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公开(公告)号：CN102264281B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN200980152972.X
申请日：2009-12-18
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 广濑太
CPC classification number: G01B9/02027 , A61B3/102 , G01B9/02019 , G01B9/0203 , G01B9/02044 , G01B9/02091
Abstract: 提供了以下一种光学断层图像摄像设备：当对被检体的断层图像摄像时，能够监视由测量光束组相对于被检体的入射位置和入射角度所表示的入射状态，使该测量光束组在该被检体的预定位置处形成图像，并且高速获得断层图像。该光学断层图像摄像设备的特征在于：将从光源发射出的要分割的多个光束和从多个光源发射出的多个光束之一分割成测量光束组和参考光束组，并且该光学断层图像摄像设备包括用于获得被检体的监视图像的监视装置，由此能够监视由测量光束组相对于被检体的入射位置和入射角度所表示的入射状态。
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公开(公告)号：CN102353325B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201110206450.2
申请日：2011-07-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海微电子装备有限公司
CPC classification number: G01B9/02027 , G01B9/02007 , G01B9/02021 , G01B9/02056 , G01B2290/70
Abstract: 一种四轴4细分干涉仪，其构成包括在沿偏振正交双频激光入射方向依次排列的四轴分光模块和干涉模块。所述的四轴分光系统由3个50%平面分光镜和3个45°平面反射镜组成。本发明包括四轴4细分平镜干涉仪和四轴4细分差分干涉仪，在差分干涉仪中采用可调节45°反射镜将参考光引导到与测量镜同方向放置的固定在运动物体上的参考反射镜。本发明具有元件易加工、光路调节方便、温度漂移小、各路光束温漂一致、非线性误差低和光学效率高的优点。
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公开(公告)号：CN101360447B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN200680040980.1
申请日：2006-09-29
Applicant: 通用医疗公司
Inventor： 吉列尔莫·J·蒂尔尼 , 德维尔·叶林 , 布雷特·尤金·鲍马
CPC classification number: G01N33/4833 , A61B5/0062 , A61B5/0066 , A61B5/0068 , A61B5/0073 , A61B5/0075 , A61B5/0084 , A61B5/6852 , G01B9/02 , G01B9/02027 , G01B9/02049 , G01B9/02064 , G01B9/02087 , G01B9/02091 , G01B9/04 , G01N21/25 , G01N21/27 , G01N21/4795 , G01N21/6458 , G01N21/6486 , G01N23/046 , G01N2021/1765 , G01N2223/419 , G02B21/0028 , G02B23/2423 , G02B23/243 , G02B23/2461 , G02B23/2476
Abstract: 可以提供根据本发明的示例性实施方案的方法、设备和装置来获得与例如解剖结构的一部分的样本相关联的信息。可以使用第一数据和第二数据产生该信息，第一数据可以基于从样本上的位置获得的信号，第二数据可以通过组合从样本接收到的第二信号和第三基准信号来获得。还可以基于该信息产生样本的一部分的图像。例如，第一数据可以与光谱编码显微数据相关联，第二数据可以与光学相干断层扫描数据相关联。
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公开(公告)号：CN102695946A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201080048672.X
申请日：2010-10-26
Applicant: 斯汀格雷地球物理有限公司
Inventor： 爱德华·奥斯汀
CPC classification number: G01D5/26 , G01B9/02003 , G01B9/02014 , G01B9/02023 , G01B9/02027 , G01B11/02 , G01B2290/45 , G01D5/35303 , G01H9/004 , G01V1/16
Abstract: 本发明描述了用于对从光学传感器返回的光脉冲进行处理的方法和装置。其中将光脉冲施加给两个干涉仪布置，第一干涉仪简单地布置成将两个脉冲叠加并且检测第一生成值，并且另一个干涉仪布置成在将这两个脉冲叠加以便检测第二生成值以前施加大约π/2的相对相移。相对相移是通过移动这两个脉冲其中一个或两个的相位而施加的。将第一生成值和第二生成值进行相除以获得代表传感器状态的第三值。还描述了使用这种装置来处理返回脉冲的地震传感器阵列。
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公开(公告)号：CN102264279A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200980152988.0
申请日：2009-12-24
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: A61B3/102 , A61B5/0059 , A61B5/0066 , G01B9/02012 , G01B9/02019 , G01B9/02027 , G01B9/02044 , G01B9/02058 , G01B9/02091 , G01B2290/45 , G01N21/4795
Abstract: 提供了一种光学断层图像摄像设备，其在使用多个光的OCT设备的情况下，可以抑制分辨率和感光度等的偏差，并且可以减少用于使光学特性均衡的组件的数量以使得可以降低成本。该光学断层图像摄像设备用于获得被检体的断层图像，其包括：光学特性调整单元，用于调整均包括多个光的测量光、参考光和干涉光至少之一的光学特性。该光学特性调整单元由包括如下测量光的各组所共享，该测量光是包括多个光的测量光之中的、相对于照射光学系统的光轴的距离大致相同的测量光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1503059B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200310119662.2
申请日：2003-11-27
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： W·O·普里尔 , E·A·F·范德帕斯奇 , R·F·狄龙 , P·D·肯肖
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70958 , G01B9/02007 , G01B9/02014 , G01B9/02027 , G01B9/0207 , G01B9/02074 , G01B2290/45 , G01B2290/60 , G01B2290/70 , G03F7/70775 , G03F7/70883
Abstract: 光刻设备和制造器件的方法,由于大气条件的变化，诸如压力、温度和扰动，使用来自二次谐波干涉仪的测量来校正干涉测量系统的测量结果。在使用SHI数据以前，去除代表SHI数据与光路长度关系的匀变。该SHI可以使用无源Q开关激光器作为光源，可以在接收模块使用布儒斯特棱镜。可以使用光纤来将光引导到探测器。反射测量束的镜子具有这样的涂层，即其厚度选择为使SHI数据对涂层厚度的变化的敏感性最小化。
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公开(公告)号：CN100587470C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200510108382.0
申请日：2005-10-13
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01B9/02014 , A61B3/1225 , A61B5/0073 , A61B5/4041 , G01B9/02003 , G01B9/02027 , G01B9/02069 , G01B9/02091 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: 本发明提供一种光图像计测装置，可在短时间内进行包含双折射层的被测定物体的计测。该光图像计测装置包括输出被周期性强度调制的光束的宽频带光源、扩大光束径的透镜、将光束转换为直线偏光的偏光板、将光束分割为信号光和参照光的半透镜、将参照光转换为圆偏光的波长板、将朝向被测定物体的信号光形成圆偏光，将来自被测定物体的信号光形成直线偏光的波长板、使参照光进行频率位移的频率位移器、从参照光和信号光所生成的干涉光将偏光成分和偏光成分进行分离的偏光分光器、接受各偏光成分并输出含有其强度变化的信息的检测信号的、根据该强度变化的信息形成反映被测定物体的双折射的图像的信号处理部。
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公开(公告)号：CN100582740C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200510103420.3
申请日：2005-09-15
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01B9/02014 , G01B9/02003 , G01B9/02027 , G01B9/02069 , G01B9/02091 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: 本发明提供一种光图像计测装置，可利用更少的光传感器，有效地取得干涉光特别是交流成分。该光图像计测装置包括将来自宽频带光源(2)的光束转换为直线偏光的偏光板(3)、将光束分割为信号光(S)和参照光(R)的半透镜(6)、使参照镜(8)振动的压电元件(9)、将参照光(R)转换为圆偏光的波长板(7)、将利用半透镜(6)进行重叠的由信号光(S)和参照光(R)所生成的干涉光(L)的不同的2个偏光成分抽出的偏光分光器(11)、分别检测这2个偏光成分的CCD(21，22)、根据被检测的各偏光成分形成被测定物体(O)的图像的信号处理部(20)；光束的强度调制的频率与干涉光(L)的拍率同步，参照镜(8)的振动的频率与干涉光(L)的拍率同步，且其振幅小于等于干涉光(L)的波长。
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公开(公告)号：CN101087990A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200580044620.4
申请日：2005-12-14
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02021 , G01B9/02027 , G01B9/02028 , G01B11/06 , G01B11/306 , G01B2290/45
Abstract: 两个共用路径的干涉仪共享一个测量腔，用于测量不透明的测试部件的相反的侧面。在测试部件的一个侧面与第一干涉仪的参照面之间、在测试部件的另一个侧面与第二干涉仪的参照面之间、以及在第一和第二参照面之间，形成干涉图案。两个干涉仪的参照面之间的后一种测量使测试部件的相反侧面的测量能够彼此关联起来。
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公开(公告)号：CN1734253A
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN200510089128.0
申请日：2005-08-02
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01B9/02014 , G01B9/02003 , G01B9/02027 , G01B9/02069 , G01B9/02091 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70
Abstract: 本发明是有关于一种光图像计测装置及光图像计测方法。该光图像计测装置，可使检测灵敏度提高并有效地求取干涉光的信号强度和相位信息。该光图像计测装置包括输出被周期性强度调制的光束的宽频带光源(2)、将光束转换为直线偏光的偏光板(3)、将光束分割为信号光(S)和参照光(R)，并且使信号光(S)和参照光(R)进行重叠而生成干涉光(L)的半反射镜(6)、将参照光(R)转换为圆偏光的波长板(7)、利用使参照光(R)的频率进行位移的频率位移器(8)及压电元件(9A)而被移动的参照镜(9)、将干涉光(L)的(S)偏光成分(L1)和(P)偏光成分(L2)进行抽出的偏光分光器(11)、分别检测偏光成分(L1，L2)并输出检测信号的(CCD21，22)、根据该检测信号计算干涉光(L)的信号强度及相位的信号处理部(20)；且根据该计算结果而形成被测定物体(O)的图像。
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