)号：CN100357718C
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200410013784.8
申请日：2004-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明提供的是一种声和振动集成多功能传感器及其制造方法。它包括管座、安装在管座上的管壳和连接于管座上的管脚，管壳上部开有透声孔，管壳内与透声孔相对应处安装有驻极体麦克风，管座上安装有电路板，电路板的中间为振动结构敏感元件，在振动结构敏感元件的两侧分别为声接口电路与振动接口电路，驻极体麦克风与声接口电路通过柔性导线相连，振动结构敏感元件与振动接口电路之间焊接。本发明的产品具有结构简单，能够同时测量声和振动信号，声和振动信号互相没有影响，可靠性高，易于批量生产，灵敏度高，频带范围宽等优点。
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