公开(公告)号：CN117790389A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311126527.4

申请日：2023-09-04

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 糸山哲朗 ,  上藤淳平

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其能够降低来自旁路部的热对放置面的温度产生的影响。静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有基板上面和基板下面；基座板，具有基座板上面和基座板下面；加热器部，设置在所述基板上面与所述基板下面之间，具有至少一个加热器层；及旁路部，其为向所述加热器部的供电路径，所述加热器部具有加热器上面和加热器下面，所述旁路部具有设置在与所述基板下面相比更靠近下方的位置的第1旁路部分，所述第1旁路部分具有第1旁路上面和第1旁路下面，所述加热器下面与所述第1旁路上面之间的第2距离，大于所述加热器上面与所述基板上面之间的第1距离。

公开(公告)号：CN116895589A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310289658.8

申请日：2023-03-23

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 小野瑛人 ,  上藤淳平 ,  早川达也

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明的静电吸盘具备陶瓷电介体基板、基座板及加热器部，加热器部具有第1、第2供电部及加热器线，加热器线的延伸部具有相邻于第1、第2供电部的第1、第2延伸部，第1延伸部具有：与第1、第2供电部发生重叠的第1、第2部分；及并不与第1、第2供电部发生重叠的第3部分，第2延伸部具有：与第1、第2供电部发生重叠的第4、第5部分；及并不与第1、第2供电部发生重叠的第6部分，相切于第1、第2供电部的第1假想切线与第1延伸部之间的第3距离和相切于第1、第2供电部的第2假想切线与第2延伸部之间的第4距离，分别为第1、第2供电部之间的第1距离以下，且为延伸部彼此之间的第2距离以下。

公开(公告)号：CN108695222A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810270110.8

申请日：2018-03-29

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 上藤淳平 ,  佐佐木均 ,  山口康介 ,  前畑健吾 ,  吉井雄一 ,  糸山哲朗

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68785 ,  H05B3/283

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其能够提高处理对象物的面内温度分布的均匀性。具体而言，具备：陶瓷电介体基板，具有放置处理对象物的第1主面；电极层，设置于陶瓷电介体基板；基座板，支撑陶瓷电介体基板；及加热器板，设置在基座板与第1主面之间，其特征为，加热器板具有：第1加热器元件，因电流的流动而发热；及第2加热器元件，因电流的流动而发热，当在垂直于第1主面的方向上观察时，第1加热器元件比第2加热器元件折曲更多，第1加热器元件具有位于第2加热器元件的间隙的部分。

公开(公告)号：CN119694966A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202410933289.6

申请日：2024-07-12

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 糸山哲朗 ,  上藤淳平 ,  梅津智树

IPC: H01L21/683 ,  H05B3/06

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其能够抑制加热器的局部的温度上升。静电吸盘(10)具备：电介体基板(100)；及加热器单元(300)，对电介体基板(100)进行加热。加热器单元(300)具有：供电部(390)，从外部接受电力的供给；发热部(331)，其为以线状围绕布置的导体，接受来自供电部(390)的电力的供给而发热；及旁路层(370)，连接供电部(390)与发热部(331)之间。发热部(331)具有局部放大其线宽的部分即扩宽部(332)。在扩宽部(332)的多个部位处，将旁路层(370)连接于发热部(331)。

公开(公告)号：CN116895591A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310302696.2

申请日：2023-03-27

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 小野瑛人 ,  糸山哲朗 ,  梅津智树 ,  上藤淳平

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，其能够提高处理对象物的面内温度分布的均匀性。提供一种静电吸盘，具备：基座板，包含冷媒可通过的涡旋状的连通路；第1加热器元件，包含径向及周向上排列的多个第1区；及多个第1供电端子，向多个第1区供电，多个第1区包含发热的第1加热器线和向第1加热器线供电的一对第1供电部，一对第1供电部电连接于多个第1供电端子，多个第1供电端子包含：第1环状部分，配置在第1假想圆上；及第2环状部分，位于与第1环状部分相比更靠近内侧的位置且配置在第2假想圆上，当沿着积层方向观察时，在第1环状部分与第2环状部分之间，连通路包含围住第2环状部分周围的第1圈部分。

公开(公告)号：CN108604570B

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN201780009357.8

申请日：2017-03-13

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 上藤淳平 ,  佐佐木均 ,  山口康介 ,  前畑健吾 ,  吉井雄一

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，放置处理对象物；基座板；及加热器板，设置在陶瓷电介体基板与基座板之间，其特征为，加热器板具有：第1、第2支撑板，包含金属；第1、第2树脂层，设置在第1支撑板与第2支撑板之间；及第1、第2导电部，设置在第1树脂层与第2树脂层之间且在面内方向上离开，具有：加热器元件，因电流的流动而发热；及空间部，被在第1导电部的面内方向上的侧端部、第1树脂层、第2树脂层所划分，第1树脂层在第1导电部与第2导电部之间连接于第2树脂层。

公开(公告)号：CN114284195A

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202111069708.9

申请日：2021-09-13

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 小野瑛人 ,  上藤淳平

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘以及半导体制造装置，其能够提高处理对象物的面内温度分布的均匀性。具体而言，静电吸盘具备陶瓷电介体基板、基座板、加热器部，其特征为，加热器部具有第1、第2加热器元件，第2加热器元件具有径向上被分割的多个主区，第1加热器元件具有多个辅助区，多个辅助区的数量多于多个主区的数量，多个主区具有：第1主区；及径向上介由第1边界邻接于第1主区的第2主区，多个辅助区具有第1辅助区，其与第1主区及第2主区的至少任意一个发生重叠，且具有径向端部即第1径向端，第1径向端的至少一部分并不与第1边界发生重叠。