公开(公告)号：CN102483426A

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN201080039349.6

申请日：2010-12-10

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 宇都宜隆 ,  大川尚信 ,  宫武亨 ,  小林俊宏 ,  高桥亨 ,  佐藤清 ,  菊入胜也

IPC: G01P15/02 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0837 ,  G01P2015/0874

Abstract: 本发明的目的在于提供一种尤其是耐冲击性及耐粘附性优良的物理量传感器。该物理量传感器具有在高度方向上位移的可动部(50)和在高度方向上与可动部(50)对置配置且限制可动部(50)的位移的突起状的限动部(51)。在限动部(51)的与可动部(50)对置的对置面(51a)的外周(51b)设有第一接触端部(53)和第二接触端部(54)，第一接触端部(53)为可动部(50)向接近限动部(51)的方向位移而首先与对置面(51a)接触的部分，第二接触端部(54)为可动部从与所述限动部(51)抵接的抵接状态向离开的方向位移时首先从对置面(51a)分离的部分。第一接触端部(53)的与可动部接触的接触长度比第二接触端部(54)的与可动部接触的接触长度长。

公开(公告)号：CN104977121B

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201510161803.X

申请日：2015-04-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 大川尚信 ,  臼井学 ,  石田弘 ,  中山一英 ,  上村秀树

IPC: G01L19/00 ,  G01L19/14

Abstract: 本发明目的在于提供一种抑制壳体的应力分布的不均匀而能够得到良好的气密性及传感器灵敏度的压力检测装置。本发明的压力检测装置(10)的特征在于，具有：形成有腔室(23)的壳体(21)；设置于腔室(23)的压力传感器(15)；埋设于壳体(21)的引线框(31)，引线框(31)具有：向腔室(23)的内部露出而与压力传感器(15)电连接的上部引线框(31a)；沿着壳体(21)的厚度方向延伸的连接部(31d)；从壳体(21)的底面(21b)露出的露出部(31e)，露出部(31e)与壳体(21)的底面(21b)构成同一平面。

公开(公告)号：CN103449354B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201310094691.1

申请日：2013-03-22

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 小林俊宏 ,  宫武亨 ,  矢泽久幸 ,  大川尚信 ,  宇都宜隆

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种与以往相比尤其是具有粘附抑制效果高的限动部结构的MEMS传感器及其制造方法。该MEMS传感器的特征在于，具有：功能层(9)，其具有被支承为在高度方向上能够进行位移的可动部；对置构件，其与功能层隔开间隔而对置配置，其中，在对置构件上的与可动部对置的位置设有限动部(46)，该限动部(46)限制可动部的向高度方向的位移，限动部(46)具有Ti层(48)和使Ti层的表面氧化而得到的氧化Ti层(49)，氧化Ti层(49)的表面构成限动部表面(46a)，氧化Ti层的膜厚(H2)在2.5nm以上且10nm以下的范围内形成。

公开(公告)号：CN104760923A

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201410806304.7

申请日：2014-12-22

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 田中健一 ,  大川尚信 ,  矢泽久幸 ,  朝比奈宏行 ,  臼井学 ,  石曽根昌彦 ,  梅津英治

IPC: B81B7/02 ,  G01L9/04

Abstract: 本发明提供一种即使形成基于铝的配线层也能够抑制由热滞引起的输出变动的MEMS传感器。在正方形的MEMS传感器(1)的4个角部形成有金的电极片(16a、16b、16c、16d)。电极片(16a、16b、16c、16d)与检测元件部(15a、15b、15c)通过连结配线层(20、25)导通。连结配线层(20、25)由铝的下部配线层(21、26)和金的上部配线层(22、27)构成。通过以适当的长度将铝的下部配线层(21、26)平衡良好地配置，能够抑制因热滞引起的基于残留应力的输出变动。

公开(公告)号：CN102770770B

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201180011060.8

申请日：2011-02-24

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 大川尚信 ,  矢泽久幸 ,  宫武亨 ,  高桥亨 ,  宇都宜隆 ,  菊入胜也 ,  小林俊宏

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B3/0051 ,  B81B2201/0235

Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够提高重物部相对于对置部的耐碰撞性及防粘性的物理量传感器。该物理量传感器具备弹簧部(21)、与所述弹簧部(21)连结且被支承成沿高度方向可变位的重物部(20)、与所述重物部在高度方向上对置的对置部(22)，在所述对置部(22)与所述重物部(20)之间配置高度不同的多个突起部(23、24)，所述多个突起部(23、24)使得在所述重物部(20)朝向高度方向变位时，所述重物部(20)与所述对置部(21)之间能够阶段性地抵接，并且所述重物部与所述对置部之间还能够阶段性地分离。

公开(公告)号：CN103449354A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310094691.1

申请日：2013-03-22

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 小林俊宏 ,  宫武亨 ,  矢泽久幸 ,  大川尚信 ,  宇都宜隆

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种与以往相比尤其是具有粘附抑制效果高的限动部结构的MEMS传感器及其制造方法。该MEMS传感器的特征在于，具有：功能层(9)，其具有被支承为在高度方向上能够进行位移的可动部；对置构件，其与功能层隔开间隔而对置配置，其中，在对置构件上的与可动部对置的位置设有限动部(46)，该限动部(46)限制可动部的向高度方向的位移，限动部(46)具有Ti层(48)和使Ti层的表面氧化而得到的氧化Ti层(49)，氧化Ti层(49)的表面构成限动部表面(46a)，氧化Ti层的膜厚(H2)在2.5nm以上且10nm以下的范围内形成。

公开(公告)号：CN102084258A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN200980125605.0

申请日：2009-07-02

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 矢泽久幸 ,  佐藤清 ,  高桥亨 ,  大川尚信

IPC: G01P15/125 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  H01L29/84

Abstract: 本发明提供一种薄型且小型并能够高精度地检测可动部的移动量的可动传感器。第一可动部(2)和第二可动部(4)通过连结连杆部(10a)和支承连杆部(20a)连结，以如果第一可动部(2)接近固定部(50)则第二可动部(4)离开固定部(50)的方式进行动作。在固定部(50)上设有第一固定电极(51)和第二固定电极(52)，在第一可动部(2)的表面(2a)上设置与第一固定电极(51)相对向的第一可动电极，在第二可动部(4)的表面(4a)上设置与第二固定电极(52)相对向的第二可动电极。由于第一可动部(2)和第二可动部(4)反向移动，因此通过求出第一固定电极(51)和第一可动电极之间的静电容量的变化、与第二固定电极(52)和第二可动电极之间的静电容量的变化之差，而能够检测第一可动部(2)的移动状态。

公开(公告)号：CN105277596B

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201510308769.4

申请日：2015-06-08

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 矢泽久幸 ,  柳修二 ,  遁所淳 ,  大川尚信

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N27/223

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够构成为小型并且对于气体的湿度变化的响应特性良好的湿度检测装置。为此，在第1对置部件(2)与第2对置部件(3)的间隙搭载了湿度检测部(5)。在第1对置部件(2)与第2对置部件(3)的间隙(4)设置了金属接合体(15)和虚拟接合体(16)，两个对置部件通过金属接合体(15)和虚拟接合体(16)来进行固定。在两个对置部件的间隙(4)中仅存在金属接合体(15)和虚拟接合体(16)，所以要测定的气体容易转移到湿度检测部(5)，在湿度变化时检测响应性良好。

公开(公告)号：CN105304581B

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201510178175.6

申请日：2015-04-15

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 大川尚信 ,  臼井学 ,  石田弘 ,  中山一英 ,  上村秀树

IPC: H01L23/28 ,  H01L23/495

CPC classification number: H01L2224/48091 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2924/00014

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够通过简易的工序来进行引线框的加工，并且能够确保焊接面积的压力检测装置。压力检测装置的特征在于，具有：形成有腔室(23)的壳体(21)；设置于腔室(23)的压力传感器(15)；以及埋设于壳体(21)的多个引线框(31)，多个引线框(31)分别具有：向腔室(23)内部露出而与压力传感器(15)电连接的上部引线框(31a)；在壳体(21)的厚度方向上延伸的连接部(31d)；以及从壳体(21)的底面(21b)露出的露出部(31e)，连接部(31d)彼此相邻配置，上部引线框(31a)从连接部(31d)起向相同方向弯折，上部引线框(31a)侧的连接部(31d)彼此之间的间隔比露出部(31e)侧的连接部(31d)彼此之间的间隔大。

公开(公告)号：CN104458112B

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201410472084.9

申请日：2014-09-16

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 大川尚信 ,  须田康博 ,  石田弘 ,  上村秀树

IPC: G01L23/24

Abstract: 本发明提供一种由压力传感器检测的压力值不易受到水分的附着的影响的结构的压力检测装置及使用该压力检测装置的进气压力测定装置。在设于进气压力测定装置的压力检测装置(10)中，在壳体(11)形成有由外壁部(14)包围的检测空间(15)，在检测空间(15)的上方形成有传感器收纳部(17)，在传感器收纳部(17)中收纳压力传感器(21)。在传感器收纳部(17)的下方形成有退避空间(18)，退避空间(18)形成在朝向后方凹陷的退避凹部内。进入到检测空间(15)的水分或在检测空间(15)产生的水分被导向退避空间(18)，能够防止水分附着于传感器收纳部(17)的情况。