公开(公告)号：CN105928455A

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201610343225.6

申请日：2016-05-20

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  朱文华 ,  郑东晖 ,  孟诗 ,  孙沁园 ,  张瑞 ,  韩志刚 ,  乌兰图雅 ,  何勇 ,  王青

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02

CPC classification number: G01B9/02 ,  G01B9/02025 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0234 ,  G01J2009/0292

Abstract: 本发明公开了一种空间分光同轴斐索型同步移相干涉仪及其测量方法，属于光学干涉测量仪器领域。该干涉仪包括点光源及其分光组件、斐索型主干涉仪和分光成像组件。方法为：点光源发出的球面波经分光组件分成四束后进入主干涉仪，采用分光组件将一个点光源复制成相同的四个，通过调整四个点光源在主干涉仪准直物镜焦面上与光轴的距离，在参考面与测试面的干涉中引入不同的相移量，然后通过分光成像组件在一个CCD上同时获取四幅成像清晰的相移干涉图。本发明具有成本低、抗震性好、易于操作等特点，可以用于光学元件的实时高精度检测等领域。

公开(公告)号：CN101023567B

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200580031528.4

申请日：2005-09-20

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： T·J·邓恩 ,  N·O·法米加 ,  A·W·库拉维克 ,  J·C·马龙

IPC: H01S3/098

CPC classification number: H01S5/0687 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02083 ,  G01B2290/60 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0292 ,  H01S5/0014 ,  H01S5/141 ,  H01S5/142

Abstract: 一种与离散光束频率可调谐激光器相关使用的模式监控系统提供可用于调节该激光器或与使用激光器相关联的其它处理的光学反馈。例如，频移干涉仪的频率可调谐源的输出可监控来支持更加精确的干涉数据的获取或处理。用于进行由测量光束不同部分传输通过的光程长度差的所需测量的第一干涉仪可联系于用于进行测量光束自身测量的第二干涉仪。附加干涉数据可根据本发明解释以提供光束频率和强度的测量。

公开(公告)号：CN100552375C

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200580047333.9

申请日：2005-01-27

Applicant: 4D技术公司

Inventor： 詹姆士·E·弥尔勒德 ,  詹姆士·C·怀恩特

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01B9/02032 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02065 ,  G01B9/0209 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0292

Abstract: 利用斐索干涉仪的参考和测试镜(24，26)之间的倾斜关系以在空间上分离来自两个表面的反射(R，T)。分离的光束(R，T)通过为该光束提供不同的偏振状态的空间偏振元件(32)而得到过滤。该光束(R，T)随后被重新结合以形成大体共线的光束，该共线光束利用允许在单个视频帧中进行定量的相位测量的空间相位干涉仪(44)得到处理。可选地，具有正交偏振的两个光束(104，106)在不同的角度射入斐索腔(20)，使得它们在从参考和测试镜片(24，26)反射之后大体共线。不需要的反射通过使用圆孔(112)在焦平面上被阻断。短相干长度的光和延迟线(84)可以用于减轻散射、减少测量积分次数且进行暂时相位平均。

公开(公告)号：CN100447524C

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200510103631.7

申请日：2005-09-06

Applicant: 富士能株式会社

Inventor： 植木伸明

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02058 ,  G01B9/02057 ,  G01J3/0213 ,  G01J2009/0292

Abstract: 在干涉仪的基准面和被检测面之间配置光量比调节滤光片(112)。该光量比调节滤光片(112)，是在由玻璃构成的透明基板的被测体(117)侧的面上，设置包括光反射吸收层(12a)和电介体防止反射层(12b)的光量比调节膜(12)，而在基准面(116a)侧的面上设置防止光反射层(13)，其作用是相对于从基准面对置面侧入射的入射光，反射其部分、吸收其部分之后将其余下部分向被测体(117)射出，另外，相对于从被测体(117)返回的返回光，吸收其部分、另方面抑制反射、将剩余作为被检测光向基准面(116a)方向射出。

公开(公告)号：CN101111739A

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200580047333.9

申请日：2005-01-27

Applicant: 4D技术公司

Inventor： 詹姆士·E·弥尔勒德 ,  詹姆士·C·怀恩特

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01B9/02032 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02065 ,  G01B9/0209 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0292

Abstract: 利用斐索干涉仪的参考和测试镜(24，26)之间的倾斜关系以在空间上分离来自两个表面的反射(R，T)。分离的光束(R，T)通过为该光束提供不同的偏振状态的空间偏振元件(32)而得到过滤。该光束(R，T)随后被重新结合以形成大体共线的光束，该共线光束利用允许在单个视频帧中进行定量的相位测量的空间相位干涉仪(44)得到处理。可选地，具有正交偏振的两个光束(104，106)在不同的角度射入斐索腔(20)，使得它们在从参考和测试镜片(24，26)反射之后大体共线。不需要的反射通过使用圆孔(112)在焦平面上被阻断。短相干长度的光和延迟线(84)可以用于减轻散射、减少测量积分次数且进行暂时相位平均。

公开(公告)号：CN101023567A

公开(公告)日：2007-08-22

申请号：CN200580031528.4

申请日：2005-09-20

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： T·J·邓恩 ,  N·O·法米加 ,  A·W·库拉维克 ,  J·C·马龙

IPC: H01S3/098

CPC classification number: H01S5/0687 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02083 ,  G01B2290/60 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0292 ,  H01S5/0014 ,  H01S5/141 ,  H01S5/142

Abstract: 一种与离散光束频率可调谐激光器相关使用的模式监控系统提供可用于调节该激光器或与使用激光器相关联的其它处理的光学反馈。例如，频移干涉仪的频率可调谐源的输出可监控来支持更加精确的干涉数据的获取或处理。用于进行由测量光束不同部分传输通过的光程长度差的所需测量的第一干涉仪可联系于用于进行测量光束自身测量的第二干涉仪。附加干涉数据可根据本发明解释以提供光束频率和强度的测量。

公开(公告)号：CN1752712A

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN200510103631.7

申请日：2005-09-06

Applicant: 富士能株式会社

Inventor： 植木伸明

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02058 ,  G01B9/02057 ,  G01J3/0213 ,  G01J2009/0292

Abstract: 在干涉仪的基准面和被检测面之间配置光量比调节滤光片(112)。该光量比调节滤光片(112)，是在由玻璃构成的透明基板的被测体(117)侧的面上，设置包括光反射吸收层(12a)和电介体防止反射层(12b)的光量比调节膜(12)，而在基准面(116a)侧的面上设置防止光反射层(13)，其作用是相对于从基准面对置面侧入射的入射光，反射其部分、吸收剩余部分之后将其余下部分向被测体(117)射出，另外，相对于从被测体(117)返回的返回光，吸收其部分、另方面抑制反射、将剩余作为被检测光向基准面(116a)方向射出。