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公开(公告)号：CN117828262A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311807938.X
申请日：2023-12-26
申请人： 南京理工大学 , 南京英特飞光电技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于最小区域的光学表面平面度误差计算方法，包括以下步骤：使用光学轮廓仪扫描获取光学件表面的数据点集；由这些点集计算出最小二乘平面，并确定两个初始迭代点和上、下包含平面；以这两个点确定包含平面的旋转轴和搜索区域，遍历搜索第三个迭代点；若这三个点满足直线判别准则，则直接计算最终结果；不满足则再由三个迭代点确定包含平面的旋转轴和搜索区域，搜索第四个迭代点；若四个点不满足最小区域判别准则，则去掉一个迭代点回到上一步继续迭代；最后计算出上、下包含平面的距离即为最终的平面度误差。本发明使用最小二乘平面出发，省去了大量的前期计算，且通过选择搜索区域减少了无效计算，使得整体计算能够更快的收敛。
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公开(公告)号：CN117685903A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311822192.X
申请日：2023-12-27
申请人： 南京理工大学 , 南京英特飞光电技术有限公司
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02055
摘要： 本发明公开了一种消除系统误差的掠入射星形拼接检测方法。本发明使用掠入射干涉检测设备得到被测元件表面子孔径压缩相位数据，分别对子孔径相位数据进行解压缩，得到子孔径解压相位数据。基于互为垂直方向的两个子孔径解压相位数据重叠区域的相位值，计算得到“方向x”与“方向y”的系统像散光圈PowerX和PowerY。再对子孔径解压相位数据进行扣除系统像散光圈与位姿校正操作，最终利用拼接融合算法得到被测件全口径面形。本发明实现了掠入射干涉测量拼接过程中系统像散光圈的消除，降低了掠入射干涉测量系统装调精度的要求，极大地提高了掠入射干涉测量拼接结果精度。
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公开(公告)号：CN113091634B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202110223278.5
申请日：2021-03-01
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明公开了一种适用于白光扫描干涉的微观形貌快速测量方法，该算法通过上位机软件程序控制压电陶瓷按照微步距在一定扫描长度内进行时序垂直扫描，每移动一步采集存储1幅干涉图到计算机，对存储的时序干涉图进行自适应中值滤波处理。采用超对称搜索法找出时序干涉图中每个像素点光强最大值的位置，并记录该位置处所在的干涉图帧数，根据相关公式初步计算形貌的高度信息。利用七步相移算法提取干涉条纹的相位信息，结合初步计算的结果，并依据相关公式解包裹精确恢复被测样品微观形貌。本发明解决了相移算法中噪声奇点干扰和相邻像素点相位变化不能超过2π的问题，并有效减少扫描误差带来的影响，同时具有测量精度高、算法简单、适用性强等特点。
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公开(公告)号：CN111235874A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201811430964.4
申请日：2018-11-28
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： D06M11/83 , D06M10/00 , D04H1/728 , D04H1/4309 , G01N21/65 , D06M101/24
摘要： 本发明公开了一种聚乙烯醇/银复合表面增强拉曼基底的制备方法。所述方法利用静电纺丝技术制备聚乙烯醇纺丝膜，然后对其进行热处理，最后，浸泡硝酸银溶液后通过原位化学还原方法，在聚乙烯醇纺丝膜表面形成一层粒径均一、排列致密的银纳米颗粒，制备出聚乙烯醇/银复合表面增强拉曼基底。本发明的复合表面增强拉曼基底中的聚乙烯醇纺丝膜经过热处理后由极易溶于水变成难溶于水，克服了其难以在水中进行应用的难点，且复合基底材料对探针分子亚甲基蓝具有很好的拉曼增强效果，不会对测定造成任何干扰，重复性好，过程可控，灵敏度高，成本低廉。
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公开(公告)号：CN105928455B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201610343225.6
申请日：2016-05-20
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明公开了一种空间分光同轴斐索型同步移相干涉仪及其测量方法，属于光学干涉测量仪器领域。该干涉仪包括点光源及其分光组件、斐索型主干涉仪和分光成像组件。方法为：点光源发出的球面波经分光组件分成四束后进入主干涉仪，采用分光组件将一个点光源复制成相同的四个，通过调整四个点光源在主干涉仪准直物镜焦面上与光轴的距离，在参考面与测试面的干涉中引入不同的相移量，然后通过分光成像组件在一个CCD上同时获取四幅成像清晰的相移干涉图。本发明具有成本低、抗震性好、易于操作等特点，可以用于光学元件的实时高精度检测等领域。
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公开(公告)号：CN107271403A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201610213507.4
申请日：2016-04-07
申请人： 南京理工大学
CPC分类号： G01N21/47 , G01M11/02 , G01N2201/06113
摘要： 本发明公开了一种基于光散射的光学薄膜LIDT测试装置，包括共光轴依次设置脉冲激光器、半波片、格兰-泰勒棱镜、会聚透镜和待测样品，其所在的光轴为脉冲击打光轴；还包括构成共光轴测试光路的半导体激光器、扩束镜和孔径光阑，其所在的光轴为测试光轴，测试光轴与脉冲击打光轴存在夹角α，半导体激光器发出测试光，经扩束镜和孔径光阑后，射到待测样品前表面，经待测样品前表面散射，被CCD探测器接收；脉冲激光器发出的脉冲激光经半波片至格兰-泰勒棱镜，经格兰-泰勒棱镜反射和透射，透射光经会聚透镜会聚至待测样品。本发明更加稳定和高效，且适合在光学工厂中使用和搭建，成本低廉，操作简便。
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公开(公告)号：CN103063413B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201210566110.5
申请日：2012-12-24
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明是一种基于泰伯-莫尔条纹技术的一体化长焦距测量装置，包括激光器、非球面准直物镜、一面增透一面增反透镜、平面反射镜、半反半透镜、泰伯干涉仪、成像透镜、第一CCD、对点系统和待测长焦距透镜；泰伯干涉仪包括第一光栅、第二光栅、第一散射板，对点系统包括会聚透镜、第二散射板、第二CCD；待测长焦距透镜未放入时，利用对点系统调整系统光轴一致；然后将第一CCD采集到的莫尔条纹L1输入到计算机；放入待测长焦距透镜，再次通过第一CCD采集包含焦距信息的莫尔条纹L2并输入到计算机；利用计算机求得莫尔条纹L1和莫尔条纹L2的夹角进而求得待测透镜的焦距f。本装置设计有对点系统，确保系统光轴的一致性，可以实现高精度的长焦距测量。
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公开(公告)号：CN104634459A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201310548644.X
申请日：2013-11-07
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明提供相移及相倾可切换双模式干涉测量装置及方法，涉及光干涉计量测试领域，方法步骤为：首先，在干涉仪的参考镜处安装位移调整装置，可对参考镜进行平移或者倾斜调整。其次，干涉仪采用相移和相倾测试两种模式。在相移测试模式下，位移调整装置对参考镜位置进行等间隔平移调整，得到四幅相移干涉图，每一幅干涉图的相移量均为，干涉仪探测接收干涉图，并将其传入计算机，利用四步相移算法恢复待测件的被测相位；在相倾测试模式下，位移调整装置对参考镜进行推进以及倾斜调整，干涉仪探测接收大于6幅干涉图，并将其传入计算机，通过相倾干涉算法恢复待测件的被测相位。本发明结构简单，可在振动测量环境下得到高精度的干涉测量信息。
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公开(公告)号：CN103063414A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210566224.X
申请日：2012-12-24
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种采用对称光栅的焦距测量装置，包括在同一光轴上顺次放置的激光器、准直扩束镜、待测透镜、第一光栅、第二光栅、接收屏、成像物镜、CCD相机，其中第二光栅为对称光栅；放入待测透镜前，激光器发出的激光经过准直扩束镜形成准直光，入射到待测透镜上，再经第一光栅，在第二光栅处形成泰伯像，与第二光栅叠加得到莫尔条纹，形成的莫尔条纹被接收屏接收，再经过成像物镜成像于CCD相机，此时接收到的图像记为莫尔条纹L1，放入待测透镜后接收到的图像记为莫尔条纹L2，计算莫尔条纹L1与莫尔条纹L2的夹角就可以得到被测系统的焦距。本发明结构简单、精度高、易于实现，可以用于长焦距系统的精确测量。
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公开(公告)号：CN102175332B
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN201110023740.3
申请日：2011-01-21
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明提供一种从含有移相误差的干涉图中恢复相位的方法。本发明使用通用的移相干涉仪测试被测件，在干涉图中引入线性载频，操作干涉仪采集到一组移相干涉图；对移相干涉图上的数据进行重新排列得到一幅新图像并对其进行快速傅里叶变换得到其频谱，之后对频谱进行滤波，即得到相位谱并排除了误差。对相位谱进行反傅里叶变换后，通过反正切计算和解包裹运算得到扩展的恢复相位，将扩展相位恢复到原始大小后，即可以得到被测相位。本发明从少量（例如四幅）移相干涉图中即能够排除移相量误差造成的影响，恢复出准确的被测相位，以实现在非理想的测试环境和仪器条件下提升移相干涉仪测量精度的目的。
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