载流子寿命的测定方法以及测定装置

    公开(公告)号:CN103080730A

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN201180041790.2

    申请日:2011-02-15

    Inventor: Y·拉克鲁瓦

    Abstract: 本发明提供能够测定半导体等材料内的载流子寿命的载流子寿命的测定方法以及测定装置。针对由发光激光器发出的连续光通过激励侧的调制装置进行调制,生成其强度矩形波状地变化的激励光(14)并提供给半导体材料。针对半导体内的载流子被激励而通过再结合发出的冷光(24),通过受光侧的调制装置进行调制,从在激励时间内发出的光,分离在激励时间之后发生的衰减光(26)。该衰减光(26)包含材料内的载流子寿命的信息。衰减光(26)是在极其短的时间内得到的微细的光,所以在CCD元件的曝光时间内,积蓄多个衰减光(26)而探测。能够通过该探测光的强度得知载流子寿命。

    光生伏打电池制造
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103000756A

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN201210356786.1

    申请日:2008-09-01

    CPC classification number: G01N21/6489 G01N21/9501 G01N2021/8887 H01L31/18

    Abstract: 光生伏打电池制造。本发明公开了一种制造至少一个半导体光生伏打电池或模块以及用于对半导体材料进行分类的方法(300)。所述方法涉及到在所述制造工艺的多个阶段(312-324)当中的每一个阶段对晶片进行发光成像,以及把获得自关于相同晶片的所述成像步骤的至少两个图像进行比较以便识别出制造工艺引发的瑕疵的发生或增大。如果所识别出的工艺引发的瑕疵超出预定的可接受度水平,则从所述制造工艺(310)中移除(351-356)所述晶片,或者可以补救所述缺陷或者将所述晶片传递到其他制造工艺以匹配其特性。

    表面金属污染的检测方法
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1233030C

    公开(公告)日:2005-12-21

    申请号:CN01820190.3

    申请日:2001-10-05

    CPC classification number: G01N21/6489 G01N21/94 G01N21/9501

    Abstract: 本发明描述了一种检测晶片结构金属污染的方法,包括以下步骤:根据所探测的晶片结构的不同平面设定不同的激光波长;将所述结构或结构的一部分暴露于一所述激光器激发的激光束中;通过频率发生器使不同波长的激光与检测器同步;所述检测器以PL图的形式收集不同波长下所述结构发出的光;根据所述检测器收集的不同波长下所述结构发出的光判断所述结构的不同平面是否受到金属污染;没有受到金属污染的平面,所述结构所提供的PL亮度是均匀的;在受到金属污染的平面,出现PL亮度较大的区域。该方法可特别应用于在制产品质量控制或对如同互连之类的加工好的结构进行质量控制。

    半导体中的微缺陷的检测和分类

    公开(公告)号:CN1620601A

    公开(公告)日:2005-05-25

    申请号:CN02810537.0

    申请日:2002-03-27

    Inventor: V·希格斯

    CPC classification number: G01N21/6489 G01N21/55 G01N21/9501

    Abstract: 本发明描述了在硅或半导体结构中的缺陷检测和分类的方法和设备,特别使用室温光致发光效应对此结构中的缺陷检测和分类的方法和设备。该方法包括把一束高强度光束引至待测硅或半导体结构的样品的表面以产生光致发光图象;产生一反射光图象;把两个图象中的信息加以组合,以检测、标绘和识别硅或半导体结构中的微缺陷和/或说明其特征。

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