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公开(公告)号：CN1743792A
公开(公告)日：2006-03-08
申请号：CN200510095976.2
申请日：2005-08-29
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 植木伸明
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明涉及一种假想接面测定用的干涉仪装置，在具有分别位于相互平行的不同假想面上形成的多种小被测面的被测体上，利用低相干性的测定光的同时、调整各小被测面的光检测面上的像的形成状态，而容易且高精密度地测定各小被测面的对于高度方向的同一平面性。其中，光源为低相干性光源，通过调整光程，而在第一测定时，使来自各金属布线的上面的反射光和来自基准面的反射光相干涉；在第二测定时，使来自各导电层小区域面的反射光和来自基准面的发射光相干涉。光检测面被分割为多个检测单位区域，根据按每个检测单位区域平均化而被检测的各光强度，获取与各金属布线的上面或各导电层小区域面相接的第一或第二假想接面的整体形状对应的干涉纹信息。
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公开(公告)号：CN100432620C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200610092537.0
申请日：2006-06-15
Applicant: 富士能株式会社
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01N21/45 , G01B11/0675
Abstract: 本发明公开一种动体测定用干涉仪装置以及动体测定用光干涉测量方法，所述干涉仪装置具备：同步信号生成部(43)，其将瞬间的摄像期间设定为包含于摄像面(33)的光接受容许期间内；AOM(13)和AOM驱动器(14)，所述AOM用于使从半导体激光光源(11)出射的测定用光束，仅在该瞬间的摄像期间照射被检测体(7)。摄像机(32)，根据在瞬间的摄像期间由摄像面(33)所接受的干涉光，得到载持了该瞬间的摄像期间的被检测体(7)的相位信息的干涉条纹图像信息。从而，能够对成为测定对象的部分顺次移动的那样的被检测体，进行光干涉测量。
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公开(公告)号：CN101275826A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810086521.8
申请日：2008-03-14
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 植木伸明
CPC classification number: G01M11/0271 , G01M11/0221
Abstract: 本发明提供一种将所制造的非球面透镜上产生的面偏移在与面斜倾分离下可高精度地测量的非球面透镜的面偏移测量方法及装置。通过计算机仿真求出被检测透镜(1)的面斜倾和面斜倾分彗差之间的关系、及被检测透镜(1)的面偏移和面偏移分彗差之间的关系。而且，通过突出部(3)的透过波前测量而求出被检测透镜(1)的面斜倾，且通过透镜部(2)的透过波前测量而求出被检测透镜(1)的彗差。通过从该彗差减去面斜倾分彗差，算出起因于面偏移的面偏移分彗差，根据该面偏移分彗差，算出被检测透镜(1)的面偏移。
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公开(公告)号：CN1273798C
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200410037274.4
申请日：2004-04-30
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 植木伸明
Abstract: 本发明是关于一种路径匹配路径型干涉仪装置，其藉由在路径匹配路径部设置发光强度调整光学系统，可依据被检测面的反射率的不同，简便地从光学上对干涉条纹的对比度进行调整。发光强度调整光学系统藉由将以旋转轴为中心大致在同心圆上配置的，光透过率彼此不同的3个ND滤光器中的1个，有选择地进行转换并使其位于路径匹配路径部的第1路径上，可对分别通过第1路径及第2路径的两个光束的各发光强度的比率进行调整。补偿光学系统藉由在第2路径上插入折射率及厚度被设定得与ND滤光器大致相同的补偿板，可对在ND滤光器被插入时和被拔出时进行变化的两个路径的光路长度差进行补偿。
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公开(公告)号：CN101126627A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200710142639.3
申请日：2007-08-20
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 植木伸明
Abstract: 本发明提供一种光波干涉测定装置及光波干涉测定方法，其中设置：基于来自被检测透镜(1)反射光的第1干涉条纹图像特定被检测透镜(1)的整体中心位置的机构、以被检测透镜(1)和基准球面反射镜(7)的各光轴互相成为平行的方式进行调整的机构、调整被检测透镜(1)和基准球面反射镜(7)的相对位置的机构、根据基于透镜部(2)的透过光的第2干涉条纹图像而调整被检测透镜(1)和基准球面反射镜(7)的相对位置的机构。从而，对于观察不到由来自透镜部表面的反射光产生的光标识的被检测透镜，也可以高精度自动调整该被检测透镜的光轴和基准球面的光轴的偏离，进而能够获得稳定的测定结果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1932432A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200610153659.6
申请日：2006-09-12
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 植木伸明
Abstract: 本发明提供一种光波干涉装置，其具有被检测透镜的定位装置，其中，可自动调节被检测透镜的光轴和基准球面反射镜的光轴的平行偏移，可将被检测透镜的光波干涉测定自动化。观察基于来自被检测透镜(1)的表面的所述测定用光束的反射光的亮点，运算观察画面上的该亮点的像位置，同时运算使测定的该亮点的像移动到观察画面上的规定的基准位置所需要的基准球面反射镜(7)的移动量，基于该运算的移动量进行基准球面反射镜(7)的驱动控制，在光波干涉测定观察画面上自动调节被检测透镜(1)的光轴和基准球面反射镜(7)的光轴的平行偏移。
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公开(公告)号：CN1294402C
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200410058318.1
申请日：2004-08-10
Applicant: 富士能株式会社
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明是关于一种光源输出的稳定化方法，算出得到的干涉条纹图像的调制值，在该值在阈值以下的情况下，通过每次微小量地变化LD的注入电流直至该值超过阈值，在由于模式跳跃现象导致干涉条纹对比度低下的情况下也能使对比度迅速恢复到良好的状态，稳定地进行被测体的自动干涉测定。取得被测体的干涉条纹图像(S1)，解析取得的干涉条纹图像，算出每个像素的调制值γ(S2)，判断调制值γ超过规定阈值的像素是否在规定数(规定比例)以上(S3)。如果判断结果是在规定数以上，则进行通常的干涉条纹图像解析处理例程(S4)，另一方面，如果判断的结果是未达到规定数，则使LD11的注入电流仅变化规定的微小量(S5)。之后，返回步骤1(S1)，反复进行上述一连串处理。
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公开(公告)号：CN1281917C
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200410069067.7
申请日：2004-07-19
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 植木伸明
Abstract: 本发明是关于一种干涉计装置，可以通过在路径匹配路径部处，设置有使通过两条路径的光束相位差变化并可以实施干涉条纹扫描的相位差可变更单元，形成不易受到外部振动影响的基准板支撑机构，且可以使制造成本低廉。其中的光路长度变更部30，可以将两个全反射镜23、24固定设置在托板部件31上，通过驱动安装在该托板部件31上的压电元件14，可以使全反射镜23、24整体沿箭头A所示方向往复移动，从而改变通过两条路径的光束间的相位差。压电元件14可以由作为驱动单元的压电元件驱动部分16实施驱动。压电元件驱动部分16可以因应与计算机11出的控制信号从载物台控制部分15输出，依据压电元件输出信号将预定的驱动电压施加在压电元件14上。
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公开(公告)号：CN1932432B
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200610153659.6
申请日：2006-09-12
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 植木伸明
Abstract: 本发明提供一种光波干涉装置，其具有被检测透镜的定位装置，其中，可自动调节被检测透镜的光轴和基准球面反射镜的光轴的平行偏移，可将被检测透镜的光波干涉测定自动化。观察基于来自被检测透镜(1)的表面的所述测定用光束的反射光的亮点，运算观察画面上的该亮点的像位置，同时运算使测定的该亮点的像移动到观察画面上的规定的基准位置所需要的基准球面反射镜(7)的移动量，基于该运算的移动量进行基准球面反射镜(7)的驱动控制，在光波干涉测定观察画面上自动调节被检测透镜(1)的光轴和基准球面反射镜(7)的光轴的平行偏移。
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公开(公告)号：CN100447524C
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200510103631.7
申请日：2005-09-06
Applicant: 富士能株式会社
Inventor： 植木伸明
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02058 , G01B9/02057 , G01J3/0213 , G01J2009/0292
Abstract: 在干涉仪的基准面和被检测面之间配置光量比调节滤光片(112)。该光量比调节滤光片(112)，是在由玻璃构成的透明基板的被测体(117)侧的面上，设置包括光反射吸收层(12a)和电介体防止反射层(12b)的光量比调节膜(12)，而在基准面(116a)侧的面上设置防止光反射层(13)，其作用是相对于从基准面对置面侧入射的入射光，反射其部分、吸收其部分之后将其余下部分向被测体(117)射出，另外，相对于从被测体(117)返回的返回光，吸收其部分、另方面抑制反射、将剩余作为被检测光向基准面(116a)方向射出。
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