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公开(公告)号：CN117012812B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202311284518.8
申请日：2023-10-07
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L29/18 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L29/772 , H01L21/10
Abstract: 本发明公开了一种湿法和干法相结合刻蚀二维碲烯的方法，所述方法包括：提供单晶二维碲烯；将单晶二维碲烯放入次氯酸溶液中浸泡，洗涤、烘干备用，得到第一样品；洗涤第一样品，并将第一样品在Ar气氛围下进行刻蚀。本发明方法首先采用次氯酸溶液对其表面活化，再采用电感耦合等离子体机进行第二步刻蚀。本发明方法得到的原子级厚度二维碲烯表面平整，而且最终对碲烯没有产生结构破坏，该方法简单可控，为碲烯未来的性能提升以及工业化大规模的应用提供了一个新的技术手段。
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公开(公告)号：CN117383520A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311257066.4
申请日：2023-09-27
Applicant: 之江实验室
IPC: C01B19/02 , B82Y40/00 , B82Y30/00 , H01L29/18 , H01L29/772
Abstract: 本发明公开了一种基于二维碲模板法的二维碲硒异质结的合成方法，所述合成方法包括：提供二维碲烯晶体；将二维碲烯晶体溶于水，得到第一溶液；将硒粉溶于水合肼，得到第二溶液；将第一溶液与第二溶液按摩尔比1:1混合，在180℃下反应8‑14小时，得到二维碲硒异质结。本发明利用了硒的原子结构和碲有相似的情况，利用水热法进行外延生长得到二维形貌的碲硒异质结。本发明方法具有低温低压、操作简单、成本低廉和便于工业化的特点。并且该二维碲硒异质结可以大大提高二维碲烯本身的光电探测性能。
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公开(公告)号：CN116984623A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202311250956.2
申请日：2023-09-26
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于分段式水热法的二维铋纳米晶体合成方法，所述方法包括：将亚铋酸钠均匀分散到丙三醇溶液，得到浓度为0.025‑0.075 mol/L的第一溶液；将溴代十六烷基三甲胺和聚乙烯吡咯烷酮按照1:0.5‑1:3.5的摩尔比充分溶解在丙三醇溶液中形成第二溶液；将等体积的第一溶液与第二溶液充分混合，得到第三溶液；第一水热阶段：将第三溶液加热至30‑80℃，保温至少5小时；第二水热阶段：再将第三溶液加热至160‑200℃保温20个小时以上，冷却离心分离得到二维铋纳米晶体。
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公开(公告)号：CN116546873B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310825015.0
申请日：2023-07-06
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本公开涉及复合式薄膜晶体管压力传感器及其制造方法。该方法包括：形成位于基底一侧的电极部，电极部包括电性分隔的第一电极和第二电极；形成沟道部，沟道部包括第一沟道区和第二沟道区，第一沟道区位于第一电极和第二电极之间，第二沟道区覆盖至少部分第一电极及至少部分第二电极；形成绝缘部，绝缘部覆盖沟道部；形成第一栅极部，第一栅极部位于绝缘部背向电极部的一侧；形成压电部，压电部位于第一栅极部背向电极部的一侧；以及形成第二栅极部，第二栅极部位于压电部背向电极部的一侧。该方法可以实现浮栅传感模式和应变传感模式在同一传感器的复合。
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公开(公告)号：CN114932568B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202210489662.4
申请日：2022-05-07
Applicant: 之江实验室
Abstract: 一种柔性可动静态压力感知的电子皮肤，包括一次铺设于仿指纹刺激接收层、第一电极层、敏感材料层、第二电极层，其通过半球凸起层和电容传感机理感知外界施加的静态三维力，通过弧形条状阵列和压电传感机理感知外界施加的滑移动态力，本发明还提供了一种柔性可动静态压力感知的电子皮肤的制备方法，该电子皮肤可以覆盖再机器人手指端赋予其触觉感知能力，使机器人手指能感知到静态三维力和滑移动态力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115295675B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202210990580.8
申请日：2022-08-18
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明一种基于二维材料Te/MoS2异质结的光探测器的制备方法，包括以下步骤：采用机械剥离或化学气相沉积制作含有二维MoS2的衬底一；制备含有二维Te的衬底二；转移二维Te形成异质结；光探测器件制备；对制备出的光探测器件进行高压退火处理；在器件制备过程中通过减小Te/MoS2异质结中Te和MoS2的层间间距，将具有典型I型能带排列结构的Te/MoS2异质结向II型能带排列结构转变，显著提高了基于二维材料Te/MoS2异质结光探测器的光探测灵敏度。
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公开(公告)号：CN114824070B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202210370901.4
申请日：2022-04-11
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L45/00
Abstract: 本发明公开了一种基于二维碲烯掺杂铜二价阳离子的忆阻器及其制备方法，包括基底，所述基底上设有忆阻层，所述忆阻层为掺杂铜二价阳离子的二维碲烯；步骤S1：二维碲烯溶液；步骤S2：制备硝酸铜溶液；步骤S3：将所述硝酸铜溶液滴加到所述含有单晶二维碲烯的溶液形成混合溶液中；步骤S4：制备二维碲烯掺杂铜二价阳离子的基底；步骤S5：制备出一种基于二维碲烯掺杂铜二价阳离子的忆阻器。本发明利用小直径铜离子原位掺入二维单质碲烯晶格后，形成碲化物共价键和游离态阳离子的弛豫，过程所产生的游离态阳离子随着外电场的控制而形成导电通道，从而实现二维碲烯微纳忆阻晶体管更加稳定和均一的忆阻特征。
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公开(公告)号：CN112014022B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202010850570.5
申请日：2020-08-21
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于微纳光纤的光电融合触觉传感器，包括结合在一起的触觉刺激接收层、三维力传感层和温度传感层，三维力传感层位于触觉刺激接收层和温度传感层之间。其中，三维力传感层主要用于感知外界压力的大小和方向，封装有微纳光纤的腰区的温度传感层用于感知温度。本发明通过压电信号和微纳光纤信号的解耦，不仅可以获得三维力的信息，还能获得温度信息，有助于机器人对可变形和易碎物体的稳定抓取和精确操控，增强机器人对环境的认知能力。本发明具有柔性好、灵敏度高、抗电磁干扰能力强等特点，为智能机器人的触觉感知控制系统提供了一种新型的触觉传感器。
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公开(公告)号：CN114735684A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210663705.6
申请日：2022-06-14
Applicant: 之江实验室
IPC: C01B32/186 , C01B32/196
Abstract: 本发明涉及一种石墨烯粉末的制备方法，包括：（1）将按照一定比例混合后的纳米级氧化镁粉末和微米级铜粉放入化学气相沉积设备中，在一定的工艺条件下生长石墨烯，得到石墨烯包覆的粉体材料；（2）把生长好石墨烯的粉末取出进行后处理工艺，刻蚀掉氧化镁基底，得到石墨烯悬浮液；（3）取出石墨烯悬浮液并利用离心提取法得到石墨烯粉末，使用乙醇多次清洗后，烘干初步得到石墨烯粉末；（4）把烘干后的石墨烯粉末放入球磨或砂磨机中，研磨2‑4小时，得到均匀的石墨烯粉末，此方法成本低，易于工艺放大，可用于大量制备工业级石墨烯粉末，其制备的石墨烯粉末具有较大的片层面积，较高的电导率和导热系数，可用作添加材料。
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公开(公告)号：CN112179410A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011019621.6
申请日：2020-09-24
Applicant: 之江实验室
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明公开了一种多功能柔性触觉传感器及其制备方法。本发明通过引入弹性层和柔性传感层并采用多层贴合的组装方法，获得具有新型结构的多功能柔性触觉传感器，其中，弹性层具有传导力学信息的微凸起阵列和传导温度信息的通孔阵列，柔性传感层包含压力学传感单元阵列、温度传感单元阵列和表面设有平面电极阵列的柔性绝缘基底。该结构能够实现传感器对于压力、滑动、温度这些触觉信息的多功能检测，并实现传感器对于触觉信息空间分布的实时检测，克服了现有技术中触觉传感器件测量功能单一的缺陷。本发明传感器可直接穿戴于机械手的手指末端并实时采集机械手的触觉信息，具有阵列化、多功能、可穿戴以及低成本、可定制的特点。
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