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公开(公告)号：CN105068386B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201510561426.9
申请日：2015-09-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种双工件台系统安全保护方法，它属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤一：在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM；二：多个多路运动控制卡中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机中的VME自定义总线从信号采集卡获取各电机的位置信息，并存放在相应的双口RAM内；三：嵌入式主控CPU板通过VME总线获取各多路运动控制卡内各电机的位置及位置误差信息；四：上位机通过以太网接收来自嵌入式主控CPU板的数据，并判断数据类型，当该数据为故障代码时，弹出对话框，提示用户出现故障，并显示故障代码。本发明基于VxWorks操作系统与VME总线工作，在系统某一机构发生故障时，利用软件使本机构和其他机构停止运行，保障了双工件台系统的安全运行。
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公开(公告)号：CN104019749B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410277186.5
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法，属于全物理仿真测量领域。所述测量装置由气路部分、垂向运动部分、测量部分和测量补偿部分构成。本发明气路部分通过调整气压补偿垂向重力，垂向运动部分通过控制运动直线电机带动伺服机构垂向运动，测量部分通过直线光栅测得未补偿前的位移，测量补偿部分通过控制补偿直线电机带动电容传感器基板运动到未补偿前的位移附近，通过使用激光干涉仪标定后的直线光栅，使电容传感器补偿直线光栅的测量误差。从而提高了测量装置的分辨率。相比于现有技术，本发明具有结构简单、控制方便的优点。
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公开(公告)号：CN105704500A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610153339.4
申请日：2016-03-17
Applicant: 哈尔滨工业大学(威海)
CPC classification number: H04N19/63 , H04L9/001 , H04N17/004
Abstract: 一种基于多种混沌的图像无损压缩加密联合算法，属于多媒体信息安全技术领域。本发明针对图像无损压缩算法SPIHT高安全性的需求，设计了一种基于多种混沌的图像无损压缩加密联合算法。该算法设计生成更为安全的不易被攻破的加密伪随机序列，并且通过设计局部扩散和整体置乱的方式对小波变换系数矩阵进行加密，并且在SPIHT编码进行的过程中，对排序扫描部分进行了多轮加密。理论分析和实验结果表明, 本发明算法加密速度快, 安全性高, 对压缩比影响小,同时做到了保持图片文件的无损性，具有广泛的应用前景和实用价值。
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公开(公告)号：CN103268381B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310203935.5
申请日：2013-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法，涉及一种双工件台半物理仿真方法。它是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它的方法为：用户向上位机操作系统中输入位置指令；上位机操作系统通过以太网将位置指令发送给VME工控机并进行解算；采用控制模型控制参数的整定，并控制电机模型工作和工作台数学模型运动；并同步将电机模型工作和工作台数学模型运动过程通过以太网发送回上位机操作系统；上位机操作系统通过动态链路库将电机模型工作和工作台数学模型运动过程发送给三维仿真模型；三维仿真模型将电机模型工作和工作台数学模型运动过程进行实时同步演示。本发明适用于双工件台半物理仿真。
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公开(公告)号：CN105182906A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510615768.4
申请日：2015-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/19
CPC classification number: G05B19/19
Abstract: 基于高阶S型运动轨迹的位置与速度控制方法，属于精密运动控制领域。为了解决利用传统的轨迹规划算法的位置与速度控制方法的可移植性差的问题。所述控制方法包括：一：根据第N阶S曲线的限定值求取第N阶S曲线在各分段点的值S(N)[k]；二：求取第k个分段点对应的时间值T[k]和第n阶S曲线在第k个分段点的值S(n)[k]；三：对确定T[k]和S(n)[k]的S曲线进行采样，获得规划后的N阶S型运动轨迹；四：根据规划后的N阶S型运动轨迹，利用位置的采样值、位置的第1阶导数的采样值分别对位置与速度进行控制。本发明用于运动机构位置与速度的控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105137717A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510474801.6
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于Compact Differential Evolution算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为导优的目标函数；步骤三：根据目标函数，利用Compact Differential Evolution优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
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公开(公告)号：CN105116843A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510405398.1
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
CPC classification number: G05B19/414
Abstract: 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。
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公开(公告)号：CN105068383A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510474811.X
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种微动台机械参数误差辨识方法，属于超精密制造领域。为了解决传统间接测量方法受固定参数和固定输入输出维数的限制的问题。本发明通过对微动台的建模，描述方程的建立，通过方程和近似解得一部分机械参数误差，最后引入紧凑式教学优化算法得到剩余其他的参数误差。使参数的测量不受测量的参数和需求参数的维数所限制，不受传统方法解算方程时参数矩阵不能为奇异矩阵的限制，误差参数的个数和需要测量的参数的个数不受限制，同时能满足控制所需的高精度。本发明用于光刻机。
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公开(公告)号：CN105005180A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510475149.X
申请日：2015-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于拨杆机构的双工件台换台自转装置，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的第一抓卡机构抓卡在第一环形座上，第二抓卡机构抓卡在第二环形座上，第一直线滑动轴承安装在第一上平台下端面上，第二直线滑动轴承安装在第二上平台下端面上；第一直线导杆的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器上，第二直线导杆的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器上；第一直线导杆的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承内，第二直线导杆的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承内。本发明将工件台自转的旋转运动转化为拨杆驱动器的直线运动，可以减小控制系统的设计难度；解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。
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公开(公告)号：CN104935218A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510405399.6
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P5/52
Abstract: 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。
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