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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101023567A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580031528.4
申请日：2005-09-20
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: H01S3/098
CPC classification number: H01S5/0687 , G01B9/02004 , G01B9/02057 , G01B9/02083 , G01B2290/60 , G01J9/02 , G01J2009/0292 , H01S5/0014 , H01S5/141 , H01S5/142
Abstract: 一种与离散光束频率可调谐激光器相关使用的模式监控系统提供可用于调节该激光器或与使用激光器相关联的其它处理的光学反馈。例如，频移干涉仪的频率可调谐源的输出可监控来支持更加精确的干涉数据的获取或处理。用于进行由测量光束不同部分传输通过的光程长度差的所需测量的第一干涉仪可联系于用于进行测量光束自身测量的第二干涉仪。附加干涉数据可根据本发明解释以提供光束频率和强度的测量。
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公开(公告)号：CN1692269A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN03823744.X
申请日：2003-07-28
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/06 , G01B9/02022 , G01B9/02025 , G01B9/02032 , G01B9/02084
Abstract: 通过修改成可区分含两种信息的重迭干涉图案的掠入角干涉仪，有关透射平面平行试样的平直度和厚度变化信息。改变干涉仪的掠射角，可识别重迭干涉图案内独特的局部干涉带强度的调制频率。基于不同干涉图案的局部干涉带强度可按其各自的调制频率区分。
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公开(公告)号：CN100523717C
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN03823744.X
申请日：2003-07-28
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/06 , G01B9/02022 , G01B9/02025 , G01B9/02032 , G01B9/02084
Abstract: 通过修改成可区分含两种信息的重迭干涉图案的掠入角干涉仪，有关透射平面平行试样的平直度和厚度变化信息。改变干涉仪的掠射角，可识别重迭干涉图案内独特的局部干涉带强度的调制频率。基于不同干涉图案的局部干涉带强度可按其各自的调制频率区分。
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公开(公告)号：CN101023567B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200580031528.4
申请日：2005-09-20
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: H01S3/098
CPC classification number: H01S5/0687 , G01B9/02004 , G01B9/02057 , G01B9/02083 , G01B2290/60 , G01J9/02 , G01J2009/0292 , H01S5/0014 , H01S5/141 , H01S5/142
Abstract: 一种与离散光束频率可调谐激光器相关使用的模式监控系统提供可用于调节该激光器或与使用激光器相关联的其它处理的光学反馈。例如，频移干涉仪的频率可调谐源的输出可监控来支持更加精确的干涉数据的获取或处理。用于进行由测量光束不同部分传输通过的光程长度差的所需测量的第一干涉仪可联系于用于进行测量光束自身测量的第二干涉仪。附加干涉数据可根据本发明解释以提供光束频率和强度的测量。
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公开(公告)号：CN101087990A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200580044620.4
申请日：2005-12-14
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02021 , G01B9/02027 , G01B9/02028 , G01B11/06 , G01B11/306 , G01B2290/45
Abstract: 两个共用路径的干涉仪共享一个测量腔，用于测量不透明的测试部件的相反的侧面。在测试部件的一个侧面与第一干涉仪的参照面之间、在测试部件的另一个侧面与第二干涉仪的参照面之间、以及在第一和第二参照面之间，形成干涉图案。两个干涉仪的参照面之间的后一种测量使测试部件的相反侧面的测量能够彼此关联起来。
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