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公开(公告)号：CN104923467B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201510213503.1
申请日：2010-06-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02 , H01L21/768 , H01L23/48
CPC classification number: H02N1/006 , B06B1/0292
Abstract: 公开了电容型电气机械变换器。本发明涉及能够对于每个元件任意地改变振动膜的挠曲量的电气机械变换器。该电气机械变换器包括多个包含至少一个包含第一电极和与第一电极相对且在它们之间夹有间隙的第二电极的单元的元件，以及被配置为对于各元件被设置并且分别向各元件中的第一电极施加直流电压的直流电压施加单元。第一电极和第二电极对于每个元件电气分离。
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公开(公告)号：CN102158794B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201110027606.0
申请日：2011-01-26
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B06B1/0292 , H04R19/005
Abstract: 本发明涉及电容型机电变换器。提供可动区域中的电极不太可能影响可动区域的机械特性并且可动区域中的电极的表面的不均匀电势分布受到抑制的变换器。所述变换器包含第一电极和与第一电极相对的第二电极，在它们之间插入间隙。第一电极的单位面积的电阻在相对于第二电极的可动区域和相对于第二电极的不可动区域中不同。可动区域中的第一电极和不可动区域中的第一电极具有不同的厚度。
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公开(公告)号：CN102204813B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201110065850.6
申请日：2011-03-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01N29/06
CPC classification number: A61B5/0095 , B06B1/0292
Abstract: 本发明涉及用于驱动电容性机电变换装置的装置和方法。一种装置被配置为驱动变换装置，所述变换装置包含具有被设置为经由间隙彼此相对的第一电极和第二电极的单元。所述装置包含定时检测单元和控制单元。定时检测单元检测从被配置为输出用于照射待测量对象的电磁波的电磁波源输出电磁波的定时。控制单元同步于检测到的定时驱动和控制变换装置，使得电容性机电变换装置仅对于接收在被电磁波照射的对象内部产生的声波的时段被置于接收状态中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102665939A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080051334.1
申请日：2010-11-11
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B06B1/0292 , G01N21/1702 , G01N29/2418
Abstract: 存在下述情况，即，所产生的声波由于光衰减而减小，由此没有从接收该声波的机电变换器装置获得所希望的输出。本发明的用于控制机电变换器装置的控制设备包括：转换单元，其将从机电变换器装置的第一电极输出的电流转换为电压；DC电压施加单元，其将DC电压施加于第二电极，所述第二电极被布置为在它自己与第一电极之间具有间隙；以及产生单元，其基于关于从检查对象被光辐照的时刻起所经过的时间的信息来产生控制信号，所述控制信号使所述DC电压和用于将所述电流转换为所述电压的转换比率中的至少一个改变。
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公开(公告)号：CN102458692A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080026305.X
申请日：2010-06-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: H02N1/006 , B06B1/0292
Abstract: 本发明涉及能够对于每个元件任意地改变振动膜的挠曲量的电气机械变换器。该电气机械变换器包括多个包含至少一个包含第一电极和与第一电极相对且在它们之间夹有间隙的第二电极的单元的元件，以及被配置为对于各元件被设置并且分别向各元件中的第一电极施加直流电压的直流电压施加单元。第一电极和第二电极对于每个元件电气分离。
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公开(公告)号：CN101566795B
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN200910203848.3
申请日：2006-06-07
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/768
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及用于生产芯片的加工设备、加工方法和工艺。其中，包括一种压印方法，用于通过采用具有图形的模子在刚性衬底或刚性衬底上的图形形成材料上形成压印的图形，该方法包括：通过能沿与地心引力方向相反的方向移动的支承部分、向上推压被保持以致能够由于自身重量而弯曲的衬底，以便减小沿着地心引力方向的弯曲量，从而在衬底上形成压印的图形。
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公开(公告)号：CN101604124B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200910140939.7
申请日：2006-06-07
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供一种用于形成图案的图案形成方法，包括：制备模子(104)，该模子(104)具有包括图案区域(1000)的第一表面、与第一表面相对的第二表面以及被设在远离第二表面并靠近第一表面的位置处的对准标记(2070)；使模子(104)的图案区域(1000)与设在衬底(5000)上的涂覆材料接触；在涂覆材料被设于衬底(5000)上的对准标记(2070)和衬底(5000)彼此相对的部分处的情况下，通过利用对准标记(2070)和在衬底(5000)上设置的标记(5300)，来获得关于模子(104)和衬底(5000)的位置信息；以及在所述信息的基础上，实施衬底(5000)与模子(104)的高精度对准；相应的模子以及图案形成设备。
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公开(公告)号：CN101501446A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780029453.5
申请日：2007-07-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 本发明提供一种角速度传感器，该角速度传感器包括：参照振动子，该参照振动子被支撑为产生围绕作为中心的第一旋转轴线的往复旋转振动；检测振动子，该检测振动子由所述参照振动子支撑为产生围绕作为中心的第二旋转轴线的往复旋转振动，所述第二旋转轴线与所述第一旋转轴线不同；参照振动产生单元，用于使所述参照振动子产生往复旋转振动；以及检测单元，用于与所述检测振动子的往复旋转振动相关联，检测所述检测振动子相对于所述参照振动子的位移量。
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