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公开(公告)号：CN115598147B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202211210646.3
申请日：2022-09-30
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01N21/952 , G01N21/954 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于白光显微干涉技术的微球内外表面缺陷检测装置及方法，将白光干涉技术与Linnik型显微干涉技术相结合，装置包括光源模块、光程匹配模块、显微干涉模块以及图像采集模块。白光光源经过偏振片变为线偏振光后进入光程匹配模块，产生带有一定光程差的偏振方向正交的光进入零位显微干涉模块，经参考镜和微球分别反射后，通过移动光程匹配模块中的位移台来匹配测试光路和参考光路的光程差，最终在相机上获得干涉图。本发明提出的装置能够有效解决激光干涉技术中缺陷跃变处的2π整数倍相位缺失问题，实现全视场的微球零位干涉测量，通过光程匹配模块实现不同直径微球以及微球内外表面的表面缺陷绝对高度测量，从而获取其表面缺陷信息。
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公开(公告)号：CN111273453B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202010024391.6
申请日：2020-01-10
Applicant: 南京理工大学
IPC: G02B27/28
Abstract: 本发明公开了一种基于偏振复用的大视场成像装置及方法，装置包括覆盖目标视场的N个光通道，以及接收所有光通道出射光的同轴依次设置的成像物镜和偏振相机，所有光通道的出射光均为线偏振光。方法包括：来自目标的不同方向的光束分别入射至N个光通道，产生N束线偏振光；N束线偏振光同时入射至成像物镜，成像至偏振相机形成偏振复用的视场目标信息；从偏振复用的视场目标信息中采集N束线偏振光的强度，之后通过偏振解复用处理方法解算出N个光通道中线偏振光的强度。本发明通过多组平面反射镜与偏振相机相结合的形式进行目标偏振成像，能够实现超大视场角成像与目标信息采集，具有结构紧凑、复杂度低、成像视场角大、成像质量好等优点。
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公开(公告)号：CN110631509B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201910959298.1
申请日：2019-10-10
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种基于光栅泰伯像的物体表面曲率检测系统及方法，该方法使用准直光垂直入射一朗奇光栅，透射的光线经过分束镜之后在被测物体表面呈现光栅清晰的泰伯像，反射光能在特定位置呈现含有被测物体表面曲率信息的光栅泰伯像，使用ccd采集该泰伯像，根据采集到的泰伯像计算被测物体表面曲率。本发明具有装置简单、成本低廉、抗干扰能力强、应用范围广等优点。
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公开(公告)号：CN111121664A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911312955.X
申请日：2019-12-18
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种类干涉镜面面型检测方法，将相机、显示器设置在载物台上方，使得显示器能的图像能投影到载物台且相机能够拍摄到投影图像，通过角点检测、平面标定法获取相机以及显示器的空间位置；将待测镜放置在载物台上，由显示器投影正交方向的周期条纹图，并用相机拍摄待测镜中变形的条纹图，通过四步移相算法和倍频全局相位求解算法解算全局相位分布；根据全局相位分布得到梯度数据并运用傅里叶变换积分法处理梯度数据得到重建面型，并对重建面型进行优化，得到最终测量面型。本发明无须预知面形来解决矢高不确定性，同时保证面型测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110631509A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910959298.1
申请日：2019-10-10
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种基于光栅泰伯像的物体表面曲率检测系统及方法，该方法使用准直光垂直入射一朗奇光栅，透射的光线经过分束镜之后在被测物体表面呈现光栅清晰的泰伯像，反射光能在特定位置呈现含有被测物体表面曲率信息的光栅泰伯像，使用ccd采集该泰伯像，根据采集到的泰伯像计算被测物体表面曲率。本发明具有装置简单、成本低廉、抗干扰能力强、应用范围广等优点。
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公开(公告)号：CN110017794A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201910285634.9
申请日：2019-04-10
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种动态相位变形干涉测量装置及方法，该装置包括：用于产生一对正交偏振光的泰曼-格林式干涉测量系统，用于产生参考光的参考光路，用于产生测试光的测试光路，用于对参考光和测试光分别进行分束，获得两对参考光和测试光的分光系统，用于对某一对参考光和测试光附加载频的载频环路系统，用于实现另一对参考光和测试光至成像系统的光程与所述某一对参考光和测试光经载频环路系统至成像系统的光程相同的测试环路系统，用于获取干涉信息，并对被测件成像的成像系统。本发明能有效降低环境振动和大气湍流对波前测量的影响，且具有系统复杂度低、测量速度快等优点，可有效用于复杂环境下对光学面形的高精度测量。
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公开(公告)号：CN107024774A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201610071425.0
申请日：2016-02-01
Applicant: 南京理工大学
CPC classification number: G02B27/106 , G02B27/286
Abstract: 本发明公开了一种四束分光的等光程分光棱镜组装置，包括λ/4波片、三个分光棱镜组、偏振阵列和探测器。每个分光棱镜组均由三个三角棱镜胶合而成，可将一束入射光等光程地分为两束出射光。三个分光棱镜组组合后，可将经过λ/4波片后的一束正交的圆偏光分为四束相同的光，经偏振阵列移相，成像在探测器上形成四幅干涉图像。本发明利用特殊设计的分光棱镜组对入射光进行等光程地分光，可达到很高的光能利用率。且四束出射光均平行于光轴，无需再利用其他光学元件准直，所以位置匹配精度很高。
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公开(公告)号：CN103063304B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201210563015.X
申请日：2012-12-21
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明提供一种色散剪切像面干涉超光谱成像装置及方法，该装置包括沿光路方向依次放置的前置光学系统、Sagnac色散剪切分束系统、成像系统和信号处理系统。来自目标各点的入射光进入前置光学系统，确定目标视场，消除杂散光并形成准直光束；进入Sagnac色散剪切分束系统被横向剪切一分为二，形成剪切距离随波数变化的两束光；进入成像系统，在成像物镜后焦面处的探测器靶面上得到携带有干涉信息的目标图像；推扫探测目标以获取目标各点不同光程差下的干涉信息；信号处理系统对干涉信息进行傅里叶变换获取目标各点的光谱信息及各个谱段的二维图像信息；该方法具有超光谱分辨率、高光通量、高目标分辨率等优点。
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公开(公告)号：CN104931234A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201410098097.4
申请日：2014-03-17
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种精确标定波片和偏振片夹角的装置及标定方法，该方法是基于偏振成像实验中，目标场景的光强信息和偏振器件的方向角之间的傅里叶级数关系，包括一个可旋转的线偏振片和偏振成像装置。可旋转的线偏振片由步进电机带动旋转；偏振成像装置由一个可旋转的相位延迟器和一个固定的线偏振片组成。待测目标光束入射到线偏振片，形成一束线偏振光，再经过偏振成像装置，在成像探测器靶面上得到携带一组偏振态信息的目标图像，通过步进电机带动线偏振片连续旋转一周，并同时连续探测目标场景的光强信息。最终通过矩阵相乘、傅里叶积分和三角函数等运算标定出偏振器件的方向角。本发明具有精度高，装置简单，易操作等优点。
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