公开(公告)号：CN109238657B

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201810990113.9

申请日：2018-08-28

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 马骏 ,  谢建康 ,  高志山 ,  苗新宇 ,  魏聪 ,  张天宇

IPC: G01M11/02 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种基于环带相位及位姿信息的非球面矢高重建方法，通过划分非球面镜的轴向移动路径，轴向移动非球面镜，获得每一步非球面镜的四步移相干涉图，对干涉图进行预处理，解包裹，用正割迭代法提取干涉图的零位环带，恢复每一步零位区域非球面镜的零位位置曲率半径，进行零位曲率半径矫正，恢复局部环域矢高，进行矢高连接，最终获得待测非球面镜的整个矢高信息。本发明能够获得待测非球面镜的矢高，从而恢复待测非球面镜的三维形貌。

公开(公告)号：CN107271150B

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201710497254.2

申请日：2017-06-27

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 马骏 ,  石磊 ,  高志山 ,  朱日宏 ,  李建欣 ,  谢建康 ,  苗新宇 ,  魏聪 ,  张天宇

IPC: G01M11/02 ,  G06F17/16 ,  G06F17/50

Abstract: 本发明公开了一种基于干涉测量及灵敏度矩阵的计算机辅助装调方法，首先在待测件沿光轴方向扫描过程中的每一个预设位置，利用高精度位移装置，使得待测件的四个失调量产生已知的变化量，然后将这些变化量与干涉仪测得的相位的Zernike系数联系起来，建立该位置的灵敏度矩阵，接着根据测得相位计算元件的失调量，最后根据失调量进行干涉仪的装调。本发明方法降低了理想模型不符合实际对计算失调量的影响，有效减少了工作量。

公开(公告)号：CN109238657A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201810990113.9

申请日：2018-08-28

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 马骏 ,  谢建康 ,  高志山 ,  苗新宇 ,  魏聪 ,  张天宇

IPC: G01M11/02 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种基于环带相位及位姿信息的非球面矢高重建方法，通过划分非球面镜的轴向移动路径，轴向移动非球面镜，获得每一步非球面镜的四步移相干涉图，对干涉图进行预处理，解包裹，用正割迭代法提取干涉图的零位环带，恢复每一步零位区域非球面镜的零位位置曲率半径，进行零位曲率半径矫正，恢复局部环域矢高，进行矢高连接，最终获得待测非球面镜的整个矢高信息。本发明能够获得待测非球面镜的矢高，从而恢复待测非球面镜的三维形貌。

公开(公告)号：CN108061514A

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201610975083.5

申请日：2016-11-07

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 马骏 ,  何庆浩 ,  谢建康 ,  石磊 ,  魏聪 ,  王磊 ,  刘炳琦 ,  巴图 ,  张天宇

IPC: G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种利用轴向扫描光干涉法检测非球面的动态建模方法，使用zemax软件搭建干涉仪模型，在干涉仪模型中，利用matlab软件模拟驱动待测非球面镜轴向移动，对光线进行追迹、拟合和逆追迹，消除镜头畸变对光线追迹效果的影响，最终建立起待测非球面镜与CCD像元之间的物像关系，从而得到随着扫描的进行不断变化的一系列干涉图，提高了仿真的科学性。

公开(公告)号：CN108061514B

公开(公告)日：2020-01-24

申请号：CN201610975083.5

申请日：2016-11-07

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 马骏 ,  何庆浩 ,  谢建康 ,  石磊 ,  魏聪 ,  王磊 ,  刘炳琦 ,  巴图 ,  张天宇

IPC: G01B9/02

Abstract: 本发明公开了一种利用轴向扫描光干涉法检测非球面的动态建模方法，使用zemax软件搭建干涉仪模型，在干涉仪模型中，利用matlab软件模拟驱动待测非球面镜轴向移动，对光线进行追迹、拟合和逆追迹，消除镜头畸变对光线追迹效果的影响，最终建立起待测非球面镜与CCD像元之间的物像关系，从而得到随着扫描的进行不断变化的一系列干涉图，提高了仿真的科学性。

公开(公告)号：CN107271150A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201710497254.2

申请日：2017-06-27

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 马俊 ,  石磊 ,  高志山 ,  朱日宏 ,  李建欣 ,  谢建康 ,  苗新宇 ,  魏聪 ,  张天宇

IPC: G01M11/02 ,  G06F17/16 ,  G06F17/50

CPC classification number: G01M11/0292 ,  G06F17/16 ,  G06F17/5009

Abstract: 本发明公开了一种基于干涉测量及灵敏度矩阵的计算机辅助装调方法，首先在待测件沿光轴方向扫描过程中的每一个预设位置，利用高精度位移装置，使得待测件的四个失调量产生已知的变化量，然后将这些变化量与干涉仪测得的相位的Zernike系数联系起来，建立该位置的灵敏度矩阵，接着根据测得相位计算元件的失调量，最后根据失调量进行干涉仪的装调。本发明方法降低了理想模型不符合实际对计算失调量的影响，有效减少了工作量。