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公开(公告)号：CN104528633A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410716011.X
申请日：2014-12-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B81C3/00
Abstract: 一种基于微机械电子系统技术的多功能键合实验装置，包括多功能键合台和电器机箱；所述多功能键合台包括可调基座、加热器下电极、可拆卸上电极组件以及显微镜组件，可调基座包括带上电极支撑架的底座和平面x、y向可调基台，加热器下电极安装在平面x、y向可调基台上；可拆卸上电极组件和显微镜组件安装在上电极支撑架上；所述电器机箱包括高压电源组件、键合监测系统、控温系统，高压电源用于对位于加热器下电极和可拆卸上电极组件之间的待静电键合样品施加键合电压；键合监测系统实时采集键合电流并绘出电流-时间曲线，实时反应静电键合完成情况；控温系统用于对加热器下电极进行控温。该装置具有结构紧凑、小巧、性价比高等优点。
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公开(公告)号：CN104525285A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410678297.7
申请日：2014-11-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种超疏水单极板数字微液滴输运装置及其制作方法。所述装置从下到上依次为基底、电极、介质层、超疏水层，其中：基底为玻璃或Si基底，电极为ITO玻璃电极、Au/Cr（Au/Ti）或Al/Cr（Al/Ti）薄膜电极，超疏水层为氮化硼纳米管。其制作方法如下：一、清洗基底；二、在基底上制备电极；三、在电极上淀积一层介质层；四、在介质层上旋涂氮化硼纳米管超疏水层。本发明的优点在于：整个数字微流控芯片采用微机械加工工艺实现，结构简单，操作方便，且易于后续功能的扩展。本发明减少了珍贵试样的浪费，且降低了驱动电压，保持了样品的生物活性，提高了实验的可行性及实用性，促进了生物医学领域实验的顺利进行，且方便与IC集成以实现更多的功能。
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公开(公告)号：CN102896008B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210395922.8
申请日：2012-10-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 一种基于PMMA及其它聚合物材质的微流控芯片的键合方法，涉及一种微流控芯片的键合方法。本发明的键合方法包括如下步骤：把预制的两块吸波加热基板分别与芯片的上下两个表面贴合，然后放入密闭容器内，用高频电磁波在密闭容器内辐射加热，微波功率为400-1000W，键合界面最高瞬时温度范围控制在95-200℃，键合时间为30-200S。相比国内外其它聚合物微流控芯片的键合方法，这种新型的方法需要的设备简单，工艺成本低、步骤少，易于在聚合物材质微流控芯片的键合领域推广应用。
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公开(公告)号：CN104150436A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410455329.7
申请日：2014-09-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于聚合物材质微流控芯片的有机溶剂混溶溶液浸泡键合方法，所述方法如下：a、将无水乙醇与有机溶剂按照V乙醇∶V有机＝20∶1～5∶1的比例混合，得到混溶溶液；b、使用步骤a配制的混溶溶液将带有微结构的聚合物芯片充分润湿，将润湿后聚合物芯片组装后，放入盛有混溶溶液的培养皿，随后立即将培养皿放入烘箱中，键合温度在25～60℃，键合时间为5～20分钟。本发明改进了传统的聚合物材质微流控芯片键合工艺，避免键合过程中，有机溶剂对微沟道的阻塞，减小了沟道形变量，并可以实现多层复杂结构芯片键合。此外本方法所需仪器简单，可以实现大批量芯片同时键合，在缩短芯片键合时间的同时保证键合强度，有利于微流控芯片的商业化。
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公开(公告)号：CN102910577A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210395924.7
申请日：2012-10-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于PMMA材质及其它有机聚合物的微流控芯片的微波界面加热键合方法，涉及一种微流控芯片的键合方法。本发明的微波界面加热键合方法包括如下步骤：将微波吸收材料均匀涂敷于微流控芯片的基片和盖片的键合界面一侧，然后将芯片的基片和盖片中带有涂层的一侧对齐盖合置于带有电磁波发生装置的密闭容器中，控制微波功率范围在400-1000W，键合瞬时温度范围在95-200℃，键合时间为30-200S。本发明采用微波加热的方式，在键合的时候不需要施加外部压力，需要的工艺成本低，工艺步骤少，易于在聚合物材质微流控芯片的键合领域推广应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102179831A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110084634.6
申请日：2011-04-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种微流控芯片的微沟道加工设备，本发明支架的下端与多自由度的数控载物台相连接，摇臂设置在支架上，划刻深度控制标尺设置在摇臂上，微尺寸刀具数控运动机构设置在划刻深度控制标尺上，加热器的上端与划刻深度控制标尺的下端相连接，微尺寸刀具的上部设置在加热器内，温度控制器通过导线与加热器相连接。本发明的设备是将控温加热与微机械加工装置相结合，采用数控编程保证了复杂沟道图形加工的同时也保证了所需的加工精度，使得微流控芯片的加工工艺流程得到简化，加工时间缩短。刀具寿命长，定位精度高，便于微流控芯片的批量化生产。制作的微流控芯片的沟道平整度与线性度良好。适用本发明的设备其加工方法简单易行。
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公开(公告)号：CN1908432A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200610010387.4
申请日：2006-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F04B43/04
Abstract: 本发明提供的是一种双向无阀微泵。它包括泵体和泵盖，在泵体上开有泵腔、流体进、出口沟道等结构图形，泵盖上开有进口和出口，泵体与泵盖键合在一起，键合后在泵体与泵盖之间形成薄壁孔口与厚壁孔口，泵腔外安装压电驱动元件。本发明产品的优点在于：微泵体积小、结构简单、无电磁干扰、易于操作、适合批量化生产，并能实现对流体的正、反向泵送。该泵在化学分析、医疗器械、粘接剂喷涂，以及汽车发动机燃料供给等方面均有应用前景。因其无阀门、且具有正、反向泵送特性尤其适用于微沟道及微小零部件的清洗，在微流体系统中具有很大的应用潜力。
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公开(公告)号：CN1286889C
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200510009804.9
申请日：2005-03-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种以聚二甲基硅氧烷为基材的芯片简易不可逆键合方法。主要步骤包括：芯片的衬底材料为聚二甲基硅氧烷；将聚二甲基硅氧烷浇注于模具中、固化，再将聚二甲基硅氧烷样品新鲜剥离；将新鲜剥离的聚二甲基硅氧烷芯片组件放入氨水中，浸泡；将经过处理后的聚二甲基硅氧烷芯片组件用去离子水反复冲洗；将处理好的两片聚二甲基硅氧烷芯片组件贴合，或者是将处理好的聚二甲基硅氧烷芯片组件贴在清洗干净的玻璃面上，实现聚二甲基硅氧烷与聚二甲基硅氧烷/玻璃的不可逆键合。本发明采用聚二甲基硅氧烷为加工衬底材料，具有较高性价比、键合成本低、加工工艺过程简单、加工成品率高。
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公开(公告)号：CN1801513A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510010336.7
申请日：2005-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01M4/88
Abstract: 本发明提供的是一种硅基微型直接甲醇燃料电池用催化电极的制备方法。以加工出流场图形的硅片作为催化层的载体，首先在载体硅片上形成多孔硅层，然后采用物理蒸发的方法在多孔硅层上沉积一层金属钛层，最后采用化学镀铂和化学镀铂—钌合金的方法分别在阴极板上和阳极板上得到相应的催化层。本发明的方法可以有效地缩小电池的尺寸和完成催化电极的批量加工，并可有效地提高催化层的催化活性和减少贵金属的用量。
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公开(公告)号：CN1769884A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510010371.9
申请日：2005-09-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/447 , G01N27/28
Abstract: 本发明涉及一种集成有电化学检测电极的高聚物基质毛细管电泳芯片，包括基片和盖片，及金属丝检测电极。在基片上设有进样与分离微沟道、缓冲液池、进样池等；作为电化学检测电极的金属丝，是以热压或预制方法镶嵌在盖片上；基片的微沟道、缓冲液池等以机械滑刻方法或浇铸成型法加工；基片和盖片接合依据所选材质的不同，采用热压方法或化学方法键合构成电泳芯片。本发明制作的集成有电化学检测电极的毛细管电泳芯片，具有制作工艺简单，材料价格低廉，成品率高，可广泛用于无机离子、有机分子、氨基酸、蛋白质等多种物质的电泳分离、检测。
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