双面压印光刻系统
    21.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101377618B

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN200810130342.X

    申请日:2008-07-11

    CPC classification number: G03F7/0002 B82Y10/00 B82Y40/00

    Abstract: 本发明提供一种双面压印光刻系统,该双面压印光刻系统包括:介质支撑单元,支撑介质,其中,所述介质的两个表面涂覆有紫外(UV)硬化树脂;第一模具支撑单元和第二模具支撑单元,分别支撑第一模具和第二模具,并分别设置在介质支撑单元之上和之下;竖直运动装置,使介质支撑单元、第一模具支撑单元和第二模具支撑单元中的至少一个竖直地运动;第一UV照射装置,安装在第一模具支撑单元之上,以照射UV光线;第二UV照射装置,安装在第二模具支撑单元之下,以照射UV光线。

    纳米图案化方法及制造母板和离散轨道磁记录介质的方法

    公开(公告)号:CN102759854A

    公开(公告)日:2012-10-31

    申请号:CN201210192882.7

    申请日:2008-08-04

    CPC classification number: G03F7/2014 G03F1/50 G03F7/70375

    Abstract: 本发明提供了一种纳米图案化的方法和一种制造纳米压印母板和离散轨道磁记录介质的方法。该纳米图案化的方法包括以下步骤:(a)在基底上顺序地形成蚀刻目标材料层、光致抗蚀剂层和被图案化成第一图案的金属层,第一图案具有图案以预定间隔被重复布置的结构;(b)将光照射到金属层的表面上,以激发表面等离子体激元,使得表面等离子体激元传递的光能的分布使光致抗蚀剂层的位于金属层的图案之间的中部以及光致抗蚀剂层的位于金属层的图案的中部下方的部分被曝光,以使光致抗蚀剂层被曝光成第二图案;(c)去除被图案化的金属层并对光致抗蚀剂层进行显影;(d)利用被图案化成第二图案的光致抗蚀剂层作为掩模对蚀刻目标材料层进行蚀刻。

    纳米图案化方法及制造母板和离散轨道磁记录介质的方法

    公开(公告)号:CN101403854B

    公开(公告)日:2012-08-08

    申请号:CN200810145253.2

    申请日:2008-08-04

    CPC classification number: G03F7/2014 G03F1/50 G03F7/70375

    Abstract: 本发明提供了一种纳米图案化的方法和一种制造纳米压印母板和离散轨道磁记录介质的方法。该纳米图案化的方法包括以下步骤:(a)在基底上顺序地形成蚀刻目标材料层、光致抗蚀剂层和被图案化成第一图案的金属层,第一图案具有线图案以预定的间隔被重复布置的结构;(b)将光照射到金属层的表面上,以激发表面等离子体激元,使得光致抗蚀剂层通过表面等离子体激元被曝光成第二图案;(c)去除金属层并对光致抗蚀剂层进行显影;(d)利用被图案化成第二图案的光致抗蚀剂层作为掩模对蚀刻目标材料层进行蚀刻。

    位图介质、读头和硬盘驱动器

    公开(公告)号:CN101383158B

    公开(公告)日:2012-03-21

    申请号:CN200810098664.0

    申请日:2008-06-05

    Abstract: 本发明提供了一种具有超轨道的位图介质、一种读取记录在该位图介质上的数据的读头以及一种用于在该位图介质上记录数据/从该位图介质读取数据的硬盘驱动器(HDD)。该位图介质包括:基底;记录层,在基底上,形成有多个位单元,其中,位单元沿着形成具有不同半径的同心圆的多个轨道彼此分离,其中,每个轨道包括含有多个子轨道的超轨道,形成在子轨道中的一个上的位单元与形成在邻近的子轨道上的位单元沿着记录层的圆周方向布置在不同的位置。读取记录在位图介质上的数据的读头沿着横跨轨道方向的宽度足以读取与多个子轨道的数目相等的数目的位单元的数据。

    光盘驱动器的盖板
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1431662A

    公开(公告)日:2003-07-23

    申请号:CN02155735.7

    申请日:2002-12-09

    CPC classification number: G11B17/0284 G11B17/0285 G11B33/08 G11B33/1486

    Abstract: 本发明提供了一种用于减少光盘振动的光盘驱动器的盖板。该盖板被安装在光盘驱动器主框架的上方,并在其中心具有一个通孔,一用于夹持放置在一转台上的盘片的盘片夹通过该通孔配装,一凸起朝向盘片突出到预定高度,用于缩小和盘片之间的间隙。而且一环形台阶对着与盘片的外圆周对应的表面,以环形凹槽形状形成的,用于降低噪声的声能密度。以这种方式构成的盖板由于盘片和盖板间的间隙产生的空气减振效果,减少了盘片的振动,同时由于设置有突扩部分,降低了噪声。而且,该盖板可不需要独立的装置,通过简单地改变盖板的结构而实现。

Patent Agency Ranking