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公开(公告)号：CN117269326A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311256793.9
申请日：2023-09-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种带有温度检测的超声应力测量磁吸探头装置及其使用方法，涉及超声无损检测技术领域。所述超声应力测量磁吸探头装置包括：压电片、外壳、上盖、PCB板、弹簧针、温度传感器和连接端子；所述PCB板固定在所述凹腔内，所述连接端子固定在所述外壳侧壁开设的通孔中，所述通孔与所述凹腔连通，所述连接端子通过导线与所述PCB板相连，所述上盖与所述外壳一侧表面连接并将所述凹腔覆盖，所述压电片设置在所述外壳的另一侧表面，所述弹簧针与所述压电片的一侧表面接触导通，所述压电片的另一侧表面用于与待测机械结构的表面导通。以解决现有技术中使用声弹性效应对被测机械结构内部应力进行检测时存在检测精度低的技术问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116776760A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310575378.3
申请日：2023-05-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/28 , G06F17/11 , G06F17/16 , G06F113/08 , G06F113/24 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种薄板气浮运输流固耦合计算方法及系统，其中，该方法包括：在流体域上，采用雷诺方程或ansys预先获取单个正压单元或负压单元的气膜的力和刚度随气膜厚度变化的函数曲线；在结构域上，根据函数曲线与结构动力学方程建立气浮运输理论模型，并采用Newmark显式积分方法对气浮运输理论模型进行求解，获得薄板变形。由此，解决了现有技术不适用于不同的气浮平台的薄板气浮运输流固耦合计算的技术问题，以及现有商用软件的双向强流固耦合计算耗费资源庞大且收敛难度大的技术问题，能较好地模拟气浮平台的特性，从而普遍适用于优化不同的气浮平台。
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公开(公告)号：CN112132903A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202010507001.0
申请日：2020-06-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06T7/80
Abstract: 为了解决现有技术中视觉系统坐标系下无法直接检测到多轴运动系统的各运动轴坐标系下的原点位置时，无法精确求解视觉系统坐标系到多轴运动系统坐标系坐标变换关系的问题，本发明公开了一种视觉系统与多轴运动系统的坐标系标定方法，包括：获取第一坐标，第一坐标为标准球的顶点在所述多轴运动系统坐标系下的坐标；获取第二坐标，第二坐标为所述标准球的顶点在所述视觉系统下的像素坐标系坐标；根据第一坐标和所述第二坐标确定视觉系统坐标系到多轴运动系统坐标系的坐标变换关系。本申请还公开了相应的系统，可精确求解视觉系统坐标系到多轴运动系统坐标系的坐标变换关系。
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公开(公告)号：CN112102227A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010505894.5
申请日：2020-06-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于血管尺寸特征的血管最优穿刺点选取方法，通过选取手臂、手背或手腕处静脉红外血管图像的中央区域作为感兴趣区域进行去噪、限制对比度自适应直方图均衡化算法增强处理、自适应阈值二值化、图像形态学处理、血管轮廓提取、遍历寻找各血管轮廓中面积最大的血管轮廓区域、距离变换算法提取血管中心线及血管各位置半径、选取血管中心线上的血管半径最大处且该处血管中心线相对曲率小于设定阈值的点作为血管最优穿刺点，并能得到该点在血管中心线上的切线方向。本发明实现了在红外血管图像上自动选取血管穿刺点，具有较高的血管穿刺精度，同时提高了血管穿刺的安全性和效率。
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公开(公告)号：CN102495530B
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201110377902.3
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种过梁式步进扫描和三节拍双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，在基台边缘分别设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，在基台中间设置有2个过梁式直线运动单元，其底面高于工件台工作面；两个硅片台将基台表面作为气浮支撑和导向面；Y方向直线运动单元通过沿X方向直线运动单元可以实现沿X方向运动，并通过其自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X或Y方向的运动；本发明采用一体化设计，省掉双台交换系统在交换过程中的抓卡和换卡运动节拍，整个交换过程仅有三个节拍，显著缩短交换过程所需时间，明显提高生产效率。
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公开(公告)号：CN102495529B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110377867.5
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种过梁式双导轨双驱步进扫描双硅片台交换装置与方法属于半导体制造装备；该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，基台边缘设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，基台中间设置有2个X方向高于硅片台工作面的过梁式直线运动单元，Y方向直线运动单元通过X方向直线运动单元可以实现X方向运动，并与自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X方向或Y方向的运动；本发明能够增强导轨的抗转矩干扰能力，减小或克服运动偏差和形变偏差，提高硅片台运动精度；且本本发明整个过程只有三个节拍，可缩短双台交换需要的时间，明显提高光刻机的生产效率。
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