一种适用于轻质大口径反射镜的力控轮式抛光工具

    公开(公告)号:CN119098852A

    公开(公告)日:2024-12-10

    申请号:CN202411292800.5

    申请日:2024-09-14

    Abstract: 本发明提出一种适用于轻质大口径反射镜的力控轮式抛光工具,通过柔性控制的方法,在接触工件的瞬间以及运行过程中,恒力系统以柔性浮动方式,主动适应工件表面的尺寸变化,将力的大小始终控制在所需范围之内,保证加工过程中去除函数的稳定性,从而保证抛光过程中的稳定性。结合柔性加工装置,通过比例积分微分控制规律闭环恒力控制,对工件三维外形任何角度进行抛光打磨同时实现力控系统的快速响应;本发明设置轮式抛光工具转速传感器,在加工至轻质大口径反射镜边缘时,降低加工过程中的转速,从而有效的减少边缘效应。

    一种碳化硅表面改性方法
    24.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110551979B

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN201910896598.X

    申请日:2019-09-23

    Abstract: 本发明一种碳化硅表面改性方法,采用PVD(物理气相沉积)改性,先将基片清洗干净,检测改性前粗糙度,后放入整洁的镀膜机内,同时,在镀膜机相应位置放入膜料镍(Ni)、硅(Si);提高镀膜机真空室内的真空度,达到改性标准后,先镀制膜料镍(Ni)、在镀制膜料硅(Si),改性完成后检测粗糙度。相比较于传统PVD(物理气相沉积)改性方法,本方法可以直接降低基片表面粗糙度,省去改性后光学研抛过程,节省了光学研抛过程中耗费的人力、物力、财力,规避了相应的风险。

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