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公开(公告)号:CN1780732B
公开(公告)日:2012-04-25
申请号:CN200480011500.X
申请日:2004-04-16
申请人: 飞思卡尔半导体公司
发明人: 安德鲁·C.·麦克尼尔 , 加里·李 , 加里·J.·奥'·布里恩
CPC分类号: B81B3/0078 , B81B2201/025 , G01P15/08 , G01P15/0802 , G01P15/0888 , G01P2015/0814 , Y10T428/24917
摘要: 本发明提供了一种用于MEMS器件的检测质量体(11)。该检测质量体包括:包括半导体材料的基体(13),以及至少一个通过杆(21)连接到所述基体的附属体(15)。附属体(15)包括金属(17)或者别的可以设置在半导体材料(19)上的材料。与只用半导体材料制成的类似尺寸的检测质量体相比,金属增加了检测质量体(11)的总质量,同时没有增加检测质量体的尺寸。同时,通过杆(21)连接附属体(15)防止了附属体中的CTE差异导致的、可能会导致温度误差的应力被传递到基体。
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公开(公告)号:CN102428348A
公开(公告)日:2012-04-25
申请号:CN201080018949.4
申请日:2010-04-27
申请人: 感应动力股份公司
发明人: H·哈默
IPC分类号: G01C19/5684 , G01P15/08
CPC分类号: G01C19/5712 , G01P15/08 , G01P15/0888
摘要: 一种具有一个衬底(2)和至少一个设置在衬底(2)上且相对衬底(2)运动的质量块的微机械传感器(1),用于感测基于同时所出现的加速力或科氏力引起的传感器(1)运动。所述质量块和衬底和/或两个相互运动的质量块通过至少一个弯曲弹簧装置(6)相互连接。该弯曲弹簧装置(6)具有弹簧臂(9)以及设置在其上的扭曲(Maeander)(10),该扭曲具有在扭曲内侧的曲率中心(MP1;MP6;MP8;MP9;MP11)和曲率半径(r1;r6;r8;r9;r11)的曲率圆(K1;K6;K8;K9;K11)。为减少出现的应力,所述扭曲(10)除具有内曲率中心(MP1;MP6;MP8;MP9;MP11)的曲率半径(r1;r6;r8;r9;r11)外,还有至少另外一个在扭曲(10)外侧的曲率中心(MP2;MP3;MP4;MP5;MP7;MP10)的曲率半径(r2;r3;r4;r5;r7;r10)。所述的至少另外一个曲率半径(r2;r3;r4;r5;r7;r10)设置在扭曲(10)和弹簧臂(9)之间。
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公开(公告)号:CN1780732A
公开(公告)日:2006-05-31
申请号:CN200480011500.X
申请日:2004-04-16
申请人: 飞思卡尔半导体公司
发明人: 安德鲁·C.·麦克尼尔 , 加里·李 , 加里·J.·奥''·布里恩
CPC分类号: B81B3/0078 , B81B2201/025 , G01P15/08 , G01P15/0802 , G01P15/0888 , G01P2015/0814 , Y10T428/24917
摘要: 本发明提供了一种用于MEMS器件的检测质量体(11)。该检测质量体包括:包括半导体材料的基体(13),以及至少一个通过杆(21)连接到所述基体的附属体(15)。附属体(15)包括金属(17)或者别的可以设置在半导体材料(19)上的材料。与只用半导体材料制成的类似尺寸的检测质量体相比,金属增加了检测质量体(11)的总质量,同时没有增加检测质量体的尺寸。同时,通过杆(21)连接附属体(15)防止了附属体中的CTE差异导致的、可能会导致温度误差的应力被传递到基体。
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公开(公告)号:CN104024144B
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:CN201280065850.9
申请日:2012-11-02
申请人: 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司
CPC分类号: G01P15/0888 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2201/0264 , B81B2201/0278 , B81C1/0023 , Y10T29/49002
摘要: 本发明涉及一种微机械元件(123a)、一种具有微机械元件(123a)的部件(100)和一种用于制造部件(100)的方法。在此,微机械元件(123a)具有多个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a),其中,通过第一单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第一物理测量参数,并且通过第二单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第二物理测量参数。
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公开(公告)号:CN105467150A
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201511035350.2
申请日:2015-12-29
申请人: 赵浩
CPC分类号: G01P3/465 , G01P15/0888
摘要: 一种同时测量旋转角速度、角加速度的便携式发电机,包括支架、铁心组件、磁钢组件、霍尔元件、输出绕组、轴承、紧固件和弹簧。其中支架设有铁心槽、挡板、安装孔和手柄;铁心组件为扇环形分体式结构,安装在支架铁心槽中,且各分体之间存在夹槽;磁钢组件和霍尔元件固定在铁心组件分体之间夹槽中,为交错式排放;铁心组件部分分体另设有绕组槽,输出绕组嵌放在铁心组件分体的绕组槽中:支架挡板设有轴承槽,轴承嵌放在槽中。本发明的一种同时测量旋转角速度、角加速度的便携式发电机,能够同时将旋转角速度和角加速度转化为正比例的电信号输出;结构简单,无旋转部件,动态响应特性好;无换向装置,信号引出方便,抗干扰能力强,线性误差小。
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公开(公告)号:CN104838275A
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN201380064812.6
申请日:2013-12-09
申请人: 株式会社村田制作所
CPC分类号: B81B3/0051 , B81B3/0021 , B81B2201/0235 , G01P15/0888 , G01P15/123 , H01L29/84
摘要: 本发明提供一种能同时实现宽检测频带和高S/N比的角加速度传感器以及加速度传感器。角加速度传感器(10)具有沿着X-Y面的平板面,包括:固定部(12)、锤部(13)、梁部(14)、以及压电电阻元件(15A~15D)。锤部(13)相对于固定部(12)被支承。梁部(14)沿着Y轴延伸,连接固定部(12)和锤部(13)。梁部(14)在X轴方向的宽度尺寸大于梁部(14)和固定部(12)的连接部中宽度方向的尺寸。
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公开(公告)号:CN102428348B
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201080018949.4
申请日:2010-04-27
申请人: 玛克西姆综合公司
发明人: H·哈默
IPC分类号: G01C19/5684 , G01P15/08
CPC分类号: G01C19/5712 , G01P15/08 , G01P15/0888
摘要: 一种具有一个衬底(2)和至少一个设置在衬底(2)上且相对衬底(2)运动的质量块的微机械传感器(1),用于感测基于同时所出现的加速力或科氏力引起的传感器(1)运动。所述质量块和衬底和/或两个相互运动的质量块通过至少一个弯曲弹簧装置(6)相互连接。该弯曲弹簧装置(6)具有弹簧臂(9)以及设置在其上的扭曲(Maeander)(10),该扭曲具有在扭曲内侧的曲率中心(MP1;MP6;MP8;MP9;MP11)和曲率半径(r1;r6;r8;r9;r11)的曲率圆(K1;K6;K8;K9;K11)。为减少出现的应力,所述扭曲(10)除具有内曲率中心(MP1;MP6;MP8;MP9;MP11)的曲率半径(r1;r6;r8;r9;r11)外,还有至少另外一个在扭曲(10)外侧的曲率中心(MP2;MP3;MP4;MP5;MP7;MP10)的曲率半径(r2;r3;r4;r5;r7;r10)。所述的至少另外一个曲率半径(r2;r3;r4;r5;r7;r10)设置在扭曲(10)和弹簧臂(9)之间。
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公开(公告)号:CN102510995A
公开(公告)日:2012-06-20
申请号:CN201080040181.0
申请日:2010-06-16
申请人: 丰田自动车株式会社
IPC分类号: G01C19/5733
CPC分类号: G01C19/574 , G01P3/22 , G01P15/0888 , G01P15/125 , G01P15/14 , G01P15/18 , G01P2015/0805
摘要: 本发明的复合传感器,具有:第一单元,其包括相互对称地配置且能够沿驱动方向及检测方向进行位移的第一及第二振动器;第二单元,其包括相互对称地配置且能够沿与所述驱动方向及所述检测方向相同的轴向进行位移的第三及第四振动器;驱动部,其驱动所述第一、第二、第三及第四振动器,以使所述第一及第二驱动件彼此、所述第三及第四振动器彼此以相互相反的相位进行振动,并使所述第一单元及所述第二单元彼此也以相互相反的相位进行振动;以及检测部,其检测所述第一、第二、第三及第四振动器的所述检测方向的位移。
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公开(公告)号:CN101443629A
公开(公告)日:2009-05-27
申请号:CN200780017009.1
申请日:2007-03-12
申请人: 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司
IPC分类号: G01C19/56
CPC分类号: G01C19/574 , G01C19/5712 , G01P15/0888 , Y10T29/49124
摘要: 一种具有联接梁的转速传感器(1)包括:至少一个基底(2),其中基底(2)的基面平行于笛卡尔坐标系的x-y平面取向;至少两个基本元件(9,10),所述基本元件分别具有框架(7,8)、将框架悬挂在基底上的悬挂装置、至少一个振动质量(3,4,5,6)和将振动质量悬挂在框架(7,8)上的悬挂装置(41,42),该转速传感器具有一个或多个用于驱动一个或多个基本元件的驱动装置和一个或多个读取装置(16),其中所述至少两个基本元件(9,10)通过至少一个联接梁(11,12,13,14)相互联接。
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公开(公告)号:CN1781660A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200510124284.6
申请日:2005-11-29
申请人: 发那科株式会社
CPC分类号: G01P7/00 , G01P15/0888 , Y10T74/20207
摘要: 本发明涉及使用检测旋转体角加速度的角加速度检测器的旋转轴控制装置。即使在除旋转运动的加速度外还想定并进运动的加速度的构成中也可不用角加速度传感器而只检测角加速度。在旋转体上,在同一半径上且在检测旋转的切线方向的加速度的方向上配置有两个加速度传感器,从它们检测的加速度X1、X2通过计算算出旋转的角加速度。
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