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公开(公告)号:CN117012630B
公开(公告)日:2024-07-02
申请号:CN202311257516.X
申请日:2023-09-27
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/12 , H01L21/06 , H01L29/786 , H05K1/18
Abstract: 本发明公开了一种基于双氧水氧化的场效应晶体管栅极电介质的制备方法,所述制备方法包括:提供二维碲烯;将二维碲烯置于硅/二氧化硅基底上,得到第一样品;在第一样品的两端制备源极和漏极,得到两端器件;在源极和漏极间生成场效应晶体管栅极电介质:清洗两端器件,并放入体积浓度大于等于3%的双氧水溶液中3‑4小时,烘干、冷却。本发明方法利用碲自身氧化的特征,在沟道层上面形成一直致密的氧化膜电介质层,该方法简单、易于重复,并且制备出的栅极对电流的控制能力较强,本发明为碲烯未来工业化大规模的应用提供了一个新的技术手段。
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公开(公告)号:CN115638720A
公开(公告)日:2023-01-24
申请号:CN202211220292.0
申请日:2022-10-08
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明属于柔性电子与传感器技术领域,公开了一种探针结构柔性触觉传感器及其制备方法,传感器包括柔性传感探针和柔性基底层,柔性传感探针为两段弯折式柔性探针结构,柔性传感探针的底面与柔性基底层的表面相粘合,柔性传感探针的顶部具有磁性条,柔性基底层包括平面电极和柔性衬底,平面电极将柔性传感探针的电信号输出至外电路。本发明传感器通过柔性探针结构和磁性条将触碰、振动、导磁物体的靠近转变为柔性传感探针的形变,并输出电信号。本发明传感器可在接触式和非接触式两种工作模式下工作,具备多功能、低成本、易制备、可穿戴的特点,可满足触觉识别及非接触传感的实际需求。
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公开(公告)号:CN115295676A
公开(公告)日:2022-11-04
申请号:CN202210990649.7
申请日:2022-08-18
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L31/18 , C23C16/06 , C23C16/30 , C23C16/52 , H01L31/0224 , H01L31/109
Abstract: 本发明公开了一种高光响应Te/MoS2异质结的光探测器及其制备方法,通过对二维Te和MoS2晶面的准确控制,形成了不同二维Te和MoS2的异质结堆叠方式,实验结果结合第一性原理的仿真计算分析,确定了形成I型和II型能带排列结构的Te/MoS2异质结的制备方法,由于I型能带排列结构的Te/MoS2异质结中光生电子和光生空穴在内建电场的作用下均向能带较窄的二维Te材料转移,使得光生电子‑空穴对的复合几率较II型能带排列结构高得多,降低了光生载流子的寿命,减小了光电流的大小,不利于光探测能力的提升,所以需要选择具有II型能带排列结构的Te/MoS2异质结来制备高光响应度的光探测器。
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公开(公告)号:CN114742808A
公开(公告)日:2022-07-12
申请号:CN202210436665.1
申请日:2022-04-25
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于LSTM模型的平场预测方法和装置,包括以下步骤:步骤S1:转化为灰度图;步骤S2:模拟得到新图像;步骤S3:利用KLL算法计算得到中心平场图像;步骤S4:利用KLL算法计算得到各边界补偿图像;步骤S5:得到平场数据;步骤S6:将所述平场预测算法数据库构建LSTM预测模型,加载所需预测模型的现有序列数据,得到训练进度图及最终的预测结果。本发明解决了平场很不容易进行在轨校正,对依赖像素间相关性的算法处理影响显著的难题,通过建立LSTM时序预测模型,定期对在轨太阳成像观测仪器进行平场定标,逐渐进行预测,探究其变化规律及趋势,为后续长期校准工作提供参考。
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公开(公告)号:CN112179410B
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN202011019621.6
申请日:2020-09-24
Applicant: 之江实验室
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明公开了一种多功能柔性触觉传感器及其制备方法。本发明通过引入弹性层和柔性传感层并采用多层贴合的组装方法,获得具有新型结构的多功能柔性触觉传感器,其中,弹性层具有传导力学信息的微凸起阵列和传导温度信息的通孔阵列,柔性传感层包含压力学传感单元阵列、温度传感单元阵列和表面设有平面电极阵列的柔性绝缘基底。该结构能够实现传感器对于压力、滑动、温度这些触觉信息的多功能检测,并实现传感器对于触觉信息空间分布的实时检测,克服了现有技术中触觉传感器件测量功能单一的缺陷。本发明传感器可直接穿戴于机械手的手指末端并实时采集机械手的触觉信息,具有阵列化、多功能、可穿戴以及低成本、可定制的特点。
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公开(公告)号:CN112014022A
公开(公告)日:2020-12-01
申请号:CN202010850570.5
申请日:2020-08-21
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于微纳光纤的光电融合触觉传感器,包括结合在一起的触觉刺激接收层、三维力传感层和温度传感层,三维力传感层位于触觉刺激接收层和温度传感层之间。其中,三维力传感层主要用于感知外界压力的大小和方向,封装有微纳光纤的腰区的温度传感层用于感知温度。本发明通过压电信号和微纳光纤信号的解耦,不仅可以获得三维力的信息,还能获得温度信息,有助于机器人对可变形和易碎物体的稳定抓取和精确操控,增强机器人对环境的认知能力。本发明具有柔性好、灵敏度高、抗电磁干扰能力强等特点,为智能机器人的触觉感知控制系统提供了一种新型的触觉传感器。
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公开(公告)号:CN119467264A
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN202510072652.4
申请日:2025-01-17
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种倏逝场驱动的微型光波导致动器和方法。致动器包括微纳光纤、聚合物纤维和光源,聚合物纤维与微纳光纤的一端接触连接,光源布置在微纳光纤的另一端;微纳光纤为单锥型微纳光纤,单锥型微纳光纤包括位于中间的微纳光纤锥区、位于一端的微纳光纤腰区以及位于另一端的微纳光纤尾纤,聚合物纤维与微纳光纤腰区的外表面接触连接,光源布置在微纳光纤尾纤的末端附近。本方法的原理为,在通光时微纳光纤腰区周围产生倏逝场,在光热转化材料的作用下升温,由于聚合物纤维和微纳光纤腰区的热膨胀系数不同,引起致动器的弯曲变形。本发明具有可控性强、响应速度快等优点,便于应用在深海探测、微型软体机器人、体内诊疗等领域。
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公开(公告)号:CN116994943B
公开(公告)日:2024-11-08
申请号:CN202311257435.X
申请日:2023-09-27
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/06 , H01L29/18 , H01L29/786 , H05K1/18
Abstract: 本发明公开了一种基于碘蒸汽掺杂法的N型碲烯的制备方法,所述制备方法包括:提供二维碲烯;将二维碲烯放入一密闭腔体内,通过碘蒸气对二维碲烯进行掺杂,得到N型碲烯。其中,通过碘蒸气对二维碲烯进行掺杂包括:将固态碘加热至30℃~45℃使固态碘升华为碘蒸气持续4‑9小时。基于此,本发明实施例还提供了一种由上述制备方法制得的N型碲烯,一种基于碘蒸汽掺杂法的N型碲烯场效应晶体管及其制备方法。本发明使用碘蒸气进行掺杂,工艺简单可控、制备周期短、安全无污染。
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公开(公告)号:CN117012812A
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN202311284518.8
申请日:2023-10-07
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L29/18 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L29/772 , H01L21/10
Abstract: 本发明公开了一种湿法和干法相结合刻蚀二维碲烯的方法,所述方法包括:提供单晶二维碲烯;将单晶二维碲烯放入次氯酸溶液中浸泡,洗涤、烘干备用,得到第一样品;洗涤第一样品,并将第一样品在Ar气氛围下进行刻蚀。本发明方法首先采用次氯酸溶液对其表面活化,再采用电感耦合等离子体机进行第二步刻蚀。本发明方法得到的原子级厚度二维碲烯表面平整,而且最终对碲烯没有产生结构破坏,该方法简单可控,为碲烯未来的性能提升以及工业化大规模的应用提供了一个新的技术手段。
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公开(公告)号:CN117012630A
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN202311257516.X
申请日:2023-09-27
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/12 , H01L21/06 , H01L29/786 , H05K1/18
Abstract: 本发明公开了一种基于双氧水氧化的场效应晶体管栅极电介质的制备方法,所述制备方法包括:提供二维碲烯;将二维碲烯置于硅/二氧化硅基底上,得到第一样品;在第一样品的两端制备源极和漏极,得到两端器件;在源极和漏极间生成场效应晶体管栅极电介质:清洗两端器件,并放入体积浓度大于等于3%的双氧水溶液中3‑4小时,烘干、冷却。本发明方法利用碲自身氧化的特征,在沟道层上面形成一直致密的氧化膜电介质层,该方法简单、易于重复,并且制备出的栅极对电流的控制能力较强,本发明为碲烯未来工业化大规模的应用提供了一个新的技术手段。
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