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公开(公告)号：CN100572261C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200610113196.0
申请日：2006-09-19
Applicant: 北京大学
IPC: B82B3/00 , H01L21/00 , H01L21/30 , H01L21/205
Abstract: 本发明公开了一种制备多级硅纳米器件的方法。该方法包括下述步骤的至少一个循环：1)用扫描探针显微镜对硅基片的待加工的Si-H表面进行扫描探针氧化，得到纳米级氧化物图案；2)将步骤1)得到的带有氧化物图案的硅片置于各向异性腐蚀液中进行反应，得到所需多级硅纳米元件。本发明的制备多级硅纳米器件的方法，结合扫描探针显微镜分辨率高、操作灵活的优点和微电子工业中已经相对成熟的化学湿法刻蚀技术(各向异性湿法刻蚀技术)，实现了多级纳米结构的制备加工。该方法分辨率高、可控性强、成本较低、操作简单，为多级纳米器件的加工制备提供了灵活简便的途径，在纳米器件领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN100537413C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200610113246.5
申请日：2006-09-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种进行碳纳米管焊接的方法，包括如下步骤：1)将表面有碳纳米管的硅基片转移至扫描探针显微镜的平台，在硅基片与探针之间施加3V以上的正偏压；控制硅基片与扫描探针显微镜的探针之间的相对湿度为10-100%，使探针与硅基片之间产生水桥；2)使探针经过碳纳米管，碳纳米管即被焊接固定在硅基片上。本发明方法操作简便灵活，可以对碳纳米管进行有效的固定，还可以在操纵的现场随时在任意位置对碳纳米管进行焊接，使碳纳米管的操纵更加可控和定量化，而且焊点可以用氟化铵或氟化氢腐蚀除去，为碳纳米管的性质研究和器件集成提供思路。
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公开(公告)号：CN100396595C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200510133649.1
申请日：2005-12-27
Applicant: 北京大学 , 国家纳米技术产业化基地
Abstract: 一种应用纳米压印和反应离子刻蚀技术制备纳米悬臂结构的方法，其特征在于它包括以下三个步骤：(1)应用刻蚀技术制备纳米压印模板；(2)应用纳米压印技术复制悬臂图形；(3)应用各向同性反应离子刻蚀技术悬空悬臂结构。本发明的优越性在于：1、通过制备模板，以纳米压印技术实现图形的复制与转移，具有工艺简单、速度快、重复性好、费用低、产率高等优点；2、应用各向同性干法反应离子刻蚀技术悬空悬臂结构，避免了湿法化学腐蚀工艺中悬臂与基底的粘结及溶液对结构的污染现象。
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公开(公告)号：CN101148254A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200610113213.0
申请日：2006-09-19
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种控制转移单壁碳纳米管阵列结构的方法，属于纳米结构制备和加工技术领域。该方法包括：(1)在生长基底上制备单壁碳纳米管阵列结构；(2)在其制有单壁碳纳米管阵列结构的生长基底表面旋涂一层聚酯溶液，置于烘箱中烘烤除去溶剂，形成聚酯膜；(3)将覆有聚酯膜的基底置于碱溶液中加热使其微沸，至聚酯膜脱离生长基底而浮起；(4)以超纯水洗净聚酯膜，并将其贴于目标基底表面上，用高纯氮气吹干，再次置于烘箱中烘烤；(5)将表面贴有聚酯膜的目标基底经曝光、显影、定影过程除去聚酯膜，即可高效、方便的将单壁碳纳米管阵列结构保持原貌的控制转移到任意目标基底上。
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公开(公告)号：CN100344652C
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200410096856.X
申请日：2004-12-08
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种高分子/碳纳米管复合物膜的制备方法。本发明的高分子/碳纳米管复合物膜，其碳纳米管在高分子基体中呈有序排列，制备方法包括以下步骤：1)在浓度为0.01-1mol/L的离子型表面活性剂溶液中加入碳纳米管，超声分散至形成稳定的悬浮液；2)调节悬浮液温度至0-25℃之间，向其中加入高分子单体，超声分散；3)调节步骤2)所得液体温度至-10-25℃之间，加酸调节pH3.5-7.5；4)以步骤3)所得混合液为电解液，进行电化学聚合，得到所述高分子/碳纳米管复合物膜。该复合物膜可广泛应用于(电)化学传感器、场发射器件等方面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101009222A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200710063106.6
申请日：2007-01-26
Applicant: 北京大学
IPC: H01L21/28 , H01L21/336
Abstract: 本发明公开了制备碳纳米管电子器件的方法，该方法包括如下步骤：1)使碳纳米管分布在绝缘电介质层基底表面；2)在绝缘电介质层基底上镀上金属薄膜；3)在金属薄膜上形成图案化的自组装单层膜；4)刻蚀；5)后处理。与文献中已有的方法比较，本发明方法具有很多独特的优点：方法简单易行，不需要复杂和昂贵的仪器设备；属于并行处理类的方法，能够实行工业自动化和大规模集成；可以突破光刻技术的极限，达到几十个纳米量级的电极间距；操作条件温和，在室温进行反应，避免了化学气相沉积不能适用于低熔点金属的特点；工艺周期很短，全部过程只需要五个小时左右；产率高，成本低廉，应用范围广泛，具备商业化运用的广阔前景。
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公开(公告)号：CN1786036A
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：CN200410096856.X
申请日：2004-12-08
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种高分子/碳纳米管复合物膜及其制备方法。本发明的高分子/碳纳米管复合物膜，含有重量份数比为10－500∶1的高分子基体和碳纳米管，所述碳纳米管在所述高分子基体中有确定的取向。其制备包括：1)在浓度为0.01－1mol/L的离子型表面活性剂溶液中加入碳纳米管，超声分散至形成稳定的悬浮液；2)调节悬浮液温度至0－25℃之间，向其中加入高分子单体，超声分散；3)调节步骤2)所得液体温度至－10－25℃之间，加酸调节pH3.5－7.5；4)以步骤3)所得混合液为电解液，进行电化学聚合，得到所述高分子/碳纳米管复合物膜。该复合物膜可广泛应用于(电)化学传感器、场发射器件等方面。
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公开(公告)号：CN119710962A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202311277802.2
申请日：2023-09-28
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯/杂环芳纶复合纤维及其制备方法。以小尺寸石墨烯为初始原料，在石墨烯分散液的制备过程中不添加任何助剂(如氯化锂或氯化钙)，且在聚合反应发生前，将石墨烯分散液加入到聚合反应体系中，改善了复合纤维的力学性能。自然条件下相较于未添加石墨烯的技术方案，提升了其力学稳定性。
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公开(公告)号：CN119550796A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202510098115.7
申请日：2025-01-22
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种耦合辐射制冷车衣与相变储热模块的汽车静态控温体系，属于热管理材料领域。在汽车上覆盖辐射制冷车衣，并将相变储热模块放置于汽车内，日间升温时，辐射制冷车衣通过反射太阳辐射、高密度红外辐射和低热导隔绝掉大部分热量，剩余热量进入车厢内时，通过相变储热模块恒温吸收，使得保持车厢内处于低温状态；在气温下降和夜间时，被相变储热模块存储的热量通过辐射制冷车衣的高密度红外辐射快速传输到外界，使得车厢内部处于低温状态。在双功能耦合作用下，实现车厢内部的低温状态，降低汽车起步控温能耗，提高人体舒适度，以及减少由高温引起的车内元件老化和动力电池自燃风险。
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公开(公告)号：CN118087094A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202211449278.8
申请日：2022-11-18
IPC: D01F9/12
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯‑碳纳米管连续复合纤维的制备方法。该石墨烯‑碳纳米管复合纤维的制备方法基于浮动催化化学气相沉积工艺，石墨烯在碳纳米管生长的过程中进行原位组装和复合，石墨烯和碳纳米管界面结合力强，纤维结构致密，复合纤维可实现千米级连续制备，且力学性能、电学性能相较于碳纳米管纤维更好。
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