公开(公告)号：CN110017794B

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN201910285634.9

申请日：2019-04-10

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 李建欣 ,  宗毅 ,  段明亮 ,  陈国梁 ,  卢文倩 ,  朱日宏 ,  陈磊 ,  何勇 ,  郭仁慧 ,  马俊

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种动态相位变形干涉测量装置及方法，该装置包括：用于产生一对正交偏振光的泰曼‑格林式干涉测量系统，用于产生参考光的参考光路，用于产生测试光的测试光路，用于对参考光和测试光分别进行分束，获得两对参考光和测试光的分光系统，用于对某一对参考光和测试光附加载频的载频环路系统，用于实现另一对参考光和测试光至成像系统的光程与所述某一对参考光和测试光经载频环路系统至成像系统的光程相同的测试环路系统，用于获取干涉信息，并对被测件成像的成像系统。本发明能有效降低环境振动和大气湍流对波前测量的影响，且具有系统复杂度低、测量速度快等优点，可有效用于复杂环境下对光学面形的高精度测量。

公开(公告)号：CN110017793A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201910285098.2

申请日：2019-04-10

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 李建欣 ,  段明亮 ,  宗毅 ,  陈国梁 ,  卢文倩 ,  朱日宏 ,  陈磊 ,  何勇 ,  郭仁慧 ,  马俊

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种双通道式抗振动干涉测量装置及方法，装置包括依次设置的用于对光源进行扩束准直的光源扩束准直系统，用于检测被测件振动相位平面的辅助干涉测量系统，用于结合辅助干涉测量系统测量被测件相位分布的主干涉测量系统，以及被测件光路系统；光源扩束准直系统与被测件光路系统同光轴，记为第一光轴，辅助干涉测量系统与主干涉测量系统的光轴分别记为第二光轴、第三光轴，均与第一光轴垂直；光源扩束准直系统、主干涉测量系统与被测件光路系统构成主泰曼—格林干涉光路；光源扩束准直系统、辅助干涉测量系统与被测件光路系统构成辅助泰曼—格林干涉光路。本发明的装置和方法不仅抗振动效果好、测量精度高，且结构简单紧凑，成本较低。

公开(公告)号：CN110017793B

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：CN201910285098.2

申请日：2019-04-10

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 李建欣 ,  段明亮 ,  宗毅 ,  陈国梁 ,  卢文倩 ,  朱日宏 ,  陈磊 ,  何勇 ,  郭仁慧 ,  马俊

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种双通道式抗振动干涉测量装置及方法，装置包括依次设置的用于对光源进行扩束准直的光源扩束准直系统，用于检测被测件振动相位平面的辅助干涉测量系统，用于结合辅助干涉测量系统测量被测件相位分布的主干涉测量系统，以及被测件光路系统；光源扩束准直系统与被测件光路系统同光轴，记为第一光轴，辅助干涉测量系统与主干涉测量系统的光轴分别记为第二光轴、第三光轴，均与第一光轴垂直；光源扩束准直系统、主干涉测量系统与被测件光路系统构成主泰曼—格林干涉光路；光源扩束准直系统、辅助干涉测量系统与被测件光路系统构成辅助泰曼—格林干涉光路。本发明的装置和方法不仅抗振动效果好、测量精度高，且结构简单紧凑，成本较低。

公开(公告)号：CN110017794A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201910285634.9

申请日：2019-04-10

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 李建欣 ,  宗毅 ,  段明亮 ,  陈国梁 ,  卢文倩 ,  朱日宏 ,  陈磊 ,  何勇 ,  郭仁慧 ,  马俊

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种动态相位变形干涉测量装置及方法，该装置包括：用于产生一对正交偏振光的泰曼-格林式干涉测量系统，用于产生参考光的参考光路，用于产生测试光的测试光路，用于对参考光和测试光分别进行分束，获得两对参考光和测试光的分光系统，用于对某一对参考光和测试光附加载频的载频环路系统，用于实现另一对参考光和测试光至成像系统的光程与所述某一对参考光和测试光经载频环路系统至成像系统的光程相同的测试环路系统，用于获取干涉信息，并对被测件成像的成像系统。本发明能有效降低环境振动和大气湍流对波前测量的影响，且具有系统复杂度低、测量速度快等优点，可有效用于复杂环境下对光学面形的高精度测量。

公开(公告)号：CN107271150A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201710497254.2

申请日：2017-06-27

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 马俊 ,  石磊 ,  高志山 ,  朱日宏 ,  李建欣 ,  谢建康 ,  苗新宇 ,  魏聪 ,  张天宇

IPC: G01M11/02 ,  G06F17/16 ,  G06F17/50

CPC classification number: G01M11/0292 ,  G06F17/16 ,  G06F17/5009

Abstract: 本发明公开了一种基于干涉测量及灵敏度矩阵的计算机辅助装调方法，首先在待测件沿光轴方向扫描过程中的每一个预设位置，利用高精度位移装置，使得待测件的四个失调量产生已知的变化量，然后将这些变化量与干涉仪测得的相位的Zernike系数联系起来，建立该位置的灵敏度矩阵，接着根据测得相位计算元件的失调量，最后根据失调量进行干涉仪的装调。本发明方法降低了理想模型不符合实际对计算失调量的影响，有效减少了工作量。