公开(公告)号：CN115132635A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202210240196.6

申请日：2022-03-10

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 小野瑛人 ,  上藤淳平 ,  梅津智树 ,  早川达也

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备陶瓷电介体基板及基座板，其特征为，陶瓷电介体基板具有：第1、第2主面；槽部，从第1主面向第2主面凹下；及多个冷却气体用孔，穿通槽部与第2主面之间，槽部具有第1、第2周向槽及第1、第2径向槽，多个冷却气体用孔具有：第1孔，当俯视观察时与第1径向槽发生重叠；及第2孔，当俯视观察时与第2径向槽发生重叠，基座板具有向第1孔及第2孔供给冷却气体的气体导入路，第1周向槽具有位于周向的一端侧的第1端部及位于另一端侧的第2端部，第2周向槽具有位于周向的一端侧的第3端部及位于另一端侧的第4端部，第3端部及第4端部分别在径向上并不与第1端部发生重叠。

公开(公告)号：CN116895589A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310289658.8

申请日：2023-03-23

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 小野瑛人 ,  上藤淳平 ,  早川达也

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明的静电吸盘具备陶瓷电介体基板、基座板及加热器部，加热器部具有第1、第2供电部及加热器线，加热器线的延伸部具有相邻于第1、第2供电部的第1、第2延伸部，第1延伸部具有：与第1、第2供电部发生重叠的第1、第2部分；及并不与第1、第2供电部发生重叠的第3部分，第2延伸部具有：与第1、第2供电部发生重叠的第4、第5部分；及并不与第1、第2供电部发生重叠的第6部分，相切于第1、第2供电部的第1假想切线与第1延伸部之间的第3距离和相切于第1、第2供电部的第2假想切线与第2延伸部之间的第4距离，分别为第1、第2供电部之间的第1距离以下，且为延伸部彼此之间的第2距离以下。