一种采用对称光栅的焦距测量装置

    公开(公告)号:CN103063414B

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201210566224.X

    申请日:2012-12-24

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本发明公开了一种采用对称光栅的焦距测量装置,包括在同一光轴上顺次放置的激光器、准直扩束镜、待测透镜、第一光栅、第二光栅、接收屏、成像物镜、CCD相机,其中第二光栅为对称光栅;放入待测透镜前,激光器发出的激光经过准直扩束镜形成准直光,入射到待测透镜上,再经第一光栅,在第二光栅处形成泰伯像,与第二光栅叠加得到莫尔条纹,形成的莫尔条纹被接收屏接收,再经过成像物镜成像于CCD相机,此时接收到的图像记为莫尔条纹L1,放入待测透镜后接收到的图像记为莫尔条纹L2,计算莫尔条纹L1与莫尔条纹L2的夹角就可以得到被测系统的焦距。本发明结构简单、精度高、易于实现,可以用于长焦距系统的精确测量。

    基于泰伯-莫尔技术的一体化长焦距测量装置

    公开(公告)号:CN103063413A

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN201210566110.5

    申请日:2012-12-24

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本发明是一种基于泰伯-莫尔条纹技术的一体化长焦距测量装置,包括激光器、非球面准直物镜、一面增透一面增反透镜、平面反射镜、半反半透镜、泰伯干涉仪、成像透镜、第一CCD、对点系统和待测长焦距透镜;泰伯干涉仪包括第一光栅、第二光栅、第一散射板,对点系统包括会聚透镜、第二散射板、第二CCD;待测长焦距透镜未放入时,利用对点系统调整系统光轴一致;然后将第一CCD采集到的莫尔条纹L1输入到计算机;放入待测长焦距透镜,再次通过第一CCD采集包含焦距信息的莫尔条纹L2并输入到计算机;利用计算机求得莫尔条纹L1和莫尔条纹L2的夹角进而求得待测透镜的焦距f。本装置设计有对点系统,确保系统光轴的一致性,可以实现高精度的长焦距测量。

    基于泰伯-莫尔技术的一体化长焦距测量装置

    公开(公告)号:CN103063413B

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201210566110.5

    申请日:2012-12-24

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本发明是一种基于泰伯-莫尔条纹技术的一体化长焦距测量装置,包括激光器、非球面准直物镜、一面增透一面增反透镜、平面反射镜、半反半透镜、泰伯干涉仪、成像透镜、第一CCD、对点系统和待测长焦距透镜;泰伯干涉仪包括第一光栅、第二光栅、第一散射板,对点系统包括会聚透镜、第二散射板、第二CCD;待测长焦距透镜未放入时,利用对点系统调整系统光轴一致;然后将第一CCD采集到的莫尔条纹L1输入到计算机;放入待测长焦距透镜,再次通过第一CCD采集包含焦距信息的莫尔条纹L2并输入到计算机;利用计算机求得莫尔条纹L1和莫尔条纹L2的夹角进而求得待测透镜的焦距f。本装置设计有对点系统,确保系统光轴的一致性,可以实现高精度的长焦距测量。

    一种采用对称光栅的焦距测量装置

    公开(公告)号:CN103063414A

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN201210566224.X

    申请日:2012-12-24

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本发明公开了一种采用对称光栅的焦距测量装置,包括在同一光轴上顺次放置的激光器、准直扩束镜、待测透镜、第一光栅、第二光栅、接收屏、成像物镜、CCD相机,其中第二光栅为对称光栅;放入待测透镜前,激光器发出的激光经过准直扩束镜形成准直光,入射到待测透镜上,再经第一光栅,在第二光栅处形成泰伯像,与第二光栅叠加得到莫尔条纹,形成的莫尔条纹被接收屏接收,再经过成像物镜成像于CCD相机,此时接收到的图像记为莫尔条纹L1,放入待测透镜后接收到的图像记为莫尔条纹L2,计算莫尔条纹L1与莫尔条纹L2的夹角就可以得到被测系统的焦距。本发明结构简单、精度高、易于实现,可以用于长焦距系统的精确测量。

    基于白光显微干涉的微球内外表面缺陷检测装置及方法

    公开(公告)号:CN115598147B

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202211210646.3

    申请日:2022-09-30

    摘要: 本发明公开了一种基于白光显微干涉技术的微球内外表面缺陷检测装置及方法,将白光干涉技术与Linnik型显微干涉技术相结合,装置包括光源模块、光程匹配模块、显微干涉模块以及图像采集模块。白光光源经过偏振片变为线偏振光后进入光程匹配模块,产生带有一定光程差的偏振方向正交的光进入零位显微干涉模块,经参考镜和微球分别反射后,通过移动光程匹配模块中的位移台来匹配测试光路和参考光路的光程差,最终在相机上获得干涉图。本发明提出的装置能够有效解决激光干涉技术中缺陷跃变处的2π整数倍相位缺失问题,实现全视场的微球零位干涉测量,通过光程匹配模块实现不同直径微球以及微球内外表面的表面缺陷绝对高度测量,从而获取其表面缺陷信息。

    一种大口径移相干涉面形测量装置

    公开(公告)号:CN115523863B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202211273420.8

    申请日:2022-10-18

    IPC分类号: G01B11/24

    摘要: 本发明公开了一种大口径移相干涉面形测量装置,用于大口径光学面形测量和光学系统波前测量。本装置包括斐索干涉仪、折转扩束准直模块、标准参考镜模块和标准反射镜模块。斐索干涉仪出射的准直光通过折转扩束准直模块中的扩束镜组扩束,经折转镜组折转,再经过准直物镜准直后输出大口径平面波。所述的大口径移相干涉面形测量装置,具有模块化、多种移相模式特点。

    基于偏振复用的大视场成像装置及方法

    公开(公告)号:CN111273453B

    公开(公告)日:2022-09-13

    申请号:CN202010024391.6

    申请日:2020-01-10

    IPC分类号: G02B27/28

    摘要: 本发明公开了一种基于偏振复用的大视场成像装置及方法,装置包括覆盖目标视场的N个光通道,以及接收所有光通道出射光的同轴依次设置的成像物镜和偏振相机,所有光通道的出射光均为线偏振光。方法包括:来自目标的不同方向的光束分别入射至N个光通道,产生N束线偏振光;N束线偏振光同时入射至成像物镜,成像至偏振相机形成偏振复用的视场目标信息;从偏振复用的视场目标信息中采集N束线偏振光的强度,之后通过偏振解复用处理方法解算出N个光通道中线偏振光的强度。本发明通过多组平面反射镜与偏振相机相结合的形式进行目标偏振成像,能够实现超大视场角成像与目标信息采集,具有结构紧凑、复杂度低、成像视场角大、成像质量好等优点。

    一种类干涉镜面面型检测方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111121664A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201911312955.X

    申请日:2019-12-18

    IPC分类号: G01B11/25

    摘要: 本发明公开了一种类干涉镜面面型检测方法,将相机、显示器设置在载物台上方,使得显示器能的图像能投影到载物台且相机能够拍摄到投影图像,通过角点检测、平面标定法获取相机以及显示器的空间位置;将待测镜放置在载物台上,由显示器投影正交方向的周期条纹图,并用相机拍摄待测镜中变形的条纹图,通过四步移相算法和倍频全局相位求解算法解算全局相位分布;根据全局相位分布得到梯度数据并运用傅里叶变换积分法处理梯度数据得到重建面型,并对重建面型进行优化,得到最终测量面型。本发明无须预知面形来解决矢高不确定性,同时保证面型测量精度。