公开(公告)号：CN117691989B

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202311701690.9

申请日：2023-12-12

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 尹亮 ,  付强 ,  任林 ,  王磊

IPC: H03K19/0175 ,  H03F1/26 ,  G01D5/24

Abstract: 一种电荷反馈MEMS电容式传感器接口集成电路系统，属于加速度传感器领域。本发明针对现有电容式传感器的后级接口电路稳定性差的问题。包括时钟信号产生模块产生设定频率时钟信号输出给时序电路控制模块和驱动信号产生模块；驱动信号产生模块产生驱动方波信号施加到MEMS敏感机械结构和电荷放大器模块上；时序电路控制模块产生控制电荷放大器模块和相关双采样模块的开关控制信号，电荷放大器模块在电荷泄放复位相位下，相关双采样模块对电荷放大器模块输出的噪声进行采样；在电荷采样相位和反馈相位下，相关双采样模块对电荷放大器模块输出的待测信号和反馈信号分别进行采样；再经比例放大模块得到模拟电压信号。本发明用于加速度信号的检测。

公开(公告)号：CN117691989A

公开(公告)日：2024-03-12

申请号：CN202311701690.9

申请日：2023-12-12

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 尹亮 ,  付强 ,  任林 ,  王磊

IPC: H03K19/0175 ,  H03F1/26 ,  G01D5/24

Abstract: 一种电荷反馈MEMS电容式传感器接口集成电路系统，属于加速度传感器领域。本发明针对现有电容式传感器的后级接口电路稳定性差的问题。包括时钟信号产生模块产生设定频率时钟信号输出给时序电路控制模块和驱动信号产生模块；驱动信号产生模块产生驱动方波信号施加到MEMS敏感机械结构和电荷放大器模块上；时序电路控制模块产生控制电荷放大器模块和相关双采样模块的开关控制信号，电荷放大器模块在电荷泄放复位相位下，相关双采样模块对电荷放大器模块输出的噪声进行采样；在电荷采样相位和反馈相位下，相关双采样模块对电荷放大器模块输出的待测信号和反馈信号分别进行采样；再经比例放大模块得到模拟电压信号。本发明用于加速度信号的检测。