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公开(公告)号：CN103983910B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201410244665.7
申请日：2014-06-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 高频CV特性测试仪，属于半导体器件特性测量领域，本发明为解决目前市面上C-V特性测试仪低分辨率、低线性度的问题。本发明包括电源模块、人机交互模块、USB通讯模块、单片机控制模块、高频信号产生模块、平方率检波模块和电容检测放大模块；待测电容Cx两端信号被电容检测放大模块放大处理后，输出含有正弦波的信号，待测电容Cx的电容值的大小耦合到信号的幅值之中，正弦波的幅值代表了待测电容Cx的电容值的大小，电容检测放大模块输出的信号送至平方率检波模块中，平方率检波模块留下直流分量，并转换为数字信号作为待测电容Cx的电容值的取值结果送到单片机控制模块中，该值可在人机交互模块上显示，也可以通过USB通讯模块上传至电脑中。
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公开(公告)号：CN103236429B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201310177041.3
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 带加热单元的微型碳纳米管湿度传感器芯片，涉及的是通过兼容于标准CMOS IC工艺制作微型碳纳米管湿度传感器的技术领域。解决了目前集成化湿度传感器普遍存在着在高湿环境下湿度检测困难及失效问题。它由硅衬底层、二氧化硅外延层、叉指电极结构的金属一层、多个焊盘窗口、多个多晶硅电阻、多个多晶硅电阻连线的金属二层、电源输入接口、钝化层、碳纳米管湿度敏感薄膜构成；碳纳米管湿度敏感薄膜的覆盖工艺为不损害芯片的溅射工艺、丝网印刷工艺或者悬涂工艺；上述所有层结构及多个多晶硅电阻结构都是用CADENCE版图绘制软件，通过标准CMOS IC工艺制作；本发明能在高湿环境下对室温条件下的湿度进行长期稳定、高速准确的检测。
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公开(公告)号：CN103178828B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310083673.3
申请日：2013-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03K19/0175 , G01P15/00
Abstract: 带谐波失真自检功能的高阶Σ-Δ闭环加速度计接口电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明为解决目前的加速度计接口电路自检功能主要实现模拟输出的加速度计接口电路的自检测，而无法实现直接数字输出的闭环高阶Σ-Δ加速度计接口电路谐波失真自检测的问题。本发明包括加速度计敏感结构、电荷电压转换器、前级放大器、相关双采样与采样保持单元、相位补偿器、自检测单元、第一级积分器、第二级积分器、求和单元、第三级积分器和比较器，通过自检测单元的开关选择工作状态。当处于自检测状态时，自检测单元输出等效的加速度信号，实现自检测功能。当处于检测外界加速度信号的工作状态时，质量块偏离平衡位置，输出电荷信号，实现检测外界加速度信号功能。
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公开(公告)号：CN103308569B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201310281175.X
申请日：2013-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 基于正弦波激励的单芯片集成式碳纳米管湿度传感器，涉及的是一种湿度检测的传感器，解决了目前在传感器与接口电路的双芯片式或多芯片集成时，普遍存在的传感器与电路芯片的PCB板级连接或外部连线造成的误差和噪声干扰。它包含带加热单元微型的微型碳纳米管湿度传感器和正弦波激励接口电路。本发明的所有电路都集成在一个芯片上，结构简单易于实现，尺寸小，集成度高；节省了芯片制作和封装的成本，基于交流激励的传感器的感湿灵敏度更高，输出信号稳定性好；以多孔碳纳米管薄膜作为湿敏层，传感器吸附水汽脱附容易，响应速度快，不仅能在高湿度环境下正常工作，而且便于信号检测。
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公开(公告)号：CN103018485A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210511274.8
申请日：2012-12-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/08
Abstract: Σ-Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明为解决现有的Σ-Δ微加速度计存在的问题。本发明方案：当有外界加速度信号作用于微机械加速度计敏感结构时，质量块偏离平衡位置，在上下极板分别施加周期方波激励信号V+、V-，机械加速度计敏感结构输出电荷信号。电荷信号经过电荷电压转换单元、前级放大单元、相关双采样与采样保持单元后输出电压信号Vdis。电压信号Vdis经过Σ-Δ调制器单元输出差分的位流信号Out_p和Out_n。位流信号分别通过参考电压+Vref或-Vref同Vdis进行运算，得到线性化的反馈电压Vf，并施加于敏感结构质量块上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102420603A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110354429.7
申请日：2011-10-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03K19/0185 , G05F1/565
Abstract: 本发明提供一种用于微传感器的负反馈自平衡驱动电路。它是由驱动电路正电源单元、驱动电路负电源单元、加法器、反相放大器、分压电阻、缓冲器、积分器和开关网络组成的，驱动电路正电源单元分别连接驱动电路负电源单元和加法器，驱动电路负电源单元连接分压电阻和开关网络，加法器连接反相放大器和积分器，反相放大器连接分压电阻和开关网络。本发明不受电源漂移以及温度变化的影响，适合于高精度微传感器的驱动电路。本发明提供一种CMOS全差分驱动电路，可以使提供给驱动电路的正电源电压跟随负电源电压的变化，实现类隔离变压器的驱动，从而抑制电源电压的漂移以及温度变化对传感器性能的影响。
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公开(公告)号：CN119414200B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510021122.7
申请日：2025-01-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种光电效应测量系统，属于半导体技术领域。本发明针对目前光电效应测量系统采用滤镜轮过滤不同波长的光，测试范围较窄、测试灵活性差的问题。包括全光谱光产生模块，用于采用全光谱LED灯珠发射全光谱光，经准直透镜形成平行光；波长选择模块，采用三棱镜对入射的所述平行光进行折射，获得单一波长光束；所述单一波长光束入射到半导体样品上；所述三棱镜通过角度伺服机构进行旋转角度目标值控制，改变出射光束波长；微弱电压电流检测模块，用于对不同单一波长光束入射时半导体样品的短路电流和开路电压进行检测，并转换为数字信号输出。本发明用于半导体PN结光电效应测量。
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公开(公告)号：CN118730086A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410777977.8
申请日：2024-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C21/16
Abstract: 应用在惯性测量单元中的时钟电路，解决了低输入参考频率下，自时钟电路难集成的问题，属于电子电路技术领域。本发明的时钟电路，包括比较器以及锁相环电路；锁相环电路包括鉴频鉴相器PFD、开关电阻型有源环路滤波器、电压控制振荡器VCO和可调倍数分频器M1；其中，开关电阻型有源环路滤波器包括缓冲器B1、缓冲器B2、电阻R1‑R8，电容C1‑C4、开关S1、开关S2和运算放大器A1；本发明通过使用一种开关电阻型PLL电路，解决了时钟电路难集成问题；通过设置时钟电路上电的初始时钟输出，能够使MEMS表头快速起振。
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公开(公告)号：CN117691989B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202311701690.9
申请日：2023-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03K19/0175 , H03F1/26 , G01D5/24
Abstract: 一种电荷反馈MEMS电容式传感器接口集成电路系统，属于加速度传感器领域。本发明针对现有电容式传感器的后级接口电路稳定性差的问题。包括时钟信号产生模块产生设定频率时钟信号输出给时序电路控制模块和驱动信号产生模块；驱动信号产生模块产生驱动方波信号施加到MEMS敏感机械结构和电荷放大器模块上；时序电路控制模块产生控制电荷放大器模块和相关双采样模块的开关控制信号，电荷放大器模块在电荷泄放复位相位下，相关双采样模块对电荷放大器模块输出的噪声进行采样；在电荷采样相位和反馈相位下，相关双采样模块对电荷放大器模块输出的待测信号和反馈信号分别进行采样；再经比例放大模块得到模拟电压信号。本发明用于加速度信号的检测。
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